公开/公告号CN104198826A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州贝昂科技有限公司;
申请/专利号CN201410487531.8
申请日2014-09-22
分类号G01R29/02(20060101);G01N15/06(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人王宝筠
地址 215125 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街328号15栋1楼
入库时间 2023-12-17 03:04:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-02
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N15/06 申请公布日:20141210 申请日:20140922
发明专利申请公布后的驳回
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R29/02 申请日:20140922
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
机译: 信号带电粒子偏转器,信号带电粒子检测系统,带电粒子束装置以及检测信号带电粒子束的方法
机译: 信号带电粒子偏转装置,信号带电粒子检测系统,带电粒子束装置和信号带电粒子束的检测方法
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