法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20141008 申请日:20140630
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-10-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20140630
实质审查的生效
2014-10-08
公开
公开
机译: 一种制备多晶硅绒面的酸性腐蚀液及其应用方法
机译: 一种制备多晶硅绒面的酸性腐蚀液及其应用方法
机译: 一种制备多晶硅绒面革的酸性腐蚀液及其应用方法