屏蔽膜、屏蔽印刷布线板及屏蔽印刷布线板的制造方法

摘要

本发明提供一种可通过适当地控制离型膜相对于保护层的粘合力来防止出现由于过大或过小的粘合力粘合所引起的不利情况的屏蔽膜、屏蔽印刷布线板及屏蔽印刷布线板的制造方法。屏蔽膜（1）构成为：在离型膜（6a）的整个单面上形成有凹凸部（61），在该离型膜（6a）的形成有该凹凸部（61）的面上隔着离型剂层（6b）涂布树脂，从而形成保护层（7），并在该保护层（7）上形成有电磁波屏蔽层（8），将离型膜（6a）从保护层（7）剥离后，保护层（7）（硬质层7a）的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。

说明书

技术领域

本发明涉及用于屏蔽印刷布线板等的屏蔽膜、使用该屏蔽膜 的屏蔽印刷布线板以及屏蔽印刷布线板的制造方法，该印刷布线 板等被用于计算机、通讯设备、打印机、便携式电话机、摄像机 等装置。

背景技术

柔性印刷布线板（下文也称为“FPC”）构成为：在聚酰亚胺 膜或聚酯膜等柔性绝缘膜的至少单面上通过粘合剂或不通过粘合 剂形成有印刷电路，而且，按照需要在该印刷电路的顶面例如通 过下述方法形成有表面保护层，即，通过粘合剂在该印刷电路的 顶面上粘合有柔性绝缘膜且该柔性绝缘膜中与用于搭载电路部件 的端子以及用于连接外部基板的端子的形成部位相对应地形成有 开口，或者，通过涂布感光性绝缘树脂并进行干燥、曝光、显影、 热处理等工序形成开口。在小型化、高性能化迅速发展的便携式 电话机、摄像机、笔记本型个人计算机等电子设备中，为了将电 路安装在复杂的结构中多使用FPC。而且，充分利用其优良的柔 性，在打印头之类的可动部与控制部的连接中也使用柔性印刷布 线板。在较多使用FPC的电子设备中，必需考虑电磁波屏蔽对策， 在装置内使用的FPC中也开始采用实施了电磁波屏蔽对策的屏蔽 柔性印刷布线板（下文称为“屏蔽FPC”）。

例如，专利文献1所公开的屏蔽FPC按如下制成，在离型膜 的单面上隔着离型剂涂布树脂而形成覆盖膜（保护层），在该覆盖 膜（保护层）的单面上粘贴屏蔽层而形成屏蔽膜，在FPC的至少 单面侧使用导电性粘合剂，通过加热、加压粘贴屏蔽膜，并且将 屏蔽层和设置在FPC中的接地电路通过导电性粘合剂电连接后， 剥离离型膜，从而形成屏蔽印刷布线板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-95566号公报

发明内容

但是，如上所述，当使用在离型膜的单面涂布了离型剂的覆 盖膜（保护层）时，离型膜与覆盖膜（保护层）的粘合程度（剥 离强度）依赖于离型剂的特性，难以控制其粘合程度（剥离强度）。 因此，将离型膜从覆盖膜（保护层）剥离时，有时会出现由于粘 合力过大而覆盖膜（保护层）本身破损的情况，或者出现离型膜 由于粘合力过小而在制造过程中从覆盖膜（保护层）剥离的情况。

因此，本发明的目的在于提供一种可通过适当控制离型膜相 对于保护层的粘合力来防止出现由于过大或过小的粘合力粘合所 引起的不利情况的屏蔽膜、屏蔽印刷布线板及屏蔽印刷布线板的 制造方法。

本发明提供一种屏蔽膜，其中，在离型膜的整个单面上形成 有凹凸部，在该离型膜的形成有该凹凸部的面上隔着离型剂涂布 树脂从而形成保护层，并进一步在保护层上形成有电磁波屏蔽层， 所述屏蔽膜的特征在于，将上述离型膜从上述保护层剥离后，上 述保护层的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。

根据上述结构，在离型膜与保护层之间隔着离型剂粘合在一 起的状态下，由于离型膜表面的凹凸部及保护层表面的凹凸部所 产生的锚固效应（anchor effect），使离型膜对保护层的粘合性提高 到在以后的工序中将屏蔽膜浸渍在药液中之类的时候药液不会进 入到保护层和离型膜之间从而可防止离型膜从保护层剥离的程 度，上述保护层表面的凹凸部是通过转印离型膜表面的凹凸部而 形成的，且该保护层的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。另外， 在对具有凹凸部的离型膜涂布离型剂的过程中离型剂处于自然地 且大致均匀地扩散配置的状态后，再涂布保护层用的树脂，从而 制成通过转印离型膜表面的凹凸部而形成的、表面粗糙度（Ra） 为0.2μm-1.0μm的保护层。由此，能够将离型膜相对于保护层的 粘合性控制在从保护层剥离离型膜时保护层本身不会由于过大的 粘合力而破损的程度。这样，由于能够适当地控制离型膜对保护 层的粘合力，因此能够防止以过大的粘合力或过小的粘合力粘合 离型膜时所产生的问题。

另外，本发明的屏蔽膜还可以具有下述特征，即，上述离型 膜相对于上述保护层的剥离强度为1N/50mm-20N/50mm。

根据上述结构，通过将离型膜相对于保护层的剥离强度设定 为1N/50mm-20N/50mm，能够使离型膜相对于保护层的粘合力达 到最佳。

另外，本发明的屏蔽膜还可以具有下述特征，即，将上述屏 蔽膜载置在印刷布线板上并进行加热、加压后，上述离型膜对于 上述保护层的剥离强度是1N/50mm-10N/50mm。

