一种谐振子的制备方法、谐振子、滤波器件、电磁设备

摘要

本发明公开了一种谐振子的制备方法、谐振子、滤波器件、电磁设备。其中所述一种谐振子的制备方法包括：将介质谐振子置于蒸发镀设备中；将所述蒸发镀设备抽真空到预定气压值；使镀膜靶材升温蒸发，使沉积在所述介质谐振子上的镀膜层达到指定厚度，得到谐振子。在本发明的具体实施方式中，由于采用蒸发镀技术，在介质谐振子上镀膜（如镀银），避免了电镀时将介质谐振子放入电镀液中因其吸水而影响性能，避免了电镀时对环境的污染，同时本发明的方法不仅可实现对镀膜层厚度的控制，还解决了磁控溅射镀膜时，成膜速率慢的问题，且镀膜靶材利用率高，可避免浪费材料。