多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置及缺陷检查方法、多孔质中空纤维膜及其制造方法

摘要

本发明提供一种能简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷的缺陷检查装置及缺陷检查方法。本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置具有：收容有液体的容器；流路部件，其内部形成有使多孔质中空纤维膜连续通过的中空纤维膜行进流路，该流路部件配置在所述液体中，流路内充满所述液体；将所述多孔质中空纤维膜的行进限制成在所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路内的液体中通过的限制单元；液使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体流动而使所述中空纤维膜行进流路内的液体的压力下降的体吸引单元；和对从所述多孔质中空纤维膜的缺陷流出到液体中的气泡进行检测的气泡检测单元。并且，多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法使用所述缺陷检查装置。

说明书

技术领域

本发明涉及一种多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置及缺陷检查方法、多孔质中空纤维膜及其制造方法。

本申请基于2011年7月19日在日本申请的特願2011-157885号要求优先权，并将其内容引用在此。

背景技术

根据对于环境污染的关心的高涨和限制的强化，使用分离性、紧凑性等优异的过滤膜的水处理引人注目。作为水处理中的过滤膜，适合使用具有中空状多孔质层的多孔质中空纤维膜。这种多孔质中空纤维膜，当存在开裂、针孔等缺陷时，应去除的物质就通过该缺陷而不能获得充分的效果。因此，多孔质中空纤维膜在制造后或在制造中，要检查有无开裂、针孔等缺陷。

作为多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，例如专利文献1公开了一种缺陷检查装置，其具有：收容液体的容器；将多孔质中空纤维膜的行进限制成在收容于所述容器的液体中通过的限制单元；从所述容器的气相中将空气排出并对容器内部进行减压的减压单元；以及对从多孔质中空纤维膜的缺陷中流出到液体中的气泡进行检测的气泡检测单元。在使用这种缺陷检查装置的缺陷检查中，通过将收容有液体的具有高密闭形的容器中的气相的空气予以排出，从而该气相的压力下降，容器中的液体压力随之下降，因此，多孔质中空纤维膜内的空气从缺陷流出到液体中而产生气泡。通过检测从该多孔质中空纤维膜的缺陷产生的气泡，从而可间接地检测多孔质中空纤维膜的缺陷。

专利文献1：日本特开2007-218859号公报

但是，所述缺陷检查装置具有容器构造复杂的问题。即，容器中的多孔质中空纤维膜的导入部和导出部，需要是与多孔质中空纤维膜不接触的开放的状态，以抑制因与容器接触而使多孔质中空纤维膜产生损伤的现象。另一方面，为了将容器内部充分减压而要求较高的密闭性，因此，所述导入部和所述导出部需要是迷宫式密封构造等的复杂构造。

另外，所述缺陷检查装置进行的缺陷检查，由于不能完全防止气体从所述导入和所述导出部流入容器内的现象，来自气相的排气量变大，故浪费能源。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于，提供一种能简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷的缺陷检查装置及缺陷检查方法。另外，本发明的目的在于，提供一种利用所述缺陷检查方法的多孔质中空纤维膜的制造方法、以及用该制造方法制成的多孔质中空纤维膜。

用于解决课题的手段

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法是，将流路部件的中空纤维膜行进流路的两端的开口配置在液体中，并在流路内充满所述液体，所述流路部件贯通内部地形成有使多孔质中空纤维膜通过的所述中空纤维膜行进流路，使多孔质中空纤维膜以在所述中空纤维膜行进流路内的所述液体中通过的状态连续行进，通过使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体流动，从而使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体的压力下降，对从所述多孔质中空纤维膜的缺陷流出到所述液体中的气泡进行检测。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法较好的是，将进一步形成有分歧流路的所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路的两端的开口配置在所述液体中，并在流路内充满所述液体，所述分歧流路从所述中空纤维膜行进流路分歧并通向一壁面，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体通过所述分歧流路而流动，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体的压力下降。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法较好的是，在所述中空纤维膜行进流路的分歧出所述分歧流路的部分，设有流路宽度被扩展的空间扩大部，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体从所述空间扩大部通过所述分歧流路而流动，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体的压力下降。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法较好的是，通过使所述气泡与所述液体一起流动，从而将所述气泡向检测气泡的气泡检测单元引导。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法较好的是，将气泡及溶解气体被去除后的液体作为充满所述流路内的所述液体供给。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法较好的是，检测从所述中空纤维膜行进流路内被吸引而流动的所述液体中的气泡。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置是，具有：容器，该容器收容有液体；流路部件，该流路部件贯通内部地形成有使多孔质中空纤维膜连续通过的中空纤维膜行进流路，且所述中空纤维膜行进流路的两端的开口配置在所述液体中，流路内充满所述液体；限制单元，该限制单元将所述多孔质中空纤维膜的行进限制成在所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路内的所述液体中通过；液体吸引单元，该液体吸引单元使所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路内的所述液体流动，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体的压力下降；以及气泡检测单元，该气泡检测单元对从所述多孔质中空纤维膜的缺陷流出到所述液体中的气泡进行检测。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置较好的是，所述流路部件是，所述流路部件进一步形成有从所述中空纤维膜行进流路分歧并通向一壁面的分歧流路，且所述中空纤维膜行进流路的两端的开口配置在所述液体中，流路内充满所述液体，使所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路内的所述液体通过所述分歧流路而流动，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体的压力下降。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置较好的是，在所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路的分歧出所述分歧流路的部分，设有流路宽度被扩展的空间扩大部，利用所述液体吸引单元，使所述流路部件的所述中空纤维膜行进流路内的所述液体从所述空间扩大部通过所述分歧流路而流动，使所述中空纤维膜行进流路内的所述液体的压力下降。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置较好的是，所述气泡与所流动的所述液体一起被向所述气泡检测单元引导。

所述气泡检测单元最好设置在所述中空纤维膜行进流路与所述液体吸引单元之间。

所述气泡检测单元最好具有将检查光入射到所述液体中的射光部、以及接受在所述液体中透过后的检查光的受光部。

较好的是，所述射光部和所述受光部设置成互相相对。

较好的是，所述射光部和所述受光部设置成所述射光部和所述受光部的顶端部分位于从所述中空纤维膜行进流路被吸引而流动的所述液体中。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，较好的是，还具有使所述液体流入所述容器的液体流入管线，在所述液体流入管线上设有将所流入的所述液体所含有的气泡予以去除的消泡单元。

较好的是，在所述液体流入管线上设有将所流入的所述液体中的溶解气体予以去除的消气单元。

较好的是，所述液体流入管线具有使所述液体从液体供给源流入所述容器的液体供给管线。

较好的是，所述液体流入管线具有使从所述流路部件吸出的所述液体流入所述容器而循环的液体循环管线。

本发明的多孔质中空纤维膜的制造方法是，利用凝固液使含有疏水性聚合物、亲水性聚合物和溶剂的制膜原液凝固而形成多孔质中空纤维膜前躯体的凝固工序；对所述多孔质中空纤维膜前躯体进行清洗而将残存在该多孔质中空纤维膜前躯体中的溶剂去除的清洗工序；将残存在所述多孔质中空纤维膜前躯体中的亲水性聚合物去除而获得多孔质中空纤维膜的去除工序；将所述多孔质中空纤维膜干燥的干燥工序；以及用本发明的缺陷检查方法对所述干燥工序后的所述多孔质中空纤维膜检查缺陷的缺陷检查工序。

本发明的多孔质中空纤维膜，是用具有如下工序的多孔质中空纤维膜的制造方法制成的：利用凝固液使含有疏水性聚合物、亲水性聚合物和溶剂的制膜原液凝固而形成多孔质中空纤维膜前躯体的凝固工序；对所述多孔质中空纤维膜前躯体进行清洗而将残存在该多孔质中空纤维膜前躯体中的溶剂去除的清洗工序；将残存在所述多孔质中空纤维膜前躯体中的亲水性聚合物去除而获得多孔质中空纤维膜的去除工序；将所述多孔质中空纤维膜干燥的干燥工序；以及用技术方案1～6中任一项所述的缺陷检查方法对所述干燥工序后的所述多孔质中空纤维膜检查缺陷的缺陷检查工序。

发明的效果

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，不需要复杂的密闭构造就可简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷。

另外，采用本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法，可简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷。

另外，采用本发明的多孔质中空纤维膜的制造方法，可简便而高效地获得无缺陷的多孔质中空纤维膜。

另外，可简便而高效地对本发明的多孔质中空纤维膜进行缺陷检查。

附图说明

图1是表示本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的一例的主视示意图。

图2是图1的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置中的流路部件的立体图。

图3是图2的流路部件的I-I’剖视图。

图4是图2的流路部件的II-II’剖视图。

图5是与图4相同地将在上盖部背面形成有形成空间扩大部的扩大槽的其它例子的流路部件予以剖切后的剖视图。

图6是图4的流路部件的III-III’剖视图。

图7是图4的流路部件的IV-IV’剖视图。

图8是与图7相同地将本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的其它例子的流路部件予以剖切后的剖视图。

