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一种Fe掺杂纳米管阵列膜的制备方法及其应用

摘要

本发明公开了一种Fe掺杂纳米管阵列膜的制备方法及其应用。采用本发明的方法,能够形成直径40-60nm的多孔纳米管阵列膜,纳米管垂直于基体表面排列。相比于TiO

著录项

  • 公开/公告号CN104233206A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-12-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 左娟;

    申请/专利号CN201410298996.9

  • 申请日2014-06-30

  • 分类号C23C14/35;C23C14/06;B82Y30/00;B82Y40/00;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 361000 福建省厦门市思明区思明南路394号

  • 入库时间 2023-12-17 03:49:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-19

    授权

    授权

  • 2016-01-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20140630

    实质审查的生效

  • 2015-12-02

    专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C14/35 登记生效日:20151113 变更前: 变更后: 申请日:20140630

    专利申请权、专利权的转移

  • 2014-12-24

    公开

    公开

说明书

技术领域

本发明涉及催化剂合成和化工技术领域,尤其涉及一种Fe掺杂纳米管阵 列膜的制备方法及其应用。

背景技术

TiO2是一种化学性能优良和光稳定性高的半导体材料。阳极氧化技术制备 的TiO2纳米管阵列膜以高度有序的阵列形式排列,分布均匀。纳米管具有极 高的有序结构和很高的量子效应,可通过调整一系列制备参数达到纳米管管径 (22~200nm)、管长(200~250μm)、管壁厚度(7~110nm)和结构(无定形、锐钛矿 或金红石)的可控,稳定性高。该高度有序的二氧化钛纳米管阵列垂直排列在 表面,允许电荷沿着纳米管从溶液到导电基体的顺畅传输,从而减少了在纳米 颗粒之间电荷跃迁的损失。另外电子运输能力的提升还提高了光的吸收。这种 新型的纳米TiO2材料具有独特的性能,在光催化、气敏传感器、光解水制氢、 生物材料等领域已显示出极大的应用前景。

TiO2的禁带宽度为380nm左右,只能吸收波长小于387.5nm的太阳光。 而到达地球表面的太阳光中紫外光(λ<400nm)辐射部分只占了整个太阳光能 谱的4%左右,可见光约为45%,因此开发可见光响应型光催化剂成为目前光 催化领域的一个重要课题。此外,TiO2光催化还存在量子效率偏低、光生电子 与空穴的复合几率高和降解速率不快的问题。已有研究表明,采用金属离子掺 杂等方法对TiO2进行适当的掺杂或表面改性,不仅可有效地抑制光生电子和 空穴的复合,而且可扩展TiO2对可见光的吸收范围从而提高其光催化性能。 通过掺杂,TiO2的内在性能能够调控,并且其晶体结构也不会随掺杂浓度而改 变。Fe的氧化物FeO(方铁矿),Fe2O3(α-赤铁矿、γ-磁赤铁矿)和Fe3O4(磁 铁矿)有十分优异的性能,被广泛用于能量存储、催化、传感、磁性共振成像 等方面。Fe的掺杂可降低TiO2的禁带宽度,增加其在可见光区的催化活性。

有人采用类似制备TiO2纳米管阵列膜的方法,用恒电位阳极氧化Fe箔 片的方法形成了多孔的铁氧化物膜层,这种方法制备的纳米管有序性比较差。 也有人在400℃时在FTO导电玻璃上用Ti-Fe基粉末靶溅射制备Ti-Fe薄膜, 然后阳极氧化制备Ti-Fe-O纳米管用于水的解离。这种方法制备的纳米管的有 序性也比较差,而且这种方法受靶材限制只有一种Fe掺杂浓度,要改变浓度 需要重新制备Ti-Fe基粉末靶。也有报道用化学法,以Fe(NO3)3和HF的混 合水溶液为电解液采用一步阳极氧化法实现Fe3+在TiO2纳米管阵列膜层中 的掺杂。掺杂后的样品在可见光区的光催化活性有所提高,对其掺杂机理进 行分析发现过高的Fe3+浓度会阻止化学溶解过程的发生,以至于Ti基体阳极 氧化后表面只有局部形成纳米管阵列;Raman的测试结果显示,Fe3+的掺入可 有效地阻止TiO2由锐钛矿相向金红石相的转变,而且由于与Ti4+半径相近的 Fe3+在掺杂过程中进入了TiO2的晶格,使晶格发生畸变,谱峰有宽化的趋势; Fe3+的掺入使TiO2纳米管阵列的光电流增大,光吸收带边红移,在紫外光照射 下对亚甲基蓝的光催化降解速率提高了73%。TiO2纳米管阵列光催化活性的 提高主要归因于适量的Fe3+掺杂有助于光生电子-空穴的分离。然而这种化学 方法制备的纳米管掺杂均匀性比较差,而且在管中掺杂浓度比较难以控制。

