TiAlN-涂层工具

摘要

一种工具，所述工具具有基体和以PVD工艺施加至所述主体的单层或多层的耐磨保护性涂层，所述基体由硬质金属、金属陶瓷、陶瓷、钢或高速钢制成，其中所述耐磨保护性涂层中的至少一层是其中x+y＝1的钛铝氮化物Ti

说明书

技术领域

本发明涉及一种工具，所述工具包含由硬质金属、金属陶瓷、陶 瓷、钢或高速钢制成的基体和以PVD工艺施加至所述基体的单层或多 层耐磨保护涂层，所述耐磨保护涂层中的至少一层是钛铝氮化物 Ti_xAl_yN层，其中x+y＝1。

背景技术

切削工具，尤其是金属切削工具，由例如由硬质金属、金属陶瓷、 陶瓷、钢或高速钢制成的基体构成。为了增加工具寿命或改进切削特 性，经常通过CVD或PVD工艺将单层或多层的由硬质材料制成耐磨 保护涂层施加到所述基体上。在PVD工艺中，在不同的工艺变体例如 磁控溅射、电弧蒸发(电弧PVD)、离子镀、电子束蒸发和激光烧蚀 之间存在区别。PVD工艺中最常用于涂层工具的要数磁控溅射和电弧 蒸发。在个别的PVD工艺变体中，又有多种的改性，例如非脉冲或脉 冲磁控溅射或者非脉冲或脉冲电弧蒸发等。

在PVD工艺中的靶材可由纯金属或者两种或更多种金属的组合构 成。如果所述靶材包含多种金属，则所有这些金属同时被引入涂层的、 以PVD工艺构建的层中。所构造层中金属相互之间的相对比例将取决 于所述靶材中的所述金属的比例，但因为与其它金属相比，一些金属 在特定条件下以更大的量从靶材释放和/或以更大的量沉积到基底上， 因此也将取决于PVD工艺中的条件。

为了生产特定的金属化合物，将反应气体进料到PVD工艺的反应 室中，这样的反应气体例如是用于生产氮化物的氮气、用于生产氧化 物的氧气、用于生产碳化物的含碳化合物或者用于生产相应混合化合 物例如碳氮化物、氧碳化物等的这些气体的混合物。

WO 96/23911A1描述了在基底上的耐磨保护层，其由直接施加到 基底上的硬质材料的涂层和施加到其上的一系列10到1000个另外的 单个涂层构成，所述一系列涂层由具有1-30nm的单层厚度的金属硬质 材料和共价硬质材料交替构成。通过周期性交替设置金属硬质材料和 共价硬质材料的单个涂层，旨在改进所述耐磨保护层的机械和化学特 性。

WO 2006/041367A1描述了一种涂层切削工具，其由硬质金属基 底和以PVD工艺沉积的涂层构成，所述涂层包含至少一个具有1.5至 5μm厚度和>4至6GPa的残余压应力的TiAlN涂层。据称，与已知 涂层相比，该TiAlN涂层更有效地粘合至基底。

EP 2 298 954A1描述了一种用于制造涂层切削工具的方法，其中 通过PVD工艺将硬质材料涂层例如TiAlN、TiAlCrN或TiAlCrSiN施 加至基底，基底的偏压在沉积工艺期间变化。据称，该方法提供了工 具的改进的耐磨性和较长的使用寿命。

在特定的金属加工操作，例如铣削和车削中，对工具加以特别苛 刻的要求。这种类型工具的重要参数是高度的硬度、高弹性模量(E模 量，杨氏模量)和低表面粗糙度。用于所描述用途的已知切削工具具 有TiAlN涂层，该涂层以PVD工艺施加并通常具有小于400GPa的弹 性模量和最高达3500HV的维氏硬度。因铝的熔化温度低，所以当这 种类型的TiAlN层以电弧工艺沉积时，它们倾向于在层上和层中形成 不利地影响涂层性能的所谓的小滴。合适地选择沉积工艺的参数可在 PVD工艺中提高硬度和弹性模量，但是这通常在层中导致约>3GPa 的高残余压应力，其不利地影响切削刃的稳定性。当经受高应力时， 切削刃易于在早期崩裂，由此导致工具的快速磨损。

