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表面具有微细凹凸结构的构件的检查装置及检查方法、表面具有阳极氧化铝层的构件的制造方法、以及光学薄膜的制造方法

摘要

本发明提供能够简便地检查阳极氧化铝表面的微细凹凸结构的形状、阳极氧化铝的厚度的检查装置和检查方法等。本发明的阳极氧化铝的检查装置的特征在于,其具备:照射单元(22),对检查对象的阳极氧化铝照射光;摄像单元(24),对通过偏振单元的光进行拍摄;偏振单元(28),使从照射单元照射出的光偏振;以及图像处理单元(26),基于由使用摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断阳极氧化铝的状态是否良好。

著录项

  • 公开/公告号CN103842803A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-06-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱丽阳株式会社;

    申请/专利号CN201280046980.8

  • 发明设计人 福山三文;石丸辉太;松原雄二;

    申请日2012-09-26

  • 分类号G01N21/88(20060101);G01B11/00(20060101);

  • 代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇;李茂家

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-17 00:25:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-08-29

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N21/88 变更前: 变更后: 申请日:20120926

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-07-06

    授权

    授权

  • 2014-07-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20120926

    实质审查的生效

  • 2014-06-04

    公开

    公开

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