超低频振动计量器具校准系统及其激光干涉仪

摘要

本发明公开了一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪，所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台，该激光干涉仪包括平面反射镜，其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。另外，本发明还公开了采用该激光干涉仪的超低频振动计量器具校准系统。