发明内容

针对现有技术不足,本发明所要解决的问题是提出一种Fe掺杂纳米管阵 列膜的制备方法及应用。为了实现本发明的目的,拟采用如下技术方案:

本发明一方面涉及一种Fe掺杂纳米管阵列膜的制备方法,其特征在于包 括如下步骤:

(1)采用配备有2个射频溅射靶的磁控溅射镀膜机,以99.999%以上和 99.99%以上纯度的Ti、Fe作为金属靶,溅射气体为Ar气;将真空室抽至1×10-4Pa以下,溅射气压为2-3Pa;ITO玻璃基板用丙酮、乙醇和二次去离子水超声 波清洗;于室温下在Ar流量下ITO玻璃上首先溅射Ti膜,溅射功率80-120W 沉积2.0-3.0小时,再使用励磁电源4-6A,直流电源0.2-0.4A\280-320V下溅射 4-6min Fe膜,再使用之前Ti膜沉积的条件沉积2.0-3.0h的Ti膜得到Ti\Fe\Ti 三明治结构复合膜层;

(2)将Ti\Fe\Ti三明治结构超薄复合膜层样品在280-320℃下,保护气体 为90-98%的氩气和10-2%的氢气中烧结20-40min,进行退火处理,形成Fe 掺杂的Ti膜层;

(3)采用两电极体系,将步骤(2)得到的Fe掺杂的Ti膜层为工作电极, 铂片为对电极,在20-30℃,25-35V恒电压下,对Ti\Fe\Ti三明治结构超薄 复合膜进行恒电位阳极氧化处理,待膜变透明之后,取出样品,用去离子水冲 洗表面,在空气中晾干,即得到Fe掺杂的TiO2纳米结构膜层。

在本发明的一个优选实施方式中,步骤(3)中所用电解液其组成为0.5wt %NH4F,2vol%去离子水,98vol%乙二醇,pH6.8-7.2。

本发明另一方面还涉及采用上述方法所制备的Fe掺杂纳米管阵列膜。

本发明另一方面还涉及上述Fe掺杂纳米管阵列膜的应用,所述的应用是 指作为光催化剂的应用;优选的,作为亚甲基蓝光催化降解的催化剂。

附图说明

图1:退火前后Ti\Fe\Ti三明治结构超薄复合膜层XRD相图;退火前, 可以看到Ti的金属峰,由于Fe纳米薄膜很好的分散于Ti膜中,并没有检测 到金属Fe峰。退火后,Ti-Fe薄膜生成新的相,FeTi和Fe2Ti合金相。

图2:Fe掺杂的TiO2纳米管阵列SEM图;图中可以看到,经过阳极氧 化,致密的Ti膜生成了直径约为50nm左右的多孔纳米管阵列膜,纳米管有 序的排列,并垂直于基体表面。

图3不同制备方法得到的光催化剂对亚甲基蓝溶液的光催化降解效果。 亚甲基蓝溶液在没有催化剂的情况下,自身存在一定程度的光分解。电泳沉积 法(EPD)制备的样品具有最弱的光催化活性,其次是溶胶凝胶法Sol-gel法 制备的样品。接着是无掺杂的TiO2纳米管阵列膜样品,最好光催化活性的是 Fe掺杂的TiO2纳米管阵列膜样品。

具体实施方案

下面结合实例对本发明做进一步详细说明,但是此说明不会构成对本发明 的限制。

实施例1

实验步骤:

Fe掺杂的TiO2纳米管阵列制备方法如下:

步骤一:采用JGP450型磁控溅射镀膜机,该镀膜机配备有2个射频溅射 靶,其中Ti、Fe膜的溅射使用99.999%和99.99%纯度的Ti、Fe金属靶,溅 射气体为Ar气;首先将真空室抽至1×10-4Pa,溅射气压为2-3Pa。ITO玻璃基 板用丙酮、乙醇和二次去离子水超声波清洗15min。于室温下在Ar流量为8 sccm下ITO玻璃上首先溅射Ti膜,溅射功率100W沉积2.5小时,再使用励 磁电源5A,直流电源0.3A\300V下溅射5min Fe膜,再使用之前Ti膜沉积的 条件沉积2.5h的Ti膜得到Ti\Fe\Ti三明治结构超薄复合膜层。