图9是与图4相同地将图8的流路部件予以剖切后的剖视图。

图10是表示本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的其它例子的主视示意图。

图11是表示本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的其它例子的主视示意图。

图12是与图4相同地将本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的流路部件的其它例子予以剖切后的剖视图。

图13是表示本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的流路部件的其它例子的立体图。

图14是图13的流路部件的V-V’剖视图。

图15是实施例1的多孔质中空纤维膜的缺陷检查所使用的装置结构的主视示意图。

图16是多孔质中空纤维膜中无缺陷部分的光电传感器放大器的气泡检测图形。

图17是多孔质中空纤维膜中有缺陷部分的光电传感器放大器的气泡检测图形。

图18是实施例1的缺陷检查中的光电传感器放大器的气泡检测结果。

符号说明

1～3      多孔质中空纤维膜的缺陷检测装置

10，10A，10B   容器

20，20A～20D   流路部件

21，21A    中空纤维膜行进流路

22         空间扩大部

23，23A    分歧流路

30         限制单元

31～34     导辊

40         液体吸引单元

50         气泡检测单元

51         射光部

52         受光部

60         液体流入管线

61         液体供给管线

62         液体排出管线

63         液体循环管线

64，67     消泡单元

65         消气单元

66         减压单元

68         压力表

70         供给装置

80         收取装置

D          中空纤维膜行进流路长度

d₁         中空纤维膜行进流路截面宽度

d₂         中空纤维膜行进流路截面高度

d₃         中空纤维膜行进流路的间隙的距离

w₁         空间扩大部宽度

f          空间扩大部长度

h          空间扩大部高度

具体实施方式

<多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置>

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置是检查多孔质中空纤维膜缺陷的装置。下面，将本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置的一例予以表示而详细进行说明。

本实施形态的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置1(以下仅称为“缺陷检查装置1”)如图1～4所示，具有：收容有液体L的容器10；流路部件20，该流路部件贯通内部地形成有使多孔质中空纤维膜M通过的中空纤维膜行进流路21，并进一步形成有从中空纤维膜行进流路21分歧而通向一壁面的分歧流路23，这些流路内充满液体L；限制单元30，该限制单元30将多孔质中空纤维膜M的行进限制成在流路部件20的中空纤维膜行进流路21内通过；液体吸引单元40，该液体吸引单元40使充满在流路部件20的中空纤维膜行进流路21内的液体L通过分歧流路23而流动，使中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降；以及气泡检测单元50，该气泡检测单元50对从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出到液体L中的气泡进行检测。

另外，缺陷检查装置1具有使液体L流入容器10的液体流入管线60。液体流入管线60具有液体供给管线61，该液体供给管线61的一端与液体供给源(未图示)连接，另一端与容器10连接，使液体从所述液体供给源流入；以及液体循环管线63，该液体循环管线63的一端与流路部件20的分歧流路23连接，另一端与容器10连接，使从流路部件20的分歧流路23吸出的液体L流入容器10而进行循环。

液体吸引单元40设在液体循环管线63的中途，可通过分歧流路23、液体循环管线63使中空纤维膜行进流路21内的液体L流动。

容器10是收容液体L的容器。在本例中，流路部件20浸渍在收容在容器10内的液体L中。

容器10的材质不特别限定，只要是在湿气和液体L中耐腐蚀、不被液体L侵蚀的原材料即可，例如有聚酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚酰胺、聚丙烯、聚缩醛等树脂，铁、铝、铜、不锈钢、镍、钛等金属或合金类，或者它们的复合材料等。

容器10的形状和大小只要是能浸渍流路部件20，且能确保当从流路部件20的两端开口21a、21b吸入容器10内的液体L时不会产生漩涡而从液面吸引空气的液深即可。

容器10通过液体供给管线61与液体供给源(未图示)连接。在液体供给管线61的中途设有消泡单元64及消气单元65。液体L从液体供给源通过液体供给管线61而供给到容器10。另外，所供给的液体L中的气泡由消泡单元64去除。由此，能抑制所供给的液体L中含有的气泡带来的误检测，因此，对从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出的气泡进行检测的可靠性提高。另外，液体供给管线61内的液体L中的溶解气体由消气单元65去除。由此，对从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出的气泡进行检测的可靠性进一步提高。

作为消泡单元64及消气单元65，只要能将供给到容器10的液体L中的气泡和溶解气体予以去除即可。作为消泡单元64，例如有使用过滤精度为0.1μm左右的分离膜等的过滤组件等能将液体L中的气泡和液体分离的结构。另外，作为消泡单元65，例如有在使用了气体分离用多孔质中空纤维膜的消气组件上组合了减压单元66的结构等，能将液体L中的溶解气体消除。

另外，在容器10上形成有溢流用的排液口，收容于容器10的液体L通过液体排出管线62而被溢流，容器10内的液体L的液面就被保持一定。

在本发明的缺陷检查装置中，如本例所述，较好的是在液体循环管线63的中途设置消泡单元67。由此，能高效地将混入在容器10内循环的液体L中的杂质、和在流路部件20及液体吸引单元40内从液体L中被消除而成为气泡的溶解气体予以去除，能抑制循环的液体L中含有的气泡所带来的误检测。相比于由设在液体供给管线61上的消泡单元64带来的可靠性提高的效果而言，由设在液体循环管线63上的消泡单元67带来的可靠性提高的效果较大。另外，消泡单元67在分离出的气泡累积的部分设有排水口，始终使适量的液体L向容器10外流出，从而可防止气泡积存在消泡单元67内而使液体过滤面积减少的现象。作为消泡单元67，例如有与消泡单元64所举出的例子相同的结构。

另外，为了进一步提高气泡检测的可靠性，液体循环管线63上也可设有消气单元。

作为液体L，例如有水、用作为湿式张力试验试剂的甲醇、酒精、甲酰胺或它们与水的混合液等。其中，从表面张力大小影响能检测出的缺陷大小的观点看，较好的是能正确知道表面张力特性的液体，从处理和排水处理方面看，尤其较好的是水(28℃的表面张力是73.0mN/m左右)。另外，也可使用对温度、水和甲醇的混合比等进行调节而调节表面张力的液体L。另外，在将缺陷检查装置装入多孔质中空纤维膜的制造流水线中、在多孔质中空纤维膜的制造流水线上连续检测缺陷的情况下，例如也可将用于多孔质中空纤维膜的清洗的液体(例如纯水)用作为液体L。即，容器10也可是收容对纺丝后的多孔质中空纤维膜进行清洗的清洗装置中的清洗液的容器。

另外，当在检查中使液体L的表面张力下降的物质从多孔质中空纤维膜流出、液体L的表面张力下降时，缺陷检查装置最好具有对液体L的表面张力进行监测、通过控制供给到容器10的水的供给量而将液体L的表面张力保持为恒定的机构。

如图1～图4所示，流路部件20中贯通内部地形成有使多孔质中空纤维膜M通过的中空纤维膜行进流路21。在中空纤维膜行进流路21中，呈多孔质中空纤维膜M的周围全部被壁面围住的状态。此外，在流路部件20上形成有从中空纤维膜行进流路21分歧并通向流路部件20的下壁面的分歧流路23。在中空纤维膜行进流路21的中央部分设有流路的宽度被扩展的空间扩大部22，分歧流路23在空间扩大部22的部分从中空纤维膜行进流路21分歧。在本例中，流路部件20被浸渍在收容于容器10的液体L中，从而中空纤维膜行进流路21的两端开口21a、21b被配置在液体L中。由此，液体L从中空纤维膜行进流路21的两端开口21a、21b流入中空纤维膜行进流路21内，包含空间扩大部22的中空纤维膜行进流路21整体和分歧流路23的内部充满液体L。

分歧流路23通过液体循环管线63与液体吸引单元40连接，利用液体吸引单元40，从空间放大部22通过分歧流路23吸引中空纤维膜行进流路21内的液体L而使其流动。由此，利用中空纤维膜行进流路21内的、在多孔质中空纤维膜M的外周部与中空纤维膜行进流路21壁面之间流动的液体L的流动压力损失，可使中空纤维膜行进流路21内的内部液体L的压力下降。中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力，在空间扩大部22中与分歧流路23连接的连接部分为最低。这样，流路部件20的流路内充满液体L，并且中空纤维膜行进流路21被维持成中空纤维膜行进流路21内的液体L持续从空间扩大部22向分歧流路23流动的减压状态，缺陷检查装置1可使多孔质中空纤维膜M在这样的中空纤维膜行进流路21内连续行进。

