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用于显示器的电极的制造方法和包括该电极的显示器

摘要

本发明公开了一种用于显示器的电极的制造方法和包含该电极的显示器。该用于显示器的电极的制造方法包括:在基板上印刷并干燥导电浆料,以及在干燥的导电浆料上印刷玻璃浆料,随后图案化。还公开了使用所述方法制备的用于显示器的电极。

著录项

  • 公开/公告号CN103871803A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-06-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