根据上述结构，通过将上述屏蔽膜载置在印刷布线板上并进 行加热、加压后的上述离型膜对于上述保护层的剥离强度设定在 1N/50mm-10N/50mm，能够使离型膜相对于保护层的粘合力达到 最佳。

另外，本发明的屏蔽膜还可以具有下述特征，即，上述电磁 波屏蔽层包含导电性粘合剂层。

根据上述结构，能够可靠地使印刷布线板的接地电路和电磁 波屏蔽层电连接。

另外，本发明的屏蔽膜还可以具有下述特征，即，上述电磁 波屏蔽层还包含金属层，上述导电性粘合剂层由各向异性导电性 粘合剂层构成。

根据上述结构，由于导电性填料的含量少，因此能够制成柔 性优良的屏蔽膜。

另外，本发明的屏蔽膜还可以具有下述特征，即，上述导电 性粘合剂层由各向同性导电性粘合剂层构成。

根据上述结构，通过只设置导电性粘合剂层就能够实现对接 地电路等的接地连接，并且能够使屏蔽膜具有电磁波屏蔽效果。

另外，本发明提供一种屏蔽印刷布线板，其中，基体包括一 层以上的印刷电路，在该基体的至少单面上设置有屏蔽膜，该屏 蔽膜构成为：在离型膜的整个单面上形成有凹凸部，在所述离型 膜的形成有所述凹凸部的面上隔着离型剂涂布树脂从而形成保护 层，并在该保护层上形成有电磁波屏蔽层，所述屏蔽印刷布线板 的特征在于，将所述离型膜从所述保护层剥离后，所述保护层的 表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。

根据上述结构，基体的单面形成有电磁波屏蔽层和保护层的 屏蔽印刷布线板在离型膜和保护层之间隔着离型剂粘合在一起的 状态下，由于离型膜表面的凹凸部和保护层表面的凹凸部所产生 的锚固效应，能够将离型膜相对于保护层的粘合性提高到在后续 工序中将屏蔽膜浸渍在镀覆等药液中之类的时候药液不进入保护 层和离型膜之间从而可防止离型膜从保护层脱离的程度，所述保 护层表面的凹凸是通过转印离型膜表面的凹凸部而形成的，该保 护层的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。另外，通过设置离型膜 表面的凹凸部和通过转印离型膜表面的凹凸部而形成的、表面粗 糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm的保护层表面的凹凸部，从而在向离 型膜涂布离型剂的过程中离型剂被自然地扩散，因此能够使离型 剂处于大致均匀地扩散配置的状态。由此，能够将离型膜相对于 保护层的粘合性控制在离型膜从保护层被剥离时保护层本身不会 由于过大的粘合力而破损的程度。这样，由于能够适当地控制离 型膜相对于保护层的粘合力，因此能够防止以过大的粘合力或过 小的粘合力粘合离型膜时所产生的问题。

另外，本发明的屏蔽印刷布线板还可以具有下述特征，即， 包含上述印刷电路的基体由柔性印刷布线板构成。

根据上述结构，能够制成柔性优良的屏蔽印刷布线板。

另外，本发明的屏蔽印刷布线板还可以具有下述特征，即， 包括上述印刷电路的基体是带载封装用TAB带。

根据上述结构，能够获得柔软且安装性优良的屏蔽印刷布线 板。

另外，本发明提供一种屏蔽印刷布线板的制造方法，其特征 在于，包括：

在基体的至少单面上载置屏蔽膜，其中，所述基体包含一层 以上的印刷电路，所述屏蔽膜构成为：离型膜的整个单面通过毛 面处理形成为凹凸形状，在所述离型膜的形成为所述凹凸形状的 面上至少层叠有离型剂、保护层和电磁波屏蔽层，

在层叠方向上对所述屏蔽膜和所述基体加热、加压后，将所 述离型膜从所述保护层剥离，使所述保护层的表面粗糙度（Ra） 为0.2μm-1.0μm。

根据上述方法，在离型膜与保护层之间隔着离型剂粘合在一 起的状态下，由于离型膜表面的凹凸部和保护层表面的凹凸部所 产生的锚固效应，能够将离型膜相对于保护层的粘合性提高到在 后续工序中使屏蔽膜浸渍在镀覆等药液中之类的时候药液不会进 入到保护层和离型膜之间从而可防止离型膜从保护层剥离的程 度，上述保护层表面的凹凸部通过转印离型膜表面的凹凸部而形 成，该保护层的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。另外，通过设 置离型膜表面的凹凸部和通过转印离型膜表面的凹凸部而形成 的、表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm的保护层表面的凹凸部， 在向离型膜涂布离型剂的过程中离型剂被自然地分散，因此能够 使离型剂处于大致均匀地分散配置的状态。由此，在将离型膜从 保护层剥离时，能够将离型膜相对于保护层的粘合性控制在保护 层不会由于过大的粘合力导致本身破损的程度。这样，由于能够 适当地控制离型膜相对于保护层的粘合力，因此能够防止以过大 的粘合力或过小的粘合力粘合离型膜时所发生的问题。

附图说明

图1是本实施方式的屏蔽FPC的制造方法的说明图，（a）表 示在基体膜上载置屏蔽膜并通过压力机加热、加压的状态，（b） 表示正在剥离离型膜的状态，（c）表示离型膜被剥离后的状态。