如图2～4、图6及图7所示，本例的流路部件20通过用上盖部20b闭合流路部件主体20a的上部而形成，所述流路部件主体20a形成有槽和分歧流路23，所述槽形成在中央具有空间扩大部22的中空纤维膜行进流路21。流路部件主体20a和上盖部20b也可没有互相密接固定用的特别的机构。即使没有该特别机构，液体L因液体吸引单元40的吸引而流动，中空纤维膜行进流路21及分歧流路23内的液体L的压力下降，从而流路部件主体20a与上盖部20b也互相密接固定。采用这种结构，即使多孔质中空纤维膜M堵塞在中空纤维膜行进流路21的内部，通过将上盖部20b打开，就可容易地从流路部件主体20a取出多孔质中空纤维膜M。

但是，在流路部件主体20a与上盖部20b上也可设置将它们闭合用的机构。另外，在形成有形成中空纤维膜行进流路21的槽和分歧流路23的流路部件主体20a的上部由上盖部20b闭合而形成流路部件20的情况下，有时即使稍许外部空气从流路部件主体20a与上盖部20b的接合面被吸引而混入液体L，也会将该气泡误检测为缺陷。作为防止该问题的方法，如有这样的方法：充分确保流路部件主体20a与上盖部20b的接合面的气密性的方法(1)；以及做成这种结构的方法(2)：使流路部件主体20a与上盖部20b的接合面的接合线整体浸渍在液体L中，即使流路部件主体20a与上盖部20b的接合面的气密性损坏也吸引液体L而不吸引外部空气。其中，方法(2)简便且可靠性高，是较佳的。

在形成有槽的流路部件主体20a的上部由上盖部20b闭合而形成流路部件20、所述槽形成具有空间扩大部22的中空纤维膜行进流路21的情况下，从容易形成流路的观点看，与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状最好如图6所示是矩形。与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状若是矩形，则与该截面形状是圆形的情况相比，即使多孔质中空纤维膜M与流路的壁面接触，接触面积也更小，在不易产生损伤这一方面是有利的。

另外，与在流路部件主体20a和上盖部20b的接合面的双方形成半圆形的槽，通过闭合它们而形成圆形流路的情况相比，当与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状为矩形、由上盖部20b的底部形成其一条边时，形成流路的槽仅形成在流路部件主体20a侧即可，可将上盖部20b的接合面做得平坦。这样的话，流路加工容易，不需要流路部件主体20a与上盖部20b的精密的位置对准。另外，由于在流路内配置多孔质中空纤维膜M时，可使多孔质中空纤维膜M完全进入形成于流路部件主体20a的槽内，因此，当将上盖部20b闭合时在接合面夹入多孔质中空纤维膜M的可能性就消失。与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状为三角形时，若也由上盖部20b的底部形成其一条边，则可获得与前述矩形的情况相同的效果。

但是，与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状不限于矩形、三角形，也可是五边形以上的多边形或圆形等。

中空纤维膜行进流路21的壁面与多孔质中空纤维膜M的间隙的距离，较好的是多孔质中空纤维膜M直径的5%～40%，更好的是10%～20%。若中空纤维膜行进流路21的间隙的距离是所述下限值以上，则容易抑制与中空纤维膜行进流路21的壁面接触而对多孔质中空纤维膜M带来的表面损伤，和多孔质中空纤维膜M的行进阻力的增大。中空纤维膜行进流路21的间隙的距离若是所述上限值以下，则在中空纤维膜行进流路21内，可防止因液体L的流动而使多孔质中空纤维膜M产生振动或弯曲而增大多孔质中空纤维膜M的行进阻力的现象，另外，也容易减少使多孔质中空纤维膜M所行进的中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降到规定压力所需的液体吸引单元40中的液体L的吸引量。

中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22以外部分的宽度d₁(图3、图6)，较好的是多孔质中空纤维膜M直径的110%～180%，更好的是120%～140%。中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22以外部分的高度d₂(图6)也相同，较好的是多孔质中空纤维膜M直径的110%～180%，更好的是120%～140%。

另外，中空纤维膜行进流路21的内壁面最好经精密磨削加工或研磨加工而加工成平滑，从而即使与多孔质中空纤维膜M接触也不会损伤多孔质中空纤维膜M的表面。并且除此之外，更好的是，对中空纤维膜行进流路21的内壁面，实施使与多孔质中空纤维膜M的摩擦阻力降低的氟类涂层或金刚石类碳涂层等。

另外，与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状，如果是矩形则最好是正方形，如果是三角形则最好是正三角形。

若与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状是正多边形，则中空纤维膜行进流路21内的沿多孔质中空纤维膜M周围流动的液体L的流动状态就相对于多孔质中空纤维膜M的中心轴为轴对称状态，中空纤维膜行进流路21内的多孔质中空纤维膜M的行进状态容易变得稳定。

中空纤维膜行进流路21的长度D(图3)虽然因检查速度(多孔质中空纤维膜M的行进速度)等而有所不同，但较好的是100mm～2000mm，更好的是300mm～1000mm。若中空纤维膜行进流路21的长度D是所述下限值以上，则容易检测从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出的气泡。若中空纤维膜行进流路21的长度D是所述上限值以下，则容易抑制多孔质中空纤维膜M的行进阻力上升、缺陷检查装置1过大的现象。

较好的是，从开口21b、开口21a至分歧流路23的距离分别相等，从开口21b、21a至分歧流路23的流路构造相对于分歧流路23为对称构造。做成这样构造的话，当利用液体吸引单元40通过分歧流路23吸引中空纤维膜行进流路21内的液体L而使其流动时，从开口21b、21a至分歧流路23的液体L的压力分布相对于分歧流路23就成为对称。因此，在中空纤维膜行进流路21及空间扩大部22内，从多孔质中空纤维膜M的缺陷开始出气泡的位置和不出气泡的位置就夹着分歧流路23而对称。由此，可根据气泡检测单元50的测定中开始检测出气泡的时间和检测不到气泡的时间、以及多孔质中空纤维膜M的行进速度，来精度良好地确定多孔质中空纤维膜M的缺陷位置，所述气泡检测单元50对从行进的多孔质中空纤维膜M的缺陷流出到液体L中的气泡进行检测。

空间扩大部22的宽度w₁(图3)及高度h(图7)，比中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22以外的部分的宽度d₁及高度d₂大。

中空纤维膜行进流路21中的空间扩大部22与除此以外的部分的连接部分，最好加工成平滑而无锐角部。通过消除锐角部，则可防止液体L在该部分流动时成为涡旋或气穴的发生源，容易抑制减压气泡的发生和多孔质中空纤维膜M的振动等发生。由于相同的理由，最好分歧流路23与空间扩大部22的连接部分也加工成平滑而无锐角部。

从开口21a、21b流入中空纤维膜行进流路21内的液体L，沿多孔质中空纤维膜M的周围向分歧流路23流动，并从多孔质中空纤维膜M的周围流入空间扩大部22内。此时，在空间扩大部22内，流入多孔质中空纤维膜M的分歧流路23侧的液体L在空间扩大部22内无障碍地向分歧流路23流动。另一方面，在空间扩大部22内，流入到与多孔质中空纤维膜M的分歧流路23侧相反的一侧的液体L，为了流动到分歧流路23必须通过多孔质中空纤维膜M与空间扩大部22壁面的间隙。当液体L在多孔质中空纤维膜M与空间扩大部22的间隙中流动时若产生流动压损，则该相反侧的液体L的压力相对于多孔质中空纤维膜M的分歧流路23侧上升。该压力上升越大，空间扩大部22内多孔质中空纤维膜M就越向分歧流路23侧弯曲得大，可成为多孔质中空纤维膜M的行进阻力上升的原因，和中空纤维膜行进流路21与空间扩大部22的连接部分处多孔质中空纤维膜M表面损伤的原因。

作为抑制这种现象的方法，例如有将空间扩大部22的宽度w₁(图3)做得大于中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22以外的部分的宽度d₁的方法、将空间扩大部22的长度f(图3)加长的方法等。

空间扩大部22的宽度w₁最好相对于中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22以外的部分的宽度d₁为2倍以上。由此，多孔质中空纤维膜M与空间扩大部22的间隙的截面积扩大，可大大减少液体L流动时的流动压损。

空间扩大部22的长度f最好是多孔质中空纤维膜M直径的2倍～10倍左右，更好的是4倍～8倍左右。若空间扩大部22的长度f是下限值以下，则多孔质中空纤维膜M与空间扩大部22的间隙的截面积扩大，流动压损下降。若空间扩大部22的长度f是上限值以下，则限制单元30对多孔质中空纤维膜M的支承间隔变得更狭，因此容易抑制多孔质中空纤维膜M向分歧流路23侧弯曲的现象。

若空间扩大部22的宽度w₁是所述下限值以上、且空间扩大部22的长度f是所述上限值以下，则使多孔质中空纤维膜M与空间扩大部22的间隙的液体L在流动时的流动压损减少，并容易防止多孔质中空纤维膜M在空间扩大部22内向分歧流路23侧弯曲较大的现象，中空纤维膜行进流路21及空间扩大部22内的多孔质中空纤维膜M的行进状态可维持得更好。

