一种大行程的高精度微纳夹持器

摘要

本发明公开了一种大行程的高精度微纳夹持器，特点是包括两根竖直设置的圆柱状的扭转臂，扭转臂的下端固定设置有基座，扭转臂的上端固定设置有水平设置的夹持臂，两根夹持臂相对设置且相平行，扭转臂上固定设置有压电扭转驱动器，夹持臂的侧面上固定设置有压电弯曲驱动器；优点是保证了微纳夹持器的夹持精度、分辨率以及夹持力，有效解决了夹持行程与夹持精度之间的矛盾，实现了在较大夹持行程内的高精度夹持动作，且整个微纳夹持器空间结构紧凑、重量轻、控制方便可靠，适用于微操作机器人系统和微机电系统等。