发明内容

要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种工具，与现有技术相比，所述工具具有 更好的涂层，该涂层具有高度的硬度、高弹性模量，且同时具有可接 受的残余应力和切削刃的改进的稳定性。

技术方案

通过如下的工具实现这种目的，所述工具包含基体和以PVD工艺 施加至所述基体的单层或多层耐磨保护性涂层，所述基体由硬质金属、 金属陶瓷、陶瓷、钢或高速钢制成，所述耐磨保护性涂层中的至少一 层是其中x+y＝1的钛铝氮化物Ti_xAl_yN层，该层根据工艺可含有最高 达5重量％的其它金属，所述Ti_xAl_yN层是具有多个周期性交替的 Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)和Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)的多涂层亚结构，其 中x(A)+y(A)＝1，x(B)+y(B)＝1，涂层(B)中的Al浓度y(B)最多 占70原子％(y(B)≤0.70)，和涂层(B)中的Al浓度y(B)比涂层(A) 中的Al浓度y(A)高10至25原子％(y(B)＝(y(A)+0.10)至(y(A)+ 0.25))。

因此，涂层(B)中的Ti浓度x(B)比涂层(A)中的Ti浓度x(A)低 10至25原子％(x(B)＝(x(A)-0.10)至(x(A)-0.25))。

已经令人预料不到地发现，具有周期性交替的具有不同Ti与Al浓度 比的TiAlN涂层的根据本发明的类型的TiAlN层，与不具有交替浓度比的 常规TiAlN涂层相比，具有更高程度的硬度和更高的弹性模量，而同时没 有如现有技术已知TiAlN层中观察到的在所述层中残余压应力的显著增 加。

涂层(B)中的最大Al浓度y(B)为70原子％。因为涂层(B)中 的Al浓度y(B)比涂层(A)中的Al浓度y(A)高10至25原子％，因此 在整个钛铝氮化物Ti_xAl_yN层中的Al浓度小于70原子％。如果Al的 浓度太高，就会不利地形成相对软的相。

在本发明人不希望使他们自身束缚于一种理论的情况下，据推测， 因与钛相比，铝的尺寸更小，所以与涂层(A)相比，涂层(B)中较 高比例的铝导致立方面心晶格中较小的晶格常数，并由此导致残余应 力比中的相应变化，这在与没有交替浓度比沉积的常规TiAlN涂层相 比的较低残余压应力中得以证实。根据本发明的工具的突出之处在于 较高的磨损耐性和较长的使用寿命，并特别是在于在切削刃处的较少 的涂层崩裂。

当使用较少的周期性交替的根据本发明的具有不同Ti与Al浓度 比的Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)和Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)时，仍然证实了 所述TiAlN层的根据本发明的涂层结构具有有利效果。在本发明的一 种优选实施方式中，所述耐磨保护性涂层中的所述至少一个Ti_xAl_yN层 具有至少40个周期性交替的TiAlN涂层(A)和TiAlN涂层(B)。 因此，在这种实施方式中，整个TiAlN层包含至少40个TiAlN涂层(A) 和至少40个TiAlN涂层(B)，即总共至少80个TiAlN涂层。使用少 于40个周期性交替的TiAlN涂层(A)和(B)的缺点在于，没有实现本 发明的比现有技术更高的硬度和弹性模量。

在本发明不束缚于随后理论的情况下，据推测本发明的优点特别 是基于如下事实：局部非常受限制的高残余应力沿着所述涂层交替在 TiAlN涂层(A)和(B)之间的界面处累积，然而该应力无法外部测量， 且不影响所述涂层至所述基底的粘合。如果周期性交替的Ti_x(A)Al_y(A)N 涂层(A)和Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)的数量太低，则无法实现通过涂层 交替而可实现的效果。

在本发明的另一种优选实施方式中，所述耐磨保护性涂层中的所 述至少一个Ti_xAl_yN层具有至多300个周期性交替的TiAlN涂层(A) 和TiAlN涂层(B)。因此，在这种实施方式中，整个TiAlN层包含至 多300个TiAlN涂层(A)和至多300个TiAlN涂层(B)，即总共至 多600个TiAlN涂层。使用多于300个周期性交替的TiAlN涂层(A) 和(B)的缺点在于，它们仅可以以非常其高的费用和与其相关的高成本 下进行商业化生产。

