利用共聚焦显微镜对试样表面进行三维重建的方法

摘要

本发明公开一种利用共聚焦显微镜对试样表面进行三维重建的方法，属于材料分析与测试领域。本发明充分利用了共聚焦显微镜的超大景深，同时排除掉来自非焦平面的反射光的干扰，从而可以得到高清晰度、高对比度的三维立体形貌，弥补了扫描电镜以及金相显微镜存在的一些不足之处。由于实验参数取值范围缩小，参数取值更具针对性和可操作性，所以不但提高了实验结果的准确性，而且大大节约了实验时间，从而提高了共聚焦显微镜的实验效率。