另外，本发明的缺陷检查装置也可具有如图5例示的流路部件20A，代替流路部件20。流路部件20A在流路部件主体20A上形成有槽，该槽形成中空纤维膜行进流路21，在上盖部20b接合面的相当于空间扩大部22的部分，形成有深度是多孔质中空纤维膜M直径的2倍左右的扩大槽22b，且其是与形成在流路部件主体20a上的空间扩大部22的槽相同的平面形状，除此以外，其余是与流路部件20相同的。如此，若增大空间扩大部22中的分歧流路23侧相反侧的空间容积，则在多孔质中空纤维膜M与空间扩大部22的间隙流动的液体L的流速分布变得更均匀，还可减少所产生的流动压损。

中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力是，从两方的开口21a、21b部分越向流路内部而越下降，中空纤维膜行进流路21中的分歧出空间扩大部22的流路的部分，即吸引液体L的分歧流路23的入口部分为最低。

空间扩大部22的宽度w₁及高度h越大，空间扩大部22内的液体L的流动压损就越小，长度f方向的压力变化量变少，并且可将空间扩大部22的内部做成更高的减压度。因此，当对从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出的气泡进行检测时，只在高的减压度下才产生气泡的缺陷也容易产生充分的气泡，且可获得较长的气泡检测时间，从而缺陷检测的分辨率提高。

空间扩大部22的高度h最好是空间扩大部22的宽度w₁的2～10倍。若空间扩大部22的高度h是下限值以上，则空间扩大部22内的长度f方向的压力变化量变得更少。若空间扩大部22的高度h是上限值以下，则容易抑制空间扩大部22内的容积增加所带来的液体L置换时间的增加、以及滞留部的增大所带来的气泡检测精度和检查速度的下降。

从在分歧流路23内部流动的液体L的截面流速分布绕分歧流路23的中心轴为旋转对称时混入液体L的气泡的流动位置更稳定的观点看，与分歧流路23的中心轴垂直的截面形状最好是圆形。但是，与分歧流路23的中心轴垂直的截面形状不限于圆形，也可是矩形等。

作为流路部件20的材质，不受特别限制，只要是在液体L中耐腐蚀、不被液体L侵蚀的原材料即可，例如有聚酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚酰胺、聚丙烯、聚缩醛等树脂，铁、铝、铜、镍、钛等金属或合金类，或者它们的复合材料等。

限制单元30由四个导辊31～34构成。多孔质中空纤维膜M的行进由这些导辊31～34限制。如图1所示，多孔质中空纤维膜M被导辊31～34连续地引入收容于容器10的液体L中，并从开口21a被导入流路部件20的中空纤维膜行进流路21内，在中空纤维膜行进流路21内的液体L中通过并从开口21b被导出后，被拉出到液体L的外部。

作为限制单元30的导辊31～34，可使用通常用于多孔质中空纤维膜制造的导辊。

液体吸引单元40从空间扩大部22通过分歧流路23吸引中空纤维膜行进流路21内的液体L而使其流动，使中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降。在本例中，液体吸引单元40通过液体循环管线63而与分歧流路23连接。利用液体吸引单元40，可从中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22内通过分歧流路23、液体循环管线63吸引液体L而使其流动。另外，从流路部件20吸出的液体L，通过液体循环管线63而返回到容器10内。另外，本发明的缺陷检查装置不限于这种形态，也可是利用液体吸引单元将从流路部件吸出的液体予以废弃的形态。

作为液体吸引单元40，只要能够通过分歧流路23吸引中空纤维膜行进流路21的空间扩大部22内的液体L而使其流动即可，例如有齿轮泵或级联泵等。尤其电磁耦合器那样的无密封型泵，由于泵旋转轴与外部空气阻断，因此，外部空气不可能从密封部漏入到高减压状态的液体L中，在液体L中成为细微气泡而流入容器10，从这一点来看特别好。较好的是，液体吸引单元40可由变压器控制。另外，更好的是，如图1所示，在液体循环管线63的液体吸引单元40的上游设有压力表68，将该压力表68的输出反馈到变压器而可自动控制液体吸引单元40的泵转速等。在使用压力表的情况下，较好的是尽量将压力表设置在中空纤维膜行进流路的附近来检测压力。

气泡检测单元50是对从多孔质中空纤维膜M流出到液体L中的气泡进行检测的单元。通过检测从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出到液体L中的气泡，从而可间接地检测多孔质中空纤维膜M的缺陷。

作为气泡检测单元50，只要能检测气泡即可，例如有光电传感器、由超声波进行的气泡检测器和图像处理装置等。其中，较好的是光电传感器。

作为光电传感器，例如有放大器内装式的欧姆龙制(型号E3X-DA11AN-S)或基恩士制(型号FS-N11N(FS-N10))的光纤传感器等。

在本发明中，气泡检测单元最好设置在中空纤维膜行进流路与液体吸引单元之间。具体来说，在本例中，较好的是，在分歧流路23中的空间扩大部22侧的开口端与分歧流路23的外壁面侧的开口端之间，或者从分歧流路23的外壁面侧的开口端至液体吸引单元的配管的中途设置气泡检测单元。也可在中空纤维膜行进流路的部分设置气泡检测单元，对从多孔质纤维膜流出的气泡进行检测，但在中空纤维膜行进流路中从多孔质中空纤维膜的缺陷流出气泡的位置因缺陷的大小和液体的减压程度而有所不同。另外，尤其在多孔质中空纤维膜的行进速度较高以提高生产率的情况下，气泡与多孔质中空纤维膜一起以高速移动，直至气泡离开多孔质中空纤维膜。因此，在该情况下，要在中空纤维膜行进流路内稳定地检测多孔质中空纤维膜所产生的气泡，需要沿中空纤维膜行进流路的流路轴设置多个气泡检测单元。另一方面，从通过中空纤维膜行进流路的多孔质中空纤维膜的缺陷流出的气泡，与依靠吸引而流动的液体一起进行移动，并在分歧流路23中的空间扩大部22侧的开口端与分歧流路23的外壁面侧的开口端之间、以及从分歧流路23的外壁面侧的开口端至液体吸引单元的配管中通过。因此，如上所述，若在这些部分设置气泡检测单元，则用一个气泡检测单元就可稳定地检测多孔质中空纤维膜M的内部空间的空气通过缺陷流出而产生的气泡。

在图4、图5及后述的图7～9的例子中，气泡检测单元50设置在流路部件20的分歧流路23的部分上。从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出的气泡，与中空纤维膜行进流路21中从开口21a、21b流向分歧流路23的液体L一起流入到分歧流路23，由气泡检测单元50检测。

另外，在本发明中，较好的形态还有如图11所示，在液体循环管线63中的分歧流路23与液体吸引单元40之间设置气泡检测单元。除此之外，较好的形态还有，在空间扩大部22内多孔质中空纤维膜M与分歧流路23的入口之间，在分歧流路23的中心轴的延长线上设置气泡检测单元。

气泡检测单元50具有将检查光入射到液体L中的射光部51、以及接受来自液体L中的检查光的受光部52。较好的是，气泡检测单元50的射光部51和受光部52设置成它们的顶端部分位于从中空纤维膜行进流路21被吸引而流动的液体L中。在本例中，较好的是，射光部51和受光部52设置成从分歧流路23的壁面突出到分歧流路23内的形态。由此，容易防止对附着在分歧流路23壁面上的脏物或气泡进行误检测。

但是，在进行处理以抑制污物或气泡附着在流路部件20的分歧流路23周边的一部分或液体循环管线63内壁面上等情况下，也可不做成射光部和受光部的顶端部分突出到被吸引流动的液体L中的形态，而是设置成射光部和受光部的顶端部分与壁面处于同一个面的形态。另外，分歧流路23周边的一部分、液体循环管线63由透光的树脂材料等形成时，也可是射光部和受光部设置在分歧流路23和液体循环管线63外侧的形态。

从将由射光部51射出的光高效地取入受光部52、灵敏地检测气泡通过时的光量变化这一点看，气泡检测单元50的射光部51与受光部52最好设置成互相相对。在该气泡检测单元50中，当气泡在分歧流路23中的射光部51与受光部52之间通过时，由于从射光部51入射到液体L中的检查光因该气泡而折射、散射，到达受光部52的检查光的量减少，故可利用该光亮变化来检测气泡。

另外，在本发明中，气泡检测单元50也可设置成，射光部51的光轴与受光部52的光轴在分歧流路23内的液体L中交叉。在如此设置射光部51和受光部52的情况下，在无气泡时，从射光部51发出的光不到达受光部52，在气泡通过时，从射光部51发出的光因该气泡而被反射或散射，该反射光或散射光到达受光部52，因此可利用该光亮变化来检测气泡。接受气泡所产生的反射光或散射光而检测气泡的方式，与利用气泡所产生的遮光而检测气泡的方式相比，容易受到干扰光的影响，并且，受光部52接受的光亮，因液体L中的分别与射光部51的光轴和受光部52的光轴的方向重合的气泡而减少。因此，在接受气泡所产生的反射光或散射光而检测气泡的方式中，较好的是采用将干扰光遮蔽而减少影响的、或将射光部51射出的检查光强度予以提高的方法。