图2是制造屏蔽FPC时所使用的屏蔽膜的横截面图，（a）是 由粘合剂层和金属层形成电磁波屏蔽层的图，（b）是只由粘合剂 层形成电磁波屏蔽层的图。

图3是屏蔽FPC的横截面图中的屏蔽膜的局部放大图。

图4是屏蔽FPC的横截面图，（b）、（c）是双面屏蔽的屏蔽 FPC的横截面图。

图5是构成屏蔽膜的保护层被制成单层构造时屏蔽FPC的横 截面图。

图6是总结了实施例和比较例的评价试验的结果的表格。

图7是实施例和比较例的评价试验的试验方法的说明图。

具体实施方式

下面，根据附图说明本发明的屏蔽FPC的实施方式的一个例 子。图1是本实施方式的屏蔽FPC的制造方法的说明图，图2是 制造该屏蔽FPC时所使用的屏蔽膜的横截面图。图1（a）表示在 基体膜5上载置屏蔽膜1后用压力机P（PA、PB）加热h并加压 p的状态。其中，基体膜5构成为：包括基底膜2、印刷电路3和 绝缘膜4，印刷电路3由信号电路3a和接地电路3b组成并形成在 基底膜2上，印刷电路3除去其中接地电路3b的至少一部分（非 绝缘部）3c后由绝缘膜4予以覆盖。另外，图3是屏蔽FPC的横 截面图中屏蔽膜的局部放大图。

这里，基底膜2和印刷电路3之间可以用粘合剂粘合，也可 以不使用粘合剂而与所谓的无粘合剂型覆铜层叠板同样地接合。 另外，绝缘膜4既可以使用粘合剂粘合柔性绝缘膜，也可以通过 感光性绝缘树脂的涂布、干燥、曝光、显影、热处理等一系列方 法形成。另外，基体膜5可以通过适当选择下述结构予以实施， 即：只在基底膜的单面具有印刷电路的单面型FPC、在基底膜的 双面具有印刷电路的双面型FPC、将上述FPC（柔性印刷布线板） 多层层叠而成的多层型FPC、具有多层部件搭载部和电缆部的柔 性板（フレクスボード：日本国注册商标）、构成多层部的材料为 硬质材料的刚挠性基板、或者用于带载封装的TAB带等。

在本发明中，屏蔽膜1使用图2（a）所示的结构。如图2（a） 所示，屏蔽膜1具有离型膜6a、离型剂层6b以及屏蔽膜主体9。 屏蔽膜主体9具有保护层7和粘合剂层8a，保护层7通过在离型 剂层6b上依次涂布硬质层7a和软质层7b而形成，该硬质层7a 由耐磨损性、抗粘连性优良的树脂构成，该软质层7b由缓冲性优 良的树脂构成，上述粘合剂层8a隔着金属层8b设置在保护层7 的与离型剂层6b所接触的面相反一侧的面上。这里，电磁波屏蔽 层8由粘合剂层8a和金属层8b形成，该粘合剂层8a由导电性粘 合剂构成。在该电磁波屏蔽层8中，通过加热h而变软后的粘合 剂8a’通过加压p如箭头方向流入到绝缘去除部4a中（参考图1 （a））。

另外，保护层7也可以不是具有硬质层7a和软质层7b的双 层构造，而是如图5所示的单层构造。当采用该单层构造时，作 为构成保护层7的树脂可以使用热固化性树脂、热塑性树脂以及 电子射线固化树脂等。

另外，如图3所示，对离型膜6a在保护层7一侧的表面实施 了毛面（mat）处理。具体而言，通过在离型膜6a的单面喷射细 砂而对表面赋予凹凸部61（凸部61a、凹部61b），将离型膜6a的 单面制成凹凸形状来增加表面积。另外，作为毛面处理可以例举 喷砂毛面处理、腐蚀毛面处理、涂布毛面处理、化学毛面处理以 及揉搓毛面处理等。

另外，如图3所示，在构成保护层7的硬质层7a在离型膜6a 一侧的表面上，在该表面的整面形成有多个凹凸形状的凹凸部71。 该凹凸部71由相邻的凹部71b和凸部71a的组合构成。在离型膜 6a的单面涂布离型剂层6b后，沿着凹凸部61涂布硬质层7a而形 成凹凸部71（参考图3的放大图），该凹凸部61通过对离型膜6a 的单面进行毛面处理而形成，该凹凸部71被形成在硬质层7a上。 另外，在离型膜被剥离后硬质层7a的设置有凹凸部71的表面的 表面粗糙度（Ra）优选为0.2μm-1.0μm，更优选为0.2μm-0.6μm。

