电子束-汽化装置以及用于电子束-汽化的方法

摘要

本发明涉及电子束-汽化装置以及用于电子束-汽化的方法。根据不同的实施方式提供电子束-汽化装置(100)，其具有：第一电子束源(102a)，设置用于提供第一电子束(112a)；第二电子束源(102b)，设置用于提供第二电子束(112b)；第一容纳区域(106a)，用于容纳第一材料(118a)；第二容纳区域(106b)，用于容纳第二材料(118b)；第一转向结构(104a)，设置用于将第一电子束(112a)转向到第一容纳区域(106a)；第二转向结构(104b)，设置用于将第二电子束(112b)转向到第二容纳区域(106b)；且其中，第一转向结构(104a)和第二转向结构(104b)相互磁性耦合。