在本发明的另一种优选实施方式中，所述Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A) 具有的厚度在2至40nm，优选4至15nm的范围内，和所述Ti_x(B)Al_y(B)N 涂层(B)具有的厚度在1至20nm，优选2至7nm的范围内。所述 TiAlN涂层(A)的厚度适当地是所述TiAlN涂层(B)的厚度的1.5 至3.0倍，优选约2倍。因此，具有增加的铝含量的较薄的TiAlN涂层 (B)跟着较厚的TiAlN涂层(A)。

在本发明不束缚于随后理论的情况下，据推测，本发明的优点特 别是基于如下的事实：较厚的Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)在较薄Ti_x(B)Al_y(B)N 涂层(B)中产生相稳定化。在Al较富集的Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)的 情况下，风险在于除立方TiAlN之外，另外还产生了具有非常低的硬 度和强度的六方AlN。如果这些层如在上述范围内的保持为薄，则邻 近的Ti较富集的较厚Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)使Al较富集的较薄 Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)中的立方TiAlN相稳定化。

所述周期性交替的根据本发明的具有不同Ti与Al浓度比的 Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)和Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)尽管其厚度低，但可 以通过透射电子显微镜(TEM)进行检测。该技术对于本领域普通技 术人员是充分公知的。

在本发明的另一种优选实施方式中，所述Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A) 中Ti与Al浓度比x(A):y(A)为0.40:0.60至0.60:0.40。更优选地，该浓 度比x(A):y(A)为0.45:0.55至0.55:0.45，特别优选地x(A):y(A)为约 0.50:0.50。如果Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)中的Al比例太低，则所述涂层 的热稳定性不利地受到影响，且因此例如在高温下金属加工期间或温 度变化期间所述工具的耐久性则不利地受到影响。然而，所述 Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)中过高的Al比例不利地影响所述涂层的硬度和 弹性模量。

根据本发明的TiAlN层以一种或多种以下提到的PVD工艺进行沉 积。由于不同的TiAl混合靶材以Ti与Al的不同浓度比布置在PVD装 置中，且引导基底周期性地经过不同的混合靶材，因此可有利地实现 所沉积涂层中铝浓度的变化。相应的TiAl混合靶材优选通过电弧蒸发、 通过磁控管、双磁控管或HIPIMS工艺进行沉积。合适的混合靶材对于 涂层(A)例如以50:50的比例包含Ti和Al，和对于涂层(B)例如以 33:67的比例包含Ti和Al。为了实现沉积涂层中Ti和Al的不同浓度 比，混合靶材中的其它浓度比自然也是可选的。可选地，在磁控管、 双磁控管或HIPIMS工艺中，也可以使用纯铝靶材或具有高铝含量的靶 材代替具有增加的铝含量的混合靶材。电弧蒸发较不适合用于纯铝靶 材或具有高铝含量的靶材，因为这种PVD工艺因铝的低熔点而具有形 成小滴的风险。

在根据本发明的工具的一种优选实施方式中，所述具有多涂层亚 结构的TiAlN层是在金属加工期间与工件相接触的耐磨保护涂层的最 外层。可选地，可以在所述TiAlN层上设置另外的硬质材料的层。

在另一种可选实施方式中，在所述TiAlN层上至少在特定区域设 置薄的磨损检测层，优选TiN或CrN层，其具有0.1至1.5μm的厚度。 前述类型的磨损检测层本身是已知的且主要充当装饰层和/或它们表明 工具是否已经被使用和使用到何种程度以及已经在使用过程中发生的 磨损程度。该薄的磨损检测层在工具的使用过程中以可检测的方式被 磨掉，且当存在相对强的磨损时，下面的通常为不同颜色的耐磨保护 层变得可见。

在根据本发明的工具的另一种优选实施方式中，所述TiAlN层具 有的维氏硬度HV为2500至4000HV 0.015，优选3000至3500HV  0.015。根据本发明的TiAlN层的高度的硬度在金属加工，尤其车削和 铣削工艺中具有特殊的优势，这是因为在使用几何学限定的切削刃的 这些切削过程中，存在就硬度、韧性、耐磨性和热稳定性方面对切削 材料施加最苛刻要求的过程。太低的硬度具有涂层耐磨性降低的缺点。 太高的硬度具有涂层韧性降低和涂层变脆的缺点。