另外，构成保护层7的硬质层7a由具有耐磨损性的树脂构成， 软质层7b由弹性率为30亿帕斯卡以下的树脂构成。硬质层7a的 树脂的耐磨损性具体为下述，即：根据JIS L0849规定的学振型摩 擦试验机所进行的摩擦试验方法，设定摩擦块的质量为500克， 使试验台以每分钟往复30次的速度在120mm距离进行水平往复 运动时，即使往复运动1000次也不会产生摩擦损伤。软质层7b 的树脂的弹性率是根据JIS K7244-4规定的动态机械特性的试验 方法，在频率1Hz、测定温度范围-50℃至150℃、升温速度每分 钟5℃条件下测量的。由于在后续工序中需要将离型膜6a从保护 层7剥离，因此，在离型膜6被剥离后，耐磨损性优良的硬质层 7a起到保护层的作用，能够防止保护层7磨损。另外，由于硬质 层7a抗粘连性优良，所以，在电路部件搭载工序中的回流焊工序 等需要加热的工序中，也不会与用于搭载电路板进行传送的传送 用夹具、传送带等其它物体粘在一起。由于构成底层的保护层7 借助硬质层7a优良的硬度和软质层7b的缓冲效应，所以，即使 对保护层7的软质层7b上所设置的金属层8b加热、加压也不会 产生龟裂、断裂等破坏。另外，将屏蔽膜1载置在包含印刷电路3 的基体膜5上，使用压力机P（PA、PB）加热h并加压p时，通 过软质层7b的缓冲效应而缓和向硬质层7a传递的压力，因此能 够防止高硬度的硬质层7a破裂。作为硬质层、软质层的树脂可以 使用热固化性树脂、热塑性树脂以及电子射线固化树脂等。

另外，在离型膜6a的单面上涂布离型剂层6b后，离型剂层 6b处于自然地大致均匀地分散配置的状态，涂布保护层7的硬质 层7a，将离型膜6a的凹凸部61转印到硬质层7a而形成表面粗糙 度（Ra）为0.2μm-1.0μm的保护层7（参考图3的放大图）。

另外，只要离型剂层6b相对保护层7为具有剥离性的层，则 没有特别的限定，例如可以使用涂布了硅类或非硅类的三聚氰胺 离型剂或丙烯酸离型剂后的PET膜。另外，离型剂层6b厚度的最 大值优选比对离型膜6a的表面进行毛面处理而形成的凹凸的高度 薄（因为当离型剂层6b的厚度超过凹凸的高度时，实质上凹凸消 失，离型膜6a相对于保护层7的剥离强度变得难以控制）。另外， 作为在离型膜6a的单面上形成硬质层7a和软质层7b的方法，优 选采用涂布法，但是也可以使用层压、挤压以及浸渍等除涂布法 以外的形成层的方法。

另外，将离型膜6a从保护层7的硬质层7a剥离时离型膜6a 相对于保护层7（硬质层7a）的剥离强度，在加热h、加压p前的 状态下优选设定为1N/50mm-20N/50mm。另外，离型膜6a相对于 保护层7（硬质层7a）的剥离强度在加热h、加压p后的状态下优 选设定为1N/50mm-10N/50mm，更优选设定为 1N/50mm-4N/50mm。

按照使用目的在制造阶段改变由凹凸部61（凸部61a、凹部 61b）构成的表面粗糙度或离型剂的种类、数量，能够增大离型膜 6a相对于保护层7的粘合强度（剥离强度）的幅度，并能够使粘 合强度的控制（调整）变得容易，上述凹凸部61（凸部61a、凹 部61b）是通过对离型膜6a进行上述毛面处理而形成的。

而且，粘合剂8a’与接地电路3b的非绝缘部3c和绝缘部4充 分粘合后，如图1（b）所示，从压力机P中取出所形成的屏蔽柔 性印刷布线板10，当将屏蔽膜1的离型膜6a和离型剂层6b一起 剥离f时，得到图1（c）所示的在硬质层7a的表面设置了凹凸部 71的屏蔽FPC10’。

如图2（a）所示，由于屏蔽膜1的厚度与屏蔽膜主体9相比 仅增加了离型膜6a的厚度，所以易于冲压成预定的尺寸，并能够 整齐地裁断，相对于基体膜5的定位也容易。另外，加热、加压 时，缓冲效应通过离型膜6a而增大，延缓了压力的传递，因此粘 合剂8a’容易流入到绝缘去除部4a中。因此，由于粘合剂8a’与接 地电路3b的非绝缘部3c的表面充分粘合，所以连接的导电性优 良。另外，如果将离型膜6a和离型剂层6b一同剥离，则能够简 单地得到薄且具有柔性的屏蔽FPC10’。另外，屏蔽膜1也可以用 于刚性电路板。

基底膜2和绝缘膜4都由工程塑料构成。例如，可以例举聚 丙烯、交联聚乙烯、聚酯、聚苯并咪唑、聚酰亚胺、聚酰亚胺酰 胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚（PPS）等树脂。当对耐热性不太要求 时，优选使用廉价的聚酯膜，在要求耐燃性时，可以使用聚苯硫 醚膜，在进一步要求耐热性时优选使用聚酰亚胺膜。

离型膜6a可以使用与基底膜2、绝缘膜4以及保护层7同样 的工程塑料，但是由于它在制造过程中被去除，所以优选使用廉 价的聚酯膜。另外，作为离型剂层6b可以使用以公知的方法形成 的硅膜。