将样品在300℃下,保护气体为95%的氩气和5%的氢气中烧结30min, 进行退火处理,形成Fe掺杂的Ti膜层。

图1为退火前后Ti\Fe\Ti三明治结构超薄复合膜层XRD相图;退火前, 可以看到Ti的金属峰,由于Fe纳米薄膜很好的分散于Ti膜中,并没有检测 到金属Fe峰。退火后,Ti-Fe薄膜生成新的相,FeTi和Fe2Ti合金相。

步骤二:采用两电极体系,Ti\Fe\Ti三明治结构超薄复合膜为工作电极, 铂片为对电极,在25℃,30V恒电位下,对Ti\Fe\Ti三明治结构超薄复合膜 进行恒电位阳极氧化处理,待膜变透明之后,取出样品,用大量去离子水冲洗 表面,在空气中晾干,即得到Fe掺杂的TiO2纳米结构膜层。所用电解液其组 成为0.5wt%NH4F,2vol%去离子水,98vol%乙二醇,pH约为7.0。通 过调节温度、电压等参数,控制纳米管/孔膜层的形貌和尺寸。

图2为25℃,30V恒电位下得到的Fe掺杂TiO2纳米管阵列SEM图; 图中可以看到,经过阳极氧化,致密的Ti膜生成了直径约为50nm左右的多 孔纳米管阵列膜,纳米管有序的排列并垂直于基体表面。

无掺杂的TiO2纳米管纳米管阵列膜制备方法如下:

没有掺杂的TiO2纳米管的制备方法与Fe掺杂TiO2纳米管阵列膜相似, 用JGP450型磁控溅射镀膜机溅射功率100W沉积2.5小时Ti膜,再用pH约 为7.0的0.5wt%NH4F,2vol%去离子水,98vol%乙二醇电解液25℃ 时,30V恒电位阳极氧化得到TiO2纳米管膜。

溶胶-凝胶法制备TiO2颗粒膜制备方法如下:

在20ml无水乙醇中加入稳定剂乙酸乙酯EAcAc,充分混合后,加入2mL 钛酸四丁酯,边加入边搅拌,反应1h后,逐滴加入微量的水,继续搅拌10h, 静置24h,制得稳定的TiO2溶胶。将载波片依次用丙酮、无水乙醇、三次水超 声清洗、干燥。采用自制提拉机以0.5~1mm/s的速度匀速提拉,在金属基体 表面构筑一层均匀的纳米膜,待自然干燥后,放入红外灯下干燥30min,重复 操作三次,置于马弗炉中,在450℃恒温灼烧30min,自然降温,制得所需样 品。

电泳法制备TiO2薄膜的方法如下:

将4g TiO2纳米粉体放在研钵中研磨,加入100ml异丙醇溶剂。使用前胶 体经超声波分散0.5h。将清洗干净的导电玻璃和Pt电极插入盛有TiO2胶体溶 液的电泳池中,两者相距2cm。本体系将导电玻璃作阴极,用0.1M的盐酸调 节悬浮液的pH值至3~4。由于实验所加酸量很少,电流不大,不易监控,因 此实验中采用恒电压模式电泳沉积。为了得到比较均匀的涂层,采用不高于 50V的电压,所用电压范围为40~45V,沉积时间为2min。然后在450℃下 煅烧2h,使涂层与基体具有更高的结合强度。

分别将Fe掺杂TiO2纳米管阵列膜、溶胶-凝胶法和电泳沉积法制得的纳 米膜样品放入盛有20mL浓度为10mg/L亚甲基蓝溶液的烧杯中。经过一段时 间反应后,用美国VARIAN公司生产的Cary5000紫外-可见-近红外分光光 度计测定剩余亚甲基蓝溶液在664nm处的吸光度值,可得到未分解亚甲基蓝 溶液的浓度。图3为不同方法制备的氧化钛样品光催化降解亚甲基蓝的lnCo/Ct~t关系图。其中C0为亚甲基蓝起始浓度,Ct为时间t时未分解亚甲基蓝溶液 浓度。可以看到Fe掺杂TiO2纳米管阵列膜表现出最好的光催化活性。

以上所述是本发明的优选实施例,应当指出,对于本技术领域的普通技术 人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰, 这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

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