带电粒子束装置、用于带电粒子束装置的多束消隐器以及用于操作带电粒子束装置的方法

摘要

描述了一种用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器。所述束转储器包括：环形主体，所述环形主体具有内周壁，所述内周壁限定用于使所述初级带电粒子子束通过的开口环带，所述环形主体进一步具有外周壁和底壁；环形电极，所述环形电极部分地在所述环形主体上方，所述环形电极具有内周侧和外周侧，其中所述内周侧在所述环形主体的所述内周壁的半径外。