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激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法

摘要

本发明实施例公开了一种激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法。该激光传输系统包括激光发生模块、激光调制模块以及多个激光传输模块;激光发生模块、激光调制模块和激光传输模块沿激光传输方向依次设置;激光发生模块,用于产生初始光束;激光传输模块用于将切割光束传输至待切割工件上,不同激光传输模块用于传输的切割光束的参数不同;激光调制模块,用于根据待切割工件的工艺参数,将初始光束调制为切割光束,并根据待切割工件的工艺参数和/或切割光束的参数,选择对应的激光传输模块,以建立与切割光束相适应的传输通路。本发明提供的激光传输系统可以提高多层切割的切割效率。

著录项

  • 公开/公告号CN110722270A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;

    申请/专利号CN201810713028.8

  • 发明设计人 宋春峰;徐文;孙杰;林圆圆;

    申请日2018-06-29

  • 分类号B23K26/38(20140101);B23K26/06(20140101);B23K26/064(20140101);

  • 代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人孟金喆

  • 地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

  • 入库时间 2023-12-17 06:30:17

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):B23K26/38 申请日:20180629

    实质审查的生效

  • 2020-01-24

    公开

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