在根据本发明的工具的另一种优选实施方式中，所述TiAlN层具 有的弹性模量为380GPa至470GPa，优选420GPa至460GPa。当所 述工具在机械加工期间被外部施压时，在所述层和在所述基底中产生 机械应力，所述应力在弹性模量之上的程度与引入的弹性形变相关。 如果所述层的弹性模量太低，则在使用期间所述工具机械变形时在所 述层内产生低应力，这与该层也仅可吸收小部分的切削力的缺点相关。 然而，太高的弹性模量具有的缺点在于，在机械变形期间，在该层上 转移过多的力，结果所述层被过早地损毁。

如已经陈述的，对于特定的金属加工应用，特别是车削和铣削， 最特别是在使用断续切削的金属加工应用中，高度的硬度和高弹性模 量的组合是特别有利的。高度的硬度保证高耐磨性。然而，高度的硬 度通常伴随着增加的脆性。高弹性模量同时保证所述材料具有相对低 的脆性且例如能够更好地补偿在断续切削期间产生的高的机械交替应 力。根据本发明的TiAlN层提供具有这些有利特性的工具的耐磨保护 性涂层。

通过纳米压痕法测量硬度和E-模量(更精确地为所谓的约化E-模 量)。在这种测量中，将根据维氏的钻石测试体压进该层中，并且在 测量期间记录力-路径曲线(Kraft-Weg-Kurve)。然后，从这种曲线中 可以计算测试体的机械特性值，特别是硬度和(约化)E-模量。为了确 定根据本发明的层的硬度和E-模量，使用由德国辛德尔芬根Helmut  Fischer股份有限公司制造的H100XYp。应指出压痕深 度不应多于层厚度的10％，否则基底的特性会歪曲所述测量。

可通过x-射线衍射检查根据本发明的层中的残余应力。在这方面， 可以在一级、二级和三级残余应力之间作出区分，所述应力在它们的 范围方面不同且因此在它们对层粘合的影响方面不同。已经证实如果 所述层中的一级和二级残余应力不变得过多，合适地不超过-5GPa(压 应力)，则对于该层到所述工具的粘合是有利的。

在根据本发明的工具的另一种优选实施方式中，所述TiAlN层在 10μm长度上测量的平均表面粗糙度≤1.0μm，优选≤0.5μm。PVD 工艺中沉积参数的合适选择可造成所沉积TiAlN涂层的小滴频率的显 著下降，结果给沉积的层提供了低的平均表面粗糙度Ra。因此，在所 述表面之后的平滑化步骤期间显著减少的工作足以在涂层后实现机械 加工的最佳条件。使用相应的硬质和精细材料的已知喷射方法、研磨 或涂刷法适合用于在层沉积后平滑化所述工具的表面。

例如，用于平滑化所述工具表面的合适方法为在约2.5巴压力下 使用玻璃珠的湿喷射，其使用由50％的具有70-110μm直径的玻璃珠 和50％的具有40-70μm直径的玻璃珠构成的喷射介质。通过检查所期 望的表面光滑度，确定合适的喷射持续时间。例如，就具有10mm直 径的整体硬质金属铣削工具而言，加工时间为约10秒。

用于平滑化所述工具表面的另一种合适方法为拖曳打磨。合适的 磨料例如为椰子壳颗粒化材料，其具有精细金刚石粉作为磨料，和粘 合油。

使用具有例如280/320晶粒度的金刚砂和在液体中约18％的喷射 磨料浓度的湿喷射特别适合用于后处理。在此，适当地使用约1.5至2 巴的喷射压力，喷射方向和角度根据所述工具的类型和大小进行设置。

使用由德国施文宁根HOMMEL-ETAMIC股份有限公司制造的测 量装置Hommel-ETAMIC TURBO WAVE V7.32在抛光的测试可转位刀 具刀片上测量表面粗糙度(探针：TKU300–96625_TKU300/TS1；测 量范围：80μm；测试路径：4.8mm；速度：0.5mm/s)。

在本发明的另一种优选实施方式中，所述工具具有圆化的切削刃， 其具有的刃口半径在3至10μm，优选5至7μm的范围内。具有太小 半径的切削刃遭受刃会很快断裂的风险。过大的切削刃半径需要非常 高的切削力，这不利地影响所述工具的寿命和切屑形状。

