一种基于ITO定向耦合器的硅电光调制器

摘要

本发明公开了一种基于ITO定向耦合器的硅电光调制器。硅电光调制器由总线波导和副线波导构成，本发明工作于偏压状态时，ITO载流子浓度增加，相应的副线波导中的模式有效折射率以及吸收系数发生改变，定向耦合器的耦合效率和衰减系数随之发生变化，总线波导与副线波导发生弱耦合甚至不耦合，光信号直接从硅波导中输入输出，此时输出端光强最大；工作于无偏压状态时，总线波导与副线波导发生强耦合，进入副线波导的光能量损耗殆尽，此时从硅波导输出端输出光强最低。本发明克服了ITO材料自身的高损耗技术问题，具有损耗低，尺寸小，功耗低等特点，满足了光通信、集成光学等领域的实际需求。