一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置

摘要

本发明公开了一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置，包括装置主体，装置主体内设有封闭廊道，封闭廊道的上游设置有等离子体活化单元，封闭廊道的下游设置有直接氟化单元，直接氟化单元和等离子体活化单元之间通过自适应开启式隔离软帘密封连接。本发明装置通过将直接氟化和等离子体处理相结合，根据表面功能化要求合理匹配放电等离子体和表面直接氟化，大幅度降低了氟气的使用量和使用条件，提高了等离子体表面改性效果的时效性和稳定性，改善“疏水性恢复现象”。