具有硬度异常升高效应的Ta-Ag-N/VN多层薄膜材料及制备方法

摘要

本发明公开了一种具有硬度异常升高效应的Ta‑Ag‑N/VN多层薄膜材料及制备方法，本发明采用多靶共聚焦非平衡磁控溅射方法，以具有最优自润滑性能的Ta‑Ag‑N薄膜与VN薄膜交替生长的方式获得薄膜的厚度为2μm、调制比为1:1、调制周期依次为3‑6nm的Ta‑Ag‑N/VN纳米结构多层膜材料。本发明所述Ta‑Ag‑N/VN纳米结构多层膜兼具高硬度、优异的宽温域摩擦磨损性能；该多层膜的制备方法具有工艺流程简单，生产效率高的优点；该多层膜可作为固体润滑薄膜材料应用于长时间在室温到高温的宽温域环境下服役的超高速涡轮泵用滚珠轴承、空气箔轴承及活塞环等航空航天领域的众多机械组元表面。