公开/公告号CN110856858A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-03
原文格式PDF
申请/专利权人 北京中岩大地科技股份有限公司;
申请/专利号CN201810972190.1
申请日2018-08-24
分类号
代理机构
代理人
地址 100041 北京市海淀区翠微路12号6层1单元602
入库时间 2023-12-17 06:30:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B09C1/08 申请日:20180824
实质审查的生效
2020-03-03
公开
公开
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机译: 去除污染物污染土壤中污染物的方法
机译: 光刻设备,清洁系统以及光刻设备的一部分,一种用于原位去除污染物的清洁方法