另外，射光部51与受光部52最好设置成，射光部51的光轴和受光部52的光轴通过在分歧流路23内流动的流动液体的流速最大的部分。由于在分歧流路23内通过的气泡通过流动液体中的流速最大的部分的概率大，因此，使射光部51和受光部52的光轴通过该部分，就可更稳定地检测气泡。具体来说，较好的形态是，射光部51和受光部52的光轴与分歧流路23的中心轴相交。

另外，射光部51和受光部52的光轴，既可与分歧流路23的流路轴正交，也可相对于分歧流路23的流路轴倾斜。

在缺陷检查装置1中，由于流路部件20浸渍在收容于容器10的液体L中，因此液体L从流路部件20的开口21a、21b流入中空纤维膜行进流路21及分歧流路23内，这些流路充满液体L。另外，中空纤维膜行进流路21内的液体L，利用液体吸引单元40而从空间扩大部22通过分歧流路23、液体循环管线63被吸引而流动，压力随着流动压力损失而下降。并且，在该状态下，使多孔质中空纤维膜M行进并在中空纤维膜行进流路21内的液体L中通过，由此在中空纤维膜行进流路21内，多孔质中空纤维膜M内的空气从缺陷部分流出(被吸出)而产生气泡。用气泡检测单元50检测该气泡，由此检测多孔质中空纤维膜M的缺陷。在本发明的缺陷检查装置中，由于可将从多孔质纤维膜的缺陷流出的气泡与流动的液体一起引导到气泡检测单元，故可检测所有这种气泡。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，例如可用于制造中的多孔质中空纤维膜的缺陷检查。另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，如果将多孔质中空纤维膜的多孔质层做成均匀的湿润状态、中空部充满空气，则可用于制造后的多孔质中空纤维膜的缺陷检测。另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，在多孔质中空纤维膜的多孔质层的内侧具有中空状加强支承体的情况下，如果将多孔质层与加强支承体两方做成均匀的湿润状态、中空部充满空气，则也可用于制造后的多孔质中空纤维膜的缺陷检测。

作为将本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置用于制造中的多孔质中空纤维膜的缺陷检测的形态，例如有如下的形态：依次设置对多孔质中空纤维膜进行纺丝的纺丝装置、对多孔质中空纤维膜进行清洗的清洗装置、本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置、用热风等对多孔质中空纤维膜进行干燥的干燥装置以及将多孔质中空纤维膜收取到绕线架等上的收取装置的各个装置，在多孔质中空纤维膜的制造流水线上对缺陷进行检测。从可容易地将在缺陷检查中从缺陷流出的气体从干燥装置干燥后的膜面供给到多孔质中空纤维膜的中空部这一点来看，这种形态是较好的。

专利文献1所记载的以往的缺陷检查装置如前所述，需要复杂的密闭构造，以在多孔质中空纤维膜的导入部和导出部实现将容器内压力予以减压用的高密闭性。另外，该缺陷检查装置，由于不完全防止空气从多孔质中空纤维膜的导入部和导出部流入容器内，因此有来自气相的排气量变大的倾向。

相反，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置中，通过将流路部件浸渍在液体中，在中空纤维膜行进流路的两端开口配置在液体中的状态下，使该中空纤维膜行进流路内的液体流动，从而使中空纤维膜行进流路内的液体的压力下降。如此，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置中，通过使中空纤维膜行进流路的两端开口位于液体中，从而成为防止空气流入中空纤维膜行进流路内的状态。因此，收容液体的容器和流路部件不必采用复杂的密闭构造，另外还可防止液体吸引单元的吸引量因空气流入而增大的现象。另外，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置中，由于与将气相的空气排出的情况相比可用较少的吸引量来提高液体的减压程度，故可容易地检测更小的缺陷。如上所述，若使用本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，可简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷。

另外，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置中，由于液体在中空纤维膜行进流路和分歧流路内流动，故气泡不易滞留在流路的壁面上，能高效而稳定地检测从多孔质中空纤维膜的缺陷流出的气泡，能检测多孔质中空纤维膜的缺陷。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置不限于前述缺陷检查装置1。

具体来说，流路部件的中空纤维膜行进流路不限于一根。例如，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是具有图8及图9例示的流路部件20B的装置。流路部件20B的内部形成有：四根中空纤维膜行进流路21，在各自的中央部分设有空间扩大部22，在充满液体L的状态下使多孔质中空纤维膜M通过；四根分歧流路23，在各自的空间扩大部22的部分从中空纤维膜行进流路21分歧；这些分歧流路23合流的合流部24；以及从合流部24使液体L流出的流出路25。在具有流路部件20B的缺陷检查装置中，流路部件20B的各个中空纤维膜行进流路21内的液体L从各个空间扩大部22通过分歧流路23、合流部24和流出路25而被液体吸引单元吸引并流动，各个中空纤维膜行进流路21内的液体L被减压。若使用这种缺陷检查装置，则可同时检测四根多孔质中空纤维膜M的缺陷。另外，在该情况下，为了分别对从在各个中空纤维膜行进流路21内行进的多孔质中空纤维膜M的缺陷产生的气泡进行检测，较好的是分别在四根分歧流路23或空间扩大部22的部分设置气泡检测单元。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，只要中空纤维膜行进流路的两端开口配置在液体中且流路内充满该液体，则不限于将所述流路部件20全部浸渍在液体中的形态。例如，也可是图10例示的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置2(以下仅称为“缺陷检查装置2”)。对于缺陷检测装置2中的与缺陷检查装置1相同的部分，标上相同符号并省略说明。

在缺陷检查装置2中，收容液体L的容器10的底面的一部分由流路部件20构成。缺陷检查装置2中的气泡检测单元50被配置成，气泡检测单元50的顶端不突出到在流路部件20的分歧流路23内流动的液体L中。另外，在缺陷检查装置2中，在液体循环管线63的消泡单元67的下游，设有将循环的液体L中的溶氧予以去除的消气单元69a。由此，气泡的检测可靠性提高。作为消气单元69a，例如有在使用气体分离用多孔质中空纤维膜的消气组件上组合减压单元69b的结构等，可将液体L中的溶解气体予以消除的结构。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，也可是例如图11所示的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置3(以下仅称为“缺陷检查装置3”)。对于缺陷检查装置3中的与缺陷检查装置1相同的部分，标上相同的符号并省略说明。

缺陷检查装置3具有收容液体L的二个容器10A、10B，流路部件20的两端与这些容器10A、10B的侧面连接，中空纤维膜行进流路21的开口21a配置在收容于容器10A的液体L中，开口21b配置在收容于容器10B的液体L中，除此之外，其余是与缺陷检查装置1相同形态的装置。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件形成有不具有空间扩大部的中空纤维膜行进流路和分歧流路。本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是这样的缺陷检查装置：在中空纤维膜行进流路中的分歧出分歧流路的部分具有流路部件，而该流路部件设有仅流路的宽度扩展的空间扩大部。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件的从中空纤维膜行进流路分歧的分歧流路通向流路部件的除下壁面以外的壁面。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件没有从中空纤维膜行进流路分歧的分歧流路。具体来说，也可以是例如是图12例示的、具有没有从中空纤维膜行进流路21分歧的分歧流路的流路部件20C的缺陷检查装置。流路部件20C没有分歧流路23，在中空纤维膜行进流路21上未设有空间扩大部22，除此之外，其余是与流路部件20相同的。

在具有流路部件20C的缺陷检查装置的情况下，较好的是，从流路部件20C中的中空纤维膜行进流路21的开口21b侧吸引液体L而使其流动并使中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降，即，以液体L的流动方向与多孔质中空纤维膜M的行进方向为同一个方向的状态吸引液体L而使中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降。另外，也可以以液体L的流动方向与多孔质纤维膜M的行进方向为相反方向的状态从流路部件20C中的中空纤维膜行进流路21的开口21a侧吸引液体L而使其流动，使中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降。另外，在具有流路部件20C的缺陷检查装置的情况下，较好的是，气泡检测单元在中空纤维膜行进流路21中尽可能设置在开口21b侧，即多孔质中空纤维膜M的行进方向的下游侧。由此，可更稳定地检测气泡。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，若能够通过吸引充满在流路部件的中空纤维膜行进流路内的液体，而使该液体的压力下降，则也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件具有行进的多孔质中空纤维膜的周围未全部被壁面围住的中空纤维膜行进流路。例如本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件将二个平板状的部件形成一定间隙地平行固定，并以该间隙作为中空纤维膜行进流路。另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件将所述间隙作为中空纤维膜行进流路，并且进一步形成有从该中空纤维膜行进流路分歧的分歧流路；也可是具有这样的流路部件的缺陷检查装置：该流路部件在所述中空纤维膜行进流路中的分歧出所述分歧流路的部分设有所述中空纤维膜行进流路的宽度和高度被扩展的空间扩大部。

