大口径大偏离量非球面反射镜抛光过程中复合检测方法

摘要

大口径大偏离量非球面反射镜抛光过程中复合检测方法，属于空间光学技术领域，为解决现有零位补偿检测技术中大口径大偏离量非球面反射镜出现干涉条纹局部缺失问题，本发明的方法包括，一、设计并制作光学补偿器；二、搭建并标定干涉零位补偿检测光路；三、组建并调整哈特曼-拼接检测光路；四、哈特曼-拼接检测；五、非球面多周期加工和哈特曼拼接检测；六、组合检测与分析；七、非球面多周期加工和组合测试；该方法克服了大口径大偏离量非球面反射镜干涉检测阶段面形缺失的困难，且在最后精抛光阶段零位补偿方法和哈特曼-拼接检测方法可以相互对比和验证，从而确保检测的准确性和可靠性。