光学相控阵及其相位误差改善方法、激光雷达、智能设备

摘要

本发明实施例公开了一种光学相控阵及其相位误差改善方法、激光雷达、智能设备，其中，光学相控阵包括：光信号输出单元用于输出M路调制后的光信号；波导单元包括M路波导管道，每路波导管道包括至少一个连接波导，所述连接波导包括依次连接的输入模式转换器、宽波导和输出模式转换器，输入模式转换器用于将窄波导转换为宽波导，输出模式转换器用于将宽波导转换为窄波导，其中一个连接波导的输入模式转换器的输入端连接光信号输出单元，其中一个连接波导的输出模式转换器的输出端连接天线发射单元；天线发射单元用于发射波导单元传输的M路光信号。由此可见，利用本发明方案，能够降低工艺误差对波导宽度的改变引起的相位误差。