公开/公告号CN104395997A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-04
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201380033194.9
发明设计人 史帝蓝·伊凡渥夫·潘戴夫;
申请日2013-05-07
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 05:01:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/66 申请公布日:20150304 申请日:20130507
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-06-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20130507
实质审查的生效
2015-03-04
公开
公开
机译: 基于晶圆上参数变化的测量模型优化
机译: 基于晶圆间参数变化的测量模型优化
机译: 基于晶圆间参数变化的测量模型优化