粘合剂层8a作为粘合性树脂由聚苯乙烯类、醋酸乙烯类、聚 酯类、聚乙烯类、聚丙烯类、聚酰胺类、橡胶类以及丙烯类等热 塑性树脂，或者苯酚类、环氧类、尿烷类、三聚氰胺类、醇酸类 等热固性树脂构成。另外，也可以使用在这些粘合性树脂中混入 金属、碳等导电性填料而具有导电性的导电性粘合剂。这样，通 过使用导电性粘合剂能够可靠地将接地电路3b和金属层8b电连 接。另外，作为导电性粘合剂也可以使用减少导电性填料含量的 各向异性导电性粘合剂。这样，作为导电性粘合剂使用各向异性 导电性粘合剂时，与各向同性导电性粘合剂相比更容易形成薄的 膜，由于导电性填料含量少，因此能够制成柔性优良的屏蔽膜。 另外，也可以使用各向同性导电性粘合剂作为导电性粘合剂。这 样，当使用各向同性导电性粘合剂作为导电性粘合剂时，只设置 由各向同性导电性粘合剂形成的导电性粘合剂层，以便能够进行 针对接地电路3b等的接地连接，并具有电磁波屏蔽效果。另外， 当对耐热性没有特别要求时，优选使用不受保管条件等制约的聚 酯类的热塑性树脂，而在要求耐热性或要求更优良的柔性时，优 选使用形成电磁波屏蔽层8后可靠性高的环氧类热固化性树脂。 另外，不言而喻，上述任一树脂优选采用在任一条件下加热、加 压时渗出（树脂流动）量小的树脂。

另外，在上述实施方式中，作为电磁波屏蔽层8使用金属层 8b和粘合剂层8a，但是如上所述在使用各向同性导电性粘合剂作 为粘合剂层8a时，也可以为省略金属层8b的结构。

作为导电性填料可以使用碳、银、铜、镍、焊锡、铝、在铜 粉上镀银的银包铜填料，以及在树脂球或玻璃球等上镀金属后的 填料，或这些填料的混合物。由于银的价格高，铜在耐热可靠性 方面不足、铝在耐湿可靠性方面不足，并且焊锡难以获得足够的 导电性，因此优选地使用比较廉价且具有优良的导电性的并且可 靠性高的银包铜填料或者镍。

金属填料等导电性填料对粘合性树脂的配合比例也受填料的 形状等影响，但是在使用银包铜填料时，相对于粘合性树脂100 重量份，优选使用10-400重量份的银包铜填料，更优选使用20-150 重量份的银包铜填料。当超过400重量份时，对接地电路（铜箔） 3b的粘合性降低，屏蔽FPC10’的柔性变差。另外，当小于10重 量份时导电性显著降低。另外，在使用镍填料时，相对于粘合性 树脂100重量份，优选使用40-400重量份的镍填料，更优选地使 用100-350重量份的镍填料。当超过400重量份时，对接地电路（铜 箔）3b的粘合性降低，屏蔽FPC10’的柔性变差。另外，当小于40 重量份时导电性显著降低。金属填料等导电性填料的形状可以是 球状、针状、纤维状、薄片状或树枝状中的任一种形状。

如前所述，当混合了金属填料等导电性填料时，粘合剂层8a 的厚度为3μm-25μm左右。另外，当不混合导电性填料时，粘合剂 层8a的厚度是1μm-10μm。因此，能够降低电磁波屏蔽层8的厚 度，并能够制成薄的屏蔽FPC10’。

作为形成金属层8b的金属材料可以例举铝、铜、银、金等。 也可以根据所要求的屏蔽特性适当地选择金属材料，但是由于铜 存在与空气接触时容易氧化的问题，金的价格昂贵，优选使用廉 价的铝或可靠性高的银。根据所要求的屏蔽特性和柔性适当地选 择膜厚，但是一般优选设定膜厚为0.01μm-1.0μm。当膜厚小于 0.01μm时屏蔽效果不充分，反之，当膜厚超过1.0μm时柔性变差。 作为金属层8b的形成方法有真空蒸镀、溅射、CVD法、MO（金 属有机物）以及镀覆等，但是如果考虑批量生产性则优选使用真 空蒸镀，能够得到廉价且稳定的金属膜。另外，金属层不限于金 属膜，也可以使用金属箔。

图2（b）表示的屏蔽膜1’与图2（a）中屏蔽膜1的不同点在 于，在图2（b）表示的屏蔽膜1’中，在保护层7的单面设置只由 粘合剂层8a构成的电磁波屏蔽层8’从而形成薄膜主体9’，该粘合 剂层8a由混合了导电性填料的导电性粘合剂形成。由于与粘合剂 层8a相比金属层8b的导电率高，因此在如图2（a）那样设置了 金属层8b的情况下，使用各向同性导电性粘合剂的必要性低，因 此，能够降低电磁波屏蔽层8的厚度。另外，电磁波屏蔽层8的 构造不限于此，优选地使用导电性和柔性良好的材料。

图4是按上述方式得到的屏蔽FPC的横截面图。本发明的屏 蔽FPC当然也包括屏蔽膜主体9’，其代替了图1（c）的屏蔽膜主 体9，按照图2（b）那样仅由导电性粘合剂形成的粘合剂层8a形 成电磁波屏蔽层8’。另外，构成屏蔽膜主体9’的各种材料或形成 方法如上所述也包含各种形式。

另外，不限于单面FPC，也包括图4（b）和图4（c）之类的 双面FPC。在图4（b）的双面屏蔽FPC10A中，为实现粘合剂层 8a和接地电路3b之间的连接，而在接地电路3b上下的绝缘膜4 和基底膜2’分别设置有绝缘去除部4a和绝缘去除部2a’，在接地 电路3b的上下表面的非绝缘部3c与粘合剂层8a连接。这里，基 底膜2’、印刷电路3（信号电路3a和接地电路3b）以及绝缘膜4 构成基体膜5’。