根据本发明的工具可被构造为涂层的整体硬质金属工具或涂层的 可转位刀具刀片。

具体实施方式

基于以下实施例，将更加详细地描述本发明的其它优点、特征和 实施方式。

实施例

实施例1–柄工具(Schaftwerkzeuge)

在这一实施例中，对整体硬质金属(SHM)端铣刀(所谓的“硬汉 子”(Tough Guy))设置根据本发明的涂层和根据现有技术的对比涂 层，并在切削测试中比较所述涂层工具。

整体硬质金属(SHM)端铣刀的规格

在涂层前，通过使用玻璃珠的湿喷射，首先使基底经受切削刃圆 化步骤至7μm的半径。

本发明涂层的生产

首先从Ti-Al混合靶材(Ti:Al＝50:50)经电弧蒸发在基底表面上 沉积0.2μm厚的TiAlN中间涂层(偏压：100V，4Pa氮气，0.8A/cm²的比蒸发器流量，沉积温度：550℃)。其上还通过电弧蒸发沉积根据 本发明的耐磨保护涂层，总的层厚度为2μm。从具有50:50的Ti:Al 比的4个Ti-Al混合靶材和从具有33:67的Ti:Al比的2个Ti-Al混合靶 材同时发生沉积(偏压：60V，4.5Pa氮气，两种类型的靶材均为 0.8A/cm²的比蒸发器流量，沉积温度：550℃)。在旋转台上引导基 底通过不同类型的靶材。总的来讲，90个其中Ti:Al＝50:50的 Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)和90个其中Ti:Al＝33:67的Ti_x(B)Al_y(B)N涂层 (B)以周期性交替方式进行沉积，Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)分别具有约 15-19nm的厚度且Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)分别具有约3-6nm的厚度。 之后，还从具有33:67的Ti:Al比的Ti-Al混合靶材经电弧蒸发以0.1μm 的层厚度沉积最终的最外面的涂层(偏压：40V，3.0Pa氮气，0.8A/cm²的比蒸发器流量，沉积温度：550℃)。

对比涂层的生产

从具有33:67的Ti:Al比的Ti-Al混合靶材经电弧蒸发将单层的 TiAlN耐磨保护涂层沉积在基底表面上，总的层厚度为2.5μm(偏压： 80V，1.5Pa氮气，沉积温度：550℃，2A/cm²的比蒸发器流量)。

切削测试1

在铣削测试中对所述涂层工具进行比较，从每种情况下的两次测 试以平均方式确定平均后刀面磨损V_b和最大后刀面磨损V_b最大。在下 表1中陈述测试的结果。

工件：       1.7225号42CrMo4钢，硬化和钢化至约850N/mm²

切削条件：   齿进给量f_z＝0.07mm

             切削速度v_c＝170m/分钟

             切削宽度a_e＝4mm

             切削深度a_p＝8mm

             用CL 5％冷却

             (＝冷却润滑剂，含有5％油的油包水乳液)

在V_b>0.2mm的平均后刀面磨损或V_b最大>0.25mm的最大后刀面 磨损时中断机械加工，然后在结果中鉴定为(./.)。

表1

实施例2–柄工具

在这一实施例中，正如在实施例1中一样，对整体硬质金属(SHM) 端铣刀(所谓的“硬汉子”)设置根据本发明的涂层和根据现有技术的对 比涂层，并在切削测试中比较所述涂层工具。与实施例1相比，所述 涂层端铣刀仅具有不同的形状。

在涂层前，通过使用玻璃珠的湿喷射，也使该基底首先经受切削 刃圆化步骤至7μm的半径。

整体硬质金属(SHM)端铣刀的规格

切削测试2

在铣削测试中对所述涂层工具进行比较，从每种情况下的两次测 试以平均方式确定平均后刀面磨损V_b和最大后刀面磨损V_b最大。在下 表2中陈述测试的结果。

工件：       1.0503号C45钢，约600N/mm²的强度

切削条件：   齿进给量f_z＝0.02mm

             切削速度v_c＝141m/分钟

             切削宽度a_e＝1.2mm

             切削深度a_p＝2.4mm

             用CL 5％冷却

             (＝冷却润滑剂，含有5％油的油包水乳液)