具体来说，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，也可是具有例如图13及图14例示的流路部件20D的缺陷检查装置。

在流路部件20D中，长条矩形的平板状的上侧板部件20c与长条矩形的平板状下侧板部件20d互相之间形成一定间隙地平行固定，该间隙成为使多孔质中空纤维膜M行进的中空纤维膜行进流路21A。中空纤维膜行进流路21A，使多孔质中空纤维膜M沿上侧板部件20c与下侧板部件20d之间的间隙的长度方向行进。另外，在上侧板部件20c的中央部分形成有分歧流路23A，该分歧流路23A从上侧板部件20c与下侧板部件20d之间的中空纤维膜行进流路21A分歧，用于将中空纤维膜行进流路21A内的液体L吸引到上侧板部件20c的上壁面侧。

在具有流路部件20D的缺陷检查装置中，将流路部件20D浸渍在液体中，液体L充满中空纤维膜行进流路21A内，通过分歧流路23A吸引中空纤维膜行进流路21A内的液体L，由此使中空纤维膜行进流路21A内的液体L的压力下降。并且，使多孔质中空纤维膜M在中空纤维膜行进流路21A内的液体L中行进，由气泡检测单元检测从多孔质中空纤维膜M流出的气泡，由此检测多孔质中空纤维膜M的缺陷。

在具有流路部件20D的缺陷检查装置的情况下，较好的是，气泡检测单元也设置在中空纤维膜行进流路与液体吸引单元之间。具体来说，在本例中，较好的是，在分歧流路23A中的中空纤维膜行进流路21A侧的开口端与分歧流路23A的上壁面侧的开口端之间，或从分歧流路23A的上壁面侧的开口端至液体吸引单元的配管中途设置有气泡检测单元。

流路部件20D中的中空纤维膜行进流路21A的间隙的距离(高度)d₃(图13)最好是是多孔质中空纤维膜M直径的110%～180%，更好的是120%～140%。

流路部件20D中的中空纤维膜行进流路21A的长度的较佳范围，与流路部件20中的中空纤维膜行进流路21的长度D的较佳范围相同。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置也可是具有这样的液体流入管线的缺陷检查装置：该液体流入管线仅具有液体供给管线或液体循环管线中的某一方；也可以是不具有液体流入管线的缺陷检查装置。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置，也可做成将前述的各部分的其它实施形态例子予以任意组合的形态。

<多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法>

下面，作为本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法的一例，说明使用所述缺陷检查装置1的缺陷检查方法。

检查缺陷的多孔质中空纤维膜M，在材质和分级特性等方面不受限制，只要是能用作为过滤膜即可。作为多孔质中空纤维膜M的材质，例如有聚乙烯、聚砜、聚偏二氟乙烯和纤维素等。另外，多孔质中空纤维膜M的尺寸也不限定，例如，外径为0.5～5mm左右，内径为0.3～4.9mm左右，且分级特性为0.05～0.5μm左右。

将流路部件20浸渍在收容于容器10内的液体L中。由此，液体L从流路部件20的开口21a、21b流入具有空间扩大部22的中空纤维膜行进流路21、分歧流路23内，并成为这些流路内充满液体L的状态。使多孔质中空纤维膜M以在充满液体L的中空纤维膜行进流路21内通过的状态连续地行进。

多孔质中空纤维膜M的行进速度可适当设定。

另外，利用液体吸引单元40，从空间扩大部22通过分歧流路23、液体循环管线63吸引中空纤维膜行进流路21内的液体L而使其流动，利用流动所产生的压力损失而使中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力下降。中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力至少减压成比多孔质中空纤维膜M内部的压力低。由此，在中空纤维膜行进流路21内，可使气泡从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出。另外，中空纤维膜行进流路21内的液体L的减压程度越大，施加在多孔质中空纤维膜M上的液体L的压力越低，就越能检测多孔质中空纤维膜M中的更小的缺陷。此外，由于从多孔质中空纤维膜M的缺陷流出的气泡与流动的液体L一起流动，且被引导到气泡检测单元50，故可检测所有的缺陷。

在用适当的液体将多孔质中空纤维膜的细孔充分弄湿的状态下，用空气等充满一方的膜表面侧，用减压后的液体充满另一方的膜表面侧，当通过细孔产生气泡时，最初产生气泡的时刻的液体的压力与液体的表面张力成正比，与细孔直径成反比。

中空纤维膜行进流路21内的液体L的减压度，可根据所使用的液体的表面张力、欲检测的多孔质中空纤维膜M的缺陷大小来适当选择。例如，在检测相同大小缺陷的情况下，若将液体L的表面张力设为1/2，所需的减压度就是1/2。

在液体以纯水为主成分的情况下，空间扩大部22内的压力较好的是-90kPa以上，更好的是-80kPa以上。若所述液体L的压力低于所述下限值，则溶解在液体L中的气体有可能作为细微气泡而呈现在液体L中，或因液体的减压沸腾而产生大的气泡。若这种气泡被气泡检测单元50检测为气泡，则不能将来自缺陷的气泡与这些气泡进行分离检测，会产生缺陷的误检测。

中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力，可根据来自通过分歧流路23的空间扩大部22的液体L的吸引量来控制。

当在中空纤维膜行进流路21内行进的多孔质中空纤维膜M有缺陷时，由于中空纤维膜行进流路21内的液体L的压力低于多孔质中空纤维膜M内部的压力，故多孔质中空纤维膜M内部的空气从缺陷以气泡形式流出到液体L中。流出到液体L中的该气泡，流向空间扩大部22，与通过分歧流路23、液体循环管线63被吸引的液体L一起进行移动。在分歧流路23的部分由气泡检测单元50检测流动的液体L中的该气泡。如此，通过对在中空纤维膜行进流路21内流出到液体L的气泡进行检测，从而可检测多孔质中空纤维膜M的缺陷。

在使用专利文献1所记载的以往的缺陷检查装置的缺陷检查方法中，如前所述，需要复杂的密闭构造，以在多孔质中空纤维膜的导入部和导出部，实现将容器内予以减压用的高密闭性。另外，在该缺陷检查方法中，由于不完全防止空气从多孔质中空纤维膜的导入部和导出部流入容器内，因此有来自气相的排气量变大的倾向。

相反，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法中，中空纤维膜行进流路的两端开口配置在液体中，在流路内充满液体的状态下，通过使中空纤维膜行进流路内的液体流动，从而使该中空纤维膜行进流路内的液体的压力下降。如此，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法中，是通过使中空纤维膜行进流路的两端开口处于液体中来防止空气流入中空纤维膜行进流路内的状态。因此，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法中，收容液体的容器和流路部件不必采用复杂的密闭构造，另外还可防止液体吸引单元的吸引量因空气流入而增大的现象。另外，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法中，由于与将气相的空气排出的情况相比可容易提高液体的减压程度，故可容易地检测更小的缺陷。如上所述，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法中，可简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷。

另外，在本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法中，由于使液体在中空纤维膜行进流路内流动，因此，气泡不易滞留在流路的壁面上，可将从多孔质中空纤维膜的缺陷流出的所有的气泡引导到气泡检测单元。因此，可稳定地检测从多孔质中空纤维膜的缺陷流出(被吸出)的气泡，可检测多孔质中空纤维膜的缺陷。

多孔质中空纤维膜中的检测出缺陷的部分，最好在被导出到缺陷检查装置外后做标记。该标记只要考虑气泡检测单元的测定中开始检测出气泡的时间和检测不到气泡的时间、以及多孔质中空纤维膜的行进速度来确定缺陷位置即可。由此，容易对多孔质中空纤维膜的缺陷部件进行修补、或将其切断去除。

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法，既可在多孔质中空纤维膜的制造流水线上进行，也可对制造后的多孔质中空纤维膜进行。

采用以上说明的本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法，可简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法，不限于使用前述缺陷检查装置1的方法。例如，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法，也可是使用没有分歧流路的流路部件的方法。

另外，本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法，例如也可是使用前述的具有流路部件20A的缺陷检查装置、具有流路部件20B的缺陷检查装置、具有流路部件20C的缺陷检查装置、具有流路部件20D的缺陷检查装置和缺陷检查装置2、3等的方法等，也可是使用除了前述那样缺陷检查装置1以外的各种形态的缺陷检查装置的方法。

<多孔质中空纤维膜的制造方法>

本发明的多孔质中空纤维膜的制造方法，具有下述的凝固工序、清洗工序、去除工序、干燥工序和缺陷检查工序。

凝固工序是：利用凝固液使疏水性聚合物、亲水性聚合物和溶剂的制膜原液凝固而形成多孔质中空纤维膜前躯体的工序。

清洗工序是：对所述多孔质中空纤维膜前躯体进行清洗而去除残存在该多孔质中空纤维膜前躯体中的溶剂的工序。

去除工序是：将残存在所述多孔质中空纤维膜前躯体中的亲水性聚合物予以去除而获得多孔质中空纤维膜的工序。

干燥工序是：将所述多孔质中空纤维膜干燥的工序。

缺陷检查工序是：使用本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法对所述干燥工序后的所述多孔质中空纤维膜检查缺陷的工序。