图4（c）的双面屏蔽FPC10B与图4（b）的例子同样，在接 地电路3b上下的绝缘膜4和基底膜2’分别设置有绝缘去除部4a 和绝缘去除部2a’，而且在接地电路3b中设置有贯通孔3d’，并作 为接地电路3b’，粘合剂层8a从两面进入到该贯通孔3d’中，在界 面S处汇合。而且，接地电路3b’在其顶面的非绝缘部3c和贯通 孔内表面3c’与粘合剂层8a连接。这里，基底膜2’、印刷电路3’ （信号电路3a’和接地电路3b’）以及绝缘膜4构成基体膜5’’。

实施例

接着，与比较例一起说明对本发明的实施例进行的评价实验 的结果。

（关于试验片）

使用图6所示的比较例1、2以及具有实施例1-18中所记载的 特征的屏蔽膜1（离型膜6a、离型剂层6b、保护层7、电磁波屏 蔽层8（导电性粘合剂层8a、金属层8b）），另外，每个试验片为 长度200mm、宽度50mm的长方形形状。

对实施例1-18中的离型膜6a的PET实施毛面处理，在实施 例1-12中使用喷砂毛面处理，在实施例13和实施例16中使用腐 蚀毛面处理，在实施例14和实施例17中使用涂布毛面处理，在 实施例15和实施例18中使用揉搓毛面处理。另外，设定比较例1、 2中离型膜6a的PET是未经毛面处理的透明型。

另外，使用触针式表面粗糙度测量仪测量在比较例1、2以及 实施例1-18中的表面粗糙度（Ra（μm））。该方法通过探针在物体 表面滑动并随着物体表面的凹凸上下移动，测量该探针的移动， 由此测量出物体表面的粗糙度。

另外，关于离型剂6b的种类，比较例1、实施例1-8以及实 施例13-15中使用三聚氰胺离型剂（A类型），比较例2、实施例 9-12以及实施例16-18中使用丙烯酸离型剂（B类型），将粘合量 分别统一为1.2g/m²。另外，该离型剂层的粘合量的测量方法如下： 首先使用红外线水分仪测量离型剂的固态含量浓度；接着，在涂 布离型剂之后，用离型剂使用量除以加工量m²，求出Wet粘合量。 然后，通过Wet粘合量和离型剂的固态含量浓度求出Dry粘合量， 将该Dry粘合量作为本实验中的离型剂的粘合量。

（1）将离型膜从保护层剥离的剥离试验

（试验方法）

在冲压前（加热、加压前）的剥离强度测量中，在比较例1、 2以及实施例1-18的屏蔽膜1的导电性粘合剂层8a的表面上贴上 双面胶带，将该双面胶带的单面与试验机（PALMEK制PFT-50S 剥离强度测试仪）底座粘合在一起固定屏蔽膜1。然后，如图7所 示，将屏蔽膜1的离型膜6a的端部设置在试验机的卡盘上，测量 离型膜6a相对于保护层7的剥离强度。这里，如图7所示，作为 剥离条件，剥离角度设定为170°，设定由卡盘产生的离型膜6a的 剥离速度为1000mm/min。而且，进行5次试验，计算各次所得的 剥离强度值的最小值的平均值作为剥离强度的值（N/50mm）。

另一方面，在冲压后（加热、加压后）的剥离强度测量中， 使用压力机将比较例1、2以及实施例1-18的屏蔽膜1的导电性粘 合剂层8a的表面热压接在具有聚酰亚胺表面和铜箔表面的覆铜层 叠板的聚酰亚胺表面侧。作为此时压力机中的热压接条件优选设 定压力为2-5MPa，温度为140-180℃，时间为3-60分钟。在本次 测量中，以170℃作为设定温度，通过在0.5MPa下载重60秒，之 后，在3MPa下载重180秒进行热压接。

然后，在热压接了屏蔽膜1后的覆铜层叠板的铜箔表面侧粘 贴双面胶带，如图7所示，将该双面胶带的单面与试验机台 （PALMEK制PFT-50S剥离强度测试仪）粘合在一起固定屏蔽膜 1。之后以与上述冲压前的剥离强度测量所说明过的试验方法相同 的方式计算剥离强度值（N/50mm）。

（2）评价方法

说明将离型膜从上述保护层剥离的剥离试验的评价方法。在 离型膜的剥离试验中，当冲压前的剥离强度值小于1N/50mm时， 评价为“×”。如果冲压前的剥离强度值为1-20N/50mm，并且冲压 后的剥离强度的值为1-10N/50mm，则评价为“○（单圈）”。这里， 作为“○”评价的条件，之所以将冲压前的剥离强度值设定为 1-20N/50mm，是因为如果剥离强度值小于1N/50mm，则当屏蔽膜 1浸渍在药液中时离型膜会从保护层上剥离，另一方面，如果剥离 强度的值大于20N/50mm，则离型膜相对于保护层的粘合力过强， 在将离型膜剥离时甚至会连保护层一起剥下致使保护层破损。另 外，作为“○”评价的条件，之所以将冲压后的剥离强度值设定 为1-10N/50mm，是因为如果剥离强度值小于1N/50mm，则冲压 后有时离型膜会从保护膜上自然地剥离，另一方面，如果剥离强 度值大于10N/50mm，则由人或制造装置将离型膜从保护层剥离 时的操作性变差（将离型膜从保护层剥离时，不使用更多的力量 则无法顺利地剥离）。进而，在评价“○”的条件的基础上，在冲 压后的屏蔽膜中，如果冲压后的剥离强度值为1-4N/50mm，则评 价为“◎（双圈）”，能够更顺利地剥下离型膜。