在V_b>0.2mm的平均后刀面磨损或V_b最大>0.25mm的最大后刀面 磨损时中断机械加工，然后在结果中鉴定为(./.)。

表2

实施例3–柄工具

在这一实施例中涂层的工具基底与在实施例1中的相同。同样地 先从Ti-Al混合靶材(Ti:Al＝50:50)经电弧蒸发在基底表面上沉积0.2 μm厚的TiAlN中间涂层(偏压：100V，4Pa氮气，0.8A/cm²的比蒸 发器流量，沉积温度：550℃)。

与实施例1相比，从具有50:50的Ti:Al比的2个Ti-Al混合靶材 经电弧蒸发(2A/cm²的比蒸发器流量)以2μm的总层厚度沉积根据 本发明的耐磨保护涂层，且使用2个Al靶材通过双磁控溅射(13W/cm²的比功率)提高与TiAlN涂层(A)周期性交替的TiAlN涂层(B)中 的铝含量(偏压：80V，1.5Pa氮气，沉积温度：550℃)。和在实施 例2中的一样，90个其中Ti:Al＝50:50的Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)和90 个其中Ti:Al＝33:67的Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)以周期性交替方式进行 沉积，TiAlN涂层(A)各自具有约15-19nm的厚度且TiAlN涂层(B) 各自具有约3-6nm的厚度。

实施例4–可转位刀具刀片

在这一实施例中，为由强度为880N/mm²的42CrMo4钢构成的、 具有方形基本形状的可转位刀具刀片P2808设置根据本发明的涂层和 根据现有技术的对比涂层，并且在切削测试中比较所述涂层工具。

在涂层前，通过使用金刚砂的湿喷射(如上文所述的)，使所述 基底首先经受切削刃圆化步骤至30μm的半径。

本发明涂层的生产

首先从Ti-Al混合靶材(Ti:Al＝50:50)经电弧蒸发在基底表面上 沉积0.2μm厚的TiAlN中间涂层(偏压：100V，4Pa氮气，1.0A/cm²的比蒸发器流量，沉积温度：550℃)。其上还通过电弧蒸发沉积根据 本发明的耐磨保护涂层，总的层厚度为2μm。从具有50:50的Ti:Al 比的4个Ti-Al混合靶材和从具有33:67的Ti:Al比的2个Ti-Al混合靶 材同时进行沉积(偏压：60V，4Pa氮气，两种类型的靶材均为1.0A/cm²的比蒸发器流量，沉积温度：550℃)。在旋转台上引导基底通过不同 类型的靶材。总的来讲，90个其中Ti:Al＝50:50的Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A) 和90个其中Ti:Al＝33:67的Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)以周期性交替方式 进行沉积，Ti_x(A)Al_y(A)N涂层(A)各自具有约15-19nm的厚度且 Ti_x(B)Al_y(B)N涂层(B)各自具有约3-6nm的厚度。之后，还从具有33:67 的Ti:Al比的Ti-Al混合靶材经电弧蒸发将以0.1μm的层厚度沉积最终 的最外面的涂层(偏压：40V，3.0Pa氮气，0.8A/cm²的比蒸发器流 量，沉积温度：550℃)。

对比涂层的生产

从具有33:67的Ti:Al比的Ti-Al混合靶材经电弧蒸发在基底表面 上沉积多涂层(60个涂层)的TiAlN耐磨保护涂层，总的层厚度为4.0 μm(沉积温度：450℃，0.8A/cm²的比蒸发器流量)。压力和偏压从 30V和5Pa氮气变化至60V和2Pa氮气。然后，使用0.8Pa氮气、 0.8A/cm²的比蒸发器流量和100V的偏压从Ti靶材沉积0.1μm厚的 TiN装饰性涂层。

切削测试3

在铣削测试中比较所述涂层工具，在每种情况下从两次测试以平 均方式确定最大后刀面磨损V_b最大。在下表3中陈述测试的结果。

工件：       1.7225号42CrMo4钢，硬化和钢化至约850N/mm²

切削条件：   进给率v_f＝120mm/分钟

             齿进给量f_z＝0.2mm

             切削速度v_c＝235m/分钟

             铣削路径6×800mm

             在不冷却的情况下进行铣削

表3