(凝固工序)

首先，调制含有疏水性聚合物、亲水性聚合物和溶剂的制膜原液。接着，例如从形成有环状排出口的纺丝喷嘴将该制膜原液排出到凝固液中，在凝固液中使其凝固，形成多孔质中空纤维膜前躯体。

随着凝固液在制膜原液中扩散，疏水性聚合物被凝固液凝固，疏水性聚合物和亲水性聚合物分别产生相分离。如此，通过一边进行相分离一边进行凝固，从而获得疏水性聚合物与亲水性聚合物相互渗入的三维网孔构造的多孔质中空纤维膜前躯体。在多孔质中空纤维膜前躯体中，亲水性聚合物被认为以凝胶状态与疏水性聚合物三维缠绕。多孔质中空纤维膜前躯体在后述的去除工序中，其亲水性聚合物被去除，去除该亲水性聚合物后的部分成为空孔，成为多孔质中空纤维膜。

在凝固工序中，可以采用在从纺丝喷嘴排出制膜原液后、到该制膜原液到达凝固液之前的期间设置空走区间的干湿式纺丝，也可采用不设置空走区间、而从纺丝喷嘴将制膜原液直接排出到凝固液中的湿式纺丝。

疏水性聚合物，可不特别限制地使用，只要在凝固工序中可形成多孔质中空纤维膜前躯体即可。作为疏水性聚合物，例如有聚砜或聚醚砜等的聚砜类树脂、聚偏二氟乙烯等氟类树脂、聚丙烯腈、纤维素衍生物、聚酰胺、聚酯、聚甲基丙烯酸酯和聚丙烯酸酯等。另外，作为疏水性聚合物，既可使用前述的树脂的共聚物，也可使用将置换基导入这些树脂或共聚物的一部分的物质。另外，作为疏水性聚合物，既可混合分子量等不同的同种聚合物来使用，也可混合二种以上的不同种类的树脂来使用。

氟类树脂，其中，由聚偏二氟乙烯及偏二氟乙烯双方或一方、和除了聚偏二氟乙烯及偏二氟乙烯以外的单体构成的共聚物，对于次氯酸等氧化剂的耐久性优异。于是，在例如后述的去除工序等中，在利用氧化剂来处理多孔质中空纤维膜前躯体而获得多孔质中空纤维膜的情况下，将氟类树脂选择为疏水性聚合物是合适的。

亲水性聚合物，是将制膜原液的粘度调整成适于形成多孔质中空纤维膜前躯体的范围、用于使制膜原液稳定化而添加的物质。作为亲水性聚合物，较好的是聚乙烯甘醇和聚乙烯吡咯烷酮。它们当中，从多孔质中空纤维膜孔径的控制和多孔质中空纤维膜强度方面看，较好的是将聚乙烯吡咯烷酮及聚乙烯吡咯烷酮双方或一方、和除了聚乙烯吡咯烷酮及聚乙烯吡咯烷酮以外的其它单体予以共聚的共聚物。

亲水性聚合物，也可将二种以上的树脂予以混合来使用。当使用更高分子量的亲水性聚合物时，容易形成膜构造良好的多孔质中空纤维膜。另一方面，当使用更低分子量的亲水性聚合物时，在后述的去除工序中更容易从多孔质中空纤维膜前躯体去除亲水性聚合物。于是，根据目的，也可适当混合分子量不同的同种亲水性聚合物来使用。

通过将前述的疏水性聚合物和亲水性聚合物混合在可溶解它们的溶剂(良溶剂)，从而可调制制膜原液。

溶剂的种类不受特别限制，但在以干湿式纺丝进行凝固工序的情况下，为了在空走部使制膜原液吸湿来调整多孔质中空纤维膜的孔径，最好选择容易与水均匀混合的溶剂。作为这种溶剂，如有N,N-二甲替甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、N-甲基－2－吡咯烷酮和N－甲基吗啉－N－氧化物等。溶剂也可仅使用一种，也可一并使用二种以上。另外，只要是在不损害疏水性聚合物及亲水性聚合物对溶剂的溶解性的范围，溶剂也可将疏水性聚合物及亲水性聚合物的贫溶剂予以混合。

另外，对于制膜原液，也可根据需要添加其它的添加成分。

制膜原液的温度不受特别限制，最好是20～40℃。

制膜原液中的疏水性聚合物的浓度，过分稀薄过分浓稠都会使制膜原液的稳定性下降，有难以形成合适的多孔质中空纤维膜构造的倾向。因此，制膜原液中的疏水性聚合物的浓度下限较好的是10质量%，更好的是15质量%。另外，制膜原液中的疏水性聚合物的浓度上限较好的是30质量%，更好的是25质量%。

制膜原液中的亲水性聚合物的浓度下限，从更容易形成多孔质中空纤维膜前躯体的观点看，较好的是1质量%，更好的是5质量%。制膜原液中的亲水性聚合物的浓度上限，从制膜原液的处理性方面看，较好的是20质量%，更好的是12质量%。

凝固液需要是不溶解疏水性聚合物的非溶剂、亲水性聚合物的良溶剂。具体来说，作为凝固液，如有水、酒精、甲醇等或它们的混合液。其中，从安全性、运行管理方面看，作为凝固液，最好是用于制膜原液的溶剂与水的混合液。

纺丝喷嘴可选择与目标多孔质中空纤维膜的形态对应的环状喷嘴。例如，在欲获得强度优异的多孔质中空纤维膜的情况下，在使中空状加强支承体通过的支承体通道的外侧，可采用具有排出制膜原液的环状流路的纺丝喷嘴。由此，可获得在由疏水性聚合物形成的多孔质层的内部配设有中空状加强支承体的多孔质中空纤维膜。作为中空状的加强支承体，如有由各种纤维制成的中空状编绳或编带等。中空状编绳或编带，可将各种原材料单独或组合来使用。作为用于中空状编绳或编带的纤维，如有合成纤维、半合成纤维、再生纤维和天然纤维等。另外，作为用于中空状编绳或编带的纤维的形态，可以是单丝、复丝和短纤维纱的某一种。在使用中空状加强支承体的情况下，例如，只要在通过纺丝喷嘴的加强支承体的表面，涂布从该纺丝喷嘴同时排出的制膜原液，并投入到凝固液中即可。另外，也可在使用环状组合纺丝喷嘴，在喷嘴内对加强支承体表面涂布制膜原液后，直接将其排出到凝固液中。

(去除工序)

在去除工序中，例如在利用氧化剂对亲水性聚合物进行氧化分解后，将低分子量化的亲水性聚合物予以去除。通过去除多孔质中空纤维膜前躯体中的亲水性聚合物，从而获得多孔质中空纤维膜。

作为将多孔质中空纤维膜前躯体中的亲水性聚合物低分子量化的方法，最好是这样的方法：将多孔质中空纤维膜前躯体浸渍在含有氧化剂的药液中并保持该药液，接着，将保持了药液的多孔质中空纤维膜前躯体在气相中加热。

作为氧化剂，可使用臭氧、过氧化氢双氧水、高锰酸盐、重铬酸盐和过硫酸盐等。其中，作为氧化剂，从氧化能力强、亲水性聚合物的分解性能优异、处理性优异和廉价等方面看，次氯酸盐特别好。作为次氯酸盐，如有次氯酸钠、次氯酸钙等。其中，作为次氯酸盐，次氯酸钠特别好。

药液的温度，较好的是50℃以下，更好的是30℃。若药液的温度是高于50℃的高温，则在多孔质中空纤维膜前躯体的浸渍中脱落到药液中的亲水性聚合物进一步产生氧化分解，氧化剂容易不断浪费。药液的温度较好的是0℃以上，更好的是10℃以上。若药液的温度是0℃以上，则亲水性聚合物的氧化分解效率良好，且可抑制将温度控制成低温所用的成本。

在使多孔质中空纤维膜前躯体保持药液后，最好在气相中将该多孔质中空纤维膜前躯体加热，由此将亲水性聚合物氧化分解。若在气相中对多孔质中空纤维膜前躯体进行加热，则保持在多孔质中空纤维膜前躯体中的药液几乎不会被较大地稀释，也几乎不会使药液脱落析出到加热介质中。因此，药液中的氧化剂被高效地用于分解残存在多孔质中空纤维膜前躯体中的亲水性聚合物。

作为具体的多孔质中空纤维膜前躯体的加热方法，最好在大气压下使用加热流体对多孔质中空纤维膜前躯体进行加热。作为加热流体，从抑制氧化剂干燥、可进行有效的分解处理的观点看，最好是相对湿度高的流体。即，最好在湿热条件下对保持了药液的多孔质中空纤维膜前躯体进行加热。作为流体的相对湿度，较好的是80%以上，更好的是90%以上，100%附近最好。