图6中示出了上述说明过的比较例1、2以及实施例1-18的试 验结果、判定。

根据图6所示的屏蔽膜的剥离试验的结果、判定可知，对于 使用比较例1、2中的未经毛面处理的PET透明型的屏蔽膜1来说， 由于冲压前、冲压后的剥离强度都比1N/50mm小，所以即使改变 离型剂的种类（比较例1使用三聚氰胺离型剂，比较例2使用丙 烯酸离型剂），当屏蔽膜1浸渍在药液中时离型膜6a有可能从保 护层7上剥离或者在冲压后离型膜6a有可能从保护层7上自然地 剥离，与此相对，对于在实施例1-18中对PET进行了毛面处理（实 施例1-12是喷砂毛面处理，实施例13和实施例16是腐蚀毛面处 理，实施例14和实施例17是涂布毛面处理，实施例15和实施例 18是揉搓毛面处理）后的屏蔽膜1来说，由于在冲压前的剥离强 度为1-20N/50mm，冲压后的剥离强度为1-10N/50mm，所以即使 改变离型剂的种类（实施例1-8和实施例13-15使用三聚氰胺离型 剂，实施例9-12和实施例16-18使用丙烯酸离型剂），在屏蔽膜1 浸渍在药液中时或者冲压后离型膜6a都不从保护层7上剥离。换 言之，可知即使改变离型剂的种类将其涂布在未经毛面处理的离 型膜6a上也不能控制剥离强度，在屏蔽膜1浸渍在药液中时药液 会浸入到离型膜6a和保护层7之间。

另外，根据实施例1-8的剥离强度值可知，通过改变毛面处理 的粗糙度，即，1.00μm→0.853μm→0.679μm→0.489μm→0.352μm→ 0.308μm→0.253μm→0.200μm，剥离强度按以下方式减小，即，冲 压前：19.87N/50mm（冲压后9.92N/50mm）→冲压前：9.48N/50mm （冲压后5.67N/50mm）→冲压前：7.12N/50mm（冲压后4.89 N/50mm）→冲压前：4.97N/50mm（冲压后3.50N/50mm）→冲压 前：3.42N/50mm（冲压后2.78N/50mm）→冲压前：2.18N/50mm （冲压后1.52N/50mm）→冲压前：1.55N/50mm（冲压后1.15 N/50mm）→冲压前：1.12N/50mm（冲压后1.00N/50mm）。由此 可知，通过改变毛面处理的粗糙度，能够控制剥离强度。另外， 参见改变了离型剂种类的实施例9-12的结果也得出同样结论（通 过减小毛面处理的粗糙度值减小剥离强度值）。

另外，参见采用三聚氰胺离型剂的实施例1-8和采用丙烯酸离 型剂的实施例9-12可知，与采用三聚氰胺离型剂的情况相比，在 采用丙烯酸离型剂的情况下，冲压前的剥离强度值及冲压后的剥 离强度值高。另外，参见实施例13（使用腐蚀毛面处理、表面粗 糙度0.418μm、三聚氰胺离型剂）与实施例16（使用腐蚀毛面处 理、表面粗糙度0.418μm、丙烯酸离型剂）比较，实施例14（使 用涂布毛面处理、表面粗糙度0.362μm、三聚氰胺离型剂）与实施 例17（使用涂布毛面处理、表面粗糙度0.362μm、丙烯酸离型剂） 比较，实施例15（使用揉搓毛面处理、表面粗糙度0.245μm、三 聚氰胺离型剂）与实施例18（使用揉搓毛面处理、表面粗糙度 0.245μm、丙烯酸离型剂）比较，均可知与采用三聚氰胺离型剂的 情况相比，在采用丙烯离型剂的情况下，冲压前的剥离强度值和 冲压后的剥离强度值高。由此可知，通过改变离型剂的种类也能 够控制剥离强度值。

另外，参见实施例1-18，可知当表面粗糙度的范围在 0.2μm-1μm范围内时，在判定中评价为“○”。这是因为，当表面 粗糙度值小于0.2μm时，在保护层（硬质层）的表面不能形成足 以发挥锚固效应程度的凹凸，不能控制离型膜相对于保护层的剥 离强度。另一方面，当表面粗糙度的值大于1.0μm时，由于保护 层（硬质层）表面的凹凸所实现的锚固效应强（粘合力变强），将 离型膜从保护层剥离时，甚至出现连保护层都剥下的问题。

另外，对于实施例1-18的屏蔽膜1，在将离型膜6a从保护层 7剥离时，能够不损坏保护层自身地剥离离型膜6a，也就意味着 不使用多余的力就能够顺利地剥离离型膜6a。

另外，在实施例4-8、实施例12-18中，在判定中评价为“◎”。 由此，可知当冲压后的剥离强度值在1-4N/50mm之间的情况下， 当从保护层剥离离型膜时，能够更顺利地剥下离型膜。

