一种氮掺杂的金属氧化物气敏材料、气敏元件及其制备方法与应用

摘要

本发明提供一种氮掺杂的金属氧化物气敏材料、气敏元件及其制备方法与应用，属于气敏材料技术领域。所述氮掺杂的金属氧化物气敏材料是由金属氧化物经表面掺氮处理后获得，所述的气敏材料为小颗粒组成的多孔纳米球，直径为300‑700nm,小颗粒的尺寸为10‑30nm。本发明的氮掺杂的金属氧化物气敏材料在氮源提供氮的气氛下在不同温度下进行表面掺氮处理，掺杂浓度可调，且制备方法方便简单，将其制备为气敏元件，研究表明该气敏元件在较低温度下对低浓度NO2气体的响应值高、选择性好，因此具有良好的实际应用之价值。