加热温度的下限，从进行连续处理时可缩短处理时间的观点看，较好的是50℃，更好的是80℃。在大气压状态下，加热温度的上限最好是100℃。

作为将低分子量化的亲水性聚合物从多孔质中空纤维膜前躯体去除的方法，最好是对多孔质中空纤维膜前躯体进行清洗的方法。清洗方法不受特别限制，既可是使多孔质中空纤维膜前躯体在充满清洗液的清洗槽中行进的方法，也可是使多孔质中空纤维膜前躯体浸渍在清洗液中的方法。

作为清洗液，例如有水、水和用于制膜药液的溶剂的混合溶液等。

清洗液的温度不受特别限制，最好是30～80℃。若清洗液的温度是30℃以上，则亲水性聚合物容易分散溶解在清洗液中。若清洗液的温度是80℃以下，则容易确保高的减压度，容易从清洗后的多孔质中空纤维膜除去水分。另外，当清洗液的温度超过80℃时，由于清洗液的蒸发变多，因此，难以处理清洗液。

(干燥工序)

对去除亲水性聚合物而获得的多孔质中空纤维膜进行干燥。

作为对多孔质中空纤维膜进行干燥的方法，不受特别限制，如有将多孔质中空纤维膜导入热风干燥机等干燥装置的方法等。

(缺陷检查工序)

对干燥后的多孔质中空纤维膜，利用前述的本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查方法来进行缺陷的检查。

通过在干燥工序后实施缺陷检查工序，从而可以在线方式对制造中的所有多孔质中空纤维膜进行缺陷检查，因此，成品率提高。

另外，在缺陷检查工序中发现多孔质中空纤维膜缺陷的情况下，较好的是，预先在该缺陷部分留下标记等记录。由此，当使用所得到的多孔质中空纤维膜来装配加工单元时，就容易去除该缺陷部分而不会使多孔质中空纤维膜中的缺陷部分混入该单元中，成品率提高。

<多孔质中空纤维膜>

本发明的多孔质中空纤维膜，是用前述的本发明的多孔质中空纤维膜的制造方法制成的多孔质中空纤维膜。本发明的多孔质中空纤维膜，由于进行了简便而高效的缺陷检查，故可适合用于水处理等各种领域。

实施例1

下面，用实施例来详细说明本发明，但本发明并不限于下述的记载。

(多孔质中空纤维膜)

作为多孔质中空纤维膜，使用如下的多孔质中空纤维膜：是在聚酯纤维制的外径约2.5mm、内径约1.5mm的中空绳上覆盖有厚约0.15mm的聚偏二氟乙烯树脂的多孔质层的构造，干燥后卷绕在绕线架上，在用绕线架绕出并进行亲水化处理后，用后述的中空部加压缺陷检查法预先确认缺陷位置，并处于湿润状态。

(亲水化处理)

将干燥后的多孔质中空纤维膜浸入亲水化剂(日信化学工业(公司)制：奥尔菲EXP4036)的0.3质量%水溶液(以下称为“亲水化液”)中大约30分钟，使多孔质层充分充满亲水化液而亲水化。将该多孔质中空纤维膜从亲水化液提起，在使中空部的亲水化液充分流出后，在流水中(室温纯水)清洗大约30分钟，将多孔质层的亲水化液置换成纯水。

(中空部加压缺陷检查方法)

将约30m的亲水化后的多孔质中空纤维膜在水槽中尽量不重叠地扩展，所述水槽将纯水装满到约50mm的深度，水槽的长度为2000mm、宽度为300mm、深度为150mm，在多孔质中空纤维膜两端的中空部安装加压喷嘴，供给用精密减压阀将压力调节成80kPa的压缩空气。

将该多孔质中空纤维膜从其一端向另一端每隔约300mm地沉入水面下，对表面产生气泡的缺陷部结上红线，对多孔质中空纤维膜全长上的表面产生气泡的缺陷部进行确定。然后，停止对中空部的加压，释放压力，取下加压喷嘴。

在离开多孔质中空纤维膜一端5m的地方用黑色颜料类墨水作标记后，记录从该标记点至各缺陷部记号的红线之间的距离。进行中空部加压缺陷检查的多孔质中空纤维膜从标记端的相反端卷绕在绕线架上，用聚乙烯制的袋连绕线架一起覆盖以使其不干燥。

(缺陷检查装置)

对于多孔质中空纤维膜的连续缺陷检查，如图15所示，使用了这样的装置，其具有：可通过扭矩电动机对绕线架赋予反向张力的供给装置70、缺陷检查装置1、以及纳尔逊辊(ネルソンロール)式的收取装置80。

(流路部件20)

多孔质中空纤维膜所通过的流路部件20，使用如图2～4、图6及图7例示的构造：在流路部件主体20a上形成有槽，该槽形成具有空间扩大部22的中空纤维膜行进流路21，且流路部件主体20a由上盖部20b闭合，与中空纤维膜行进流路21的中心轴垂直的截面形状为正方形，上盖部20b的与流路部件主体20a接合的接合面是平坦的。另外，用安装于分歧流路23下游的压力表68来检测液体L的减压度。

流路部件20的各部尺寸及缺陷检查装置的各构成设备的规格表示在表1及表2中。

[表1]

流路部件长度D450mm流路部件宽度30mm中空纤维膜行进流路宽度d₁3.5mm中空纤维膜行进流路截面形状正方形空间扩大部长度f20mm空间扩大部宽度w₁8mm空间扩大部宽度高度h16mm分歧流路截面形状圆形分歧流路直径10mm流路部件材质SUS304盖尺寸450mm长×30mm宽×10mm厚盖材质透明聚甲(基丙)烯酸甲酯

[表2]

由供给装置70，将进行了中空部加压缺陷检查的多孔质中空纤维膜M从标记端赋予恒定张力并拉出，经导辊31、32使其在流路部件20内通过，经导辊33、34而在收取装置80上进行五次交叉式挂绕后停止。

将约20℃的纯水以约1升/分的速度供给到消泡单元64，由消泡单元64除去空气后，将含有气泡的纯水以约0.1升/分的速度排出。将从消泡单元64流出的纯水供给到消气单元65，且在消气单元65的进气口上连接减压单元66，约保持为-92kPa。把利用消泡单元64及消气单元65而将液体L予以消泡、消气后的纯水供给到容器10。将溢流部的位置调整成，容器水深是从流路部件20的上盖至容器液面的深度大约为50mm。

在多孔质中空纤维膜在流路部件20内通过的状态下，起动液体吸引单元40，用变压器对液体吸引单元40的转速调整进行调整，使压力表68的压力约为-80±2kPa。此时的泵吸引量约是4.2升/分。由设置在液体循环管线63上的消泡单元67除去空气后，将含有气泡的纯水以约0.1升/分的速度排出，将循环的容器10内的纯水中的气泡和混入杂质予以去除。接着，将辊的线速度设定在20米/分，对使多孔质中空纤维膜停止成导膜状态的AC伺服驱动的收取装置80进行起动，使多孔质中空纤维膜以20米/分的速度在流路部件20内通过，对多孔质中空纤维膜进行连续缺陷检查。

在起动收取装置80后，立即用数据记录器以取样周期10msec开始记录来自光电传感器放大器的电压信号，并记录从记录开始到用黑色颜料类墨水作了标记的膜部通过流路部件20中央瞬间的时间。

图16表示横轴为经过时间、纵轴为输出电压而将多孔质中空纤维膜中无缺陷部分的数据记录器的记录结果予以图形化的示图。另外，图17表示横轴为经过时间、纵轴为输出电压而将多孔质中空纤维膜中有缺陷部分的数据记录器的记录结果予以图形化的示图。另外，图18表示横轴为经过时间、纵轴为输出电压而将作连续检查的多孔质中空纤维膜中通过流路部件20的部分的数据记录器的记录结果予以图形化的示图。

表3表示将用中空部加压缺陷检查法确定的缺陷的距离标记点的位置、与根据图18所示的连续缺陷检查的测定结果和膜行进速度算出的缺陷的距离标记点的位置予以比较。

[表3]

如表3所示，用中空部加压缺陷检查法确定出的缺陷，在实施例1中的连续缺陷检查中全部被检测出，且它们距离标记点的位置也大致一致。

另外，在实施例1的连续缺陷检查的测定中，中空部加压缺陷检查法没有检测出的缺陷被新检测出。在对实施例1中的连续缺陷检查后的多孔质中空纤维膜再次进行中空部加压缺陷检查后，发现了在实施例1的连续缺陷检查中新发现的位置存在产生气泡的缺陷，确认了是因为中空部加压缺陷检查后的多孔质中空纤维膜的膜处理所产生的损伤。

产业上的实用性

本发明的多孔质中空纤维膜的缺陷检查装置及缺陷检查方法，不需要复杂的密闭构造，就可简便而高效地检查多孔质中空纤维膜的缺陷，因此，可适合用于水处理等所使用的各种多孔质中空纤维膜的缺陷检查。