如上所述，在本实施方式的屏蔽膜1中，在离型膜6a的整个 单面上形成有凹凸部61，通过在该离型膜6a的形成有凹凸部61 的面上隔着离型剂层6b涂布树脂从而形成保护层7，并在该保护 层7上形成有电磁波屏蔽层8，从保护层7上剥离了离型膜6a时， 保护层7（硬质层7a）的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。根据 上述构造，在离型膜6a通过离型剂层6b粘合在保护层7上的状 态下，由于离型膜6a表面的凹凸部61和保护层7（硬质层7a）表 面的凹凸部71所产生的锚固效应，将离型膜6a相对于保护层7 的粘合性提高到在后续工序中将屏蔽膜1浸渍在药液中之类的时 候药液不会进入保护层7和离型膜6a之间从而防止离型膜6a从保 护层7剥离的程度，上述保护层7表面的凹凸部71是通过转印离 型膜6a表面的凹凸部61而形成的，保护层7的表面粗糙度（Ra） 为0.2μm-1.0μm。另外，通过设置离型膜6a表面的凹凸部61和保 护层7（硬质层7a）表面的凹凸部71，在向离型膜6a涂布离型剂 的过程中被涂布在具有凹凸部61的离型膜6a上的离型剂自然地 分散，因此能够形成使离型剂大致均匀地分散配置的状态的离型 剂层6b，该保护层7表面的凹凸部71通过转印离型膜6a表面的 凹凸部61而形成，该保护层7的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。 由此，能够将离型膜6a相对于保护层7的粘合性控制在将离型膜 6a从保护层7剥离时不会由于过大的粘合力使保护层7本身破损 的程度。这样，由于能够适当地控制离型膜相对于保护层7的粘 合力，因此能够防止以过大的粘合力或过小的粘合力粘合离型膜 6a时所产生的问题。

另外，在本实施方式的屏蔽膜1中，设离型膜6a相对于保护 层7的剥离强度为1N/50mm-20N/50mm的范围。由此能够使离型 膜6a相对于保护层7的粘合力更合适。

另外，本实施方式的屏蔽膜1，设对基体膜5加热、加压后离 型膜6a相对于保护层7的剥离强度为1N/50mm-10N/50mm的范 围。由此能够使离型膜6a相对于保护层7的粘合力更合适。

另外，在本实施方式的屏蔽膜1中，通过在电磁波屏蔽层8 中包含导电性粘合剂层8a，能够可靠地使接地电路3b和电磁波屏 蔽层8电连接。

另外，在本实施方式的屏蔽膜1中，通过在电磁波屏蔽层8 中还包含金属层8b，并在导电性粘合剂层8a中使用各向异性导电 性粘合剂，能够减少导电性填料的含量，制成柔性优良的屏蔽膜。

另外，在本实施方式的屏蔽膜1中，通过在导电性粘合剂层 8a中使用各向同性导电性粘合剂，从而只设置导电性粘合剂层8a 就能够进行对接地电路3b的接地连接，并且能够保持电磁波屏蔽 效果。

另外，在本实施方式中，屏蔽印刷布线板10构成为：基体膜 5包含一层以上的印刷电路3，在基体膜5的至少单面上设置有屏 蔽膜1，在从保护层7上剥离了离型膜6a时，保护层7（硬质层 7a）的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm的范围内。其中，屏蔽 膜1构成为：在离型膜6a的整个单面上形成有凹凸部61，通过在 该离型膜6a的形成有凹凸部61的面上隔着离型剂层6b涂布树脂 形成保护层7，并在该保护层7上形成电磁波屏蔽层8。由此，对 于在基体膜5的单面上具有电磁波屏蔽层8和保护层7的屏蔽柔 性印刷布线板10，由于能够适当地控制离型膜6a相对于保护层7 的粘合力，因此能够防止以过大的粘合力或过小的粘合力粘合离 型膜6a时所产生的问题。

另外，本实施方式的屏蔽柔性印刷布线板10，由于包含印刷 电路3的基体膜5由柔性印刷布线板构成，所以能够制成柔性优 良的屏蔽柔性印刷布线板10。

另外，本实施方式的屏蔽柔性印刷布线板10，由于包含印刷 电路3的基体膜5能够作为带载封装用TAB带，因此能够获得柔 软且安装性优良的屏蔽印刷布线板10。

另外，在本实施方式的屏蔽柔性印刷布线板10的制造方法中， 在包含一层以上的印刷电路3的基体膜5的至少单面上配置屏蔽 膜1，该屏蔽膜1通过在离型膜6a的形成有凹凸部61的表面上至 少层叠了离型剂层6b、保护层7和电磁波屏蔽层8而形成，上述 离型膜6a通过毛面处理在整个单面上形成有凹凸部61；在层叠方 向上对屏蔽膜1和基体膜5加热、加压后，将离型膜6a从保护层 7上剥离，使保护层7的表面粗糙度（Ra）为0.2μm-1.0μm。根据 上述方法，由于能够适当地控制离型膜6a相对于保护层7的粘合 力，因此能够防止由于过大的粘合力或过小的粘合力粘合离型膜 6a时所产生的问题。

附图标记说明

1、1’：屏蔽膜；

2、2’：基底膜；

2a’：绝缘去除部

3、3’：印刷电路；

3a、3a’：信号电路；

3b、3b’：接地电路；

3c、3c’：非绝缘部；

3d’：贯通孔；

4：绝缘膜；

4a：绝缘去除部；

5，5’，5’’：基体膜；

6a：离型膜；

6b：离型剂层；

7：保护层；

7a：硬质层；

7b：软质层；

8，8’：电磁波屏蔽层；

8a：粘合剂层；

8a’：粘合剂；

8b：金属层；

9，9’：屏蔽膜主体；

10：屏蔽柔性印刷布线板；

10’：屏蔽FPC；

10A：双面屏蔽FPC；

10B：双面屏蔽FPC；

11：金属箔；

12：粘合性树脂层；

71：凹凸部；

71a：凸部；

71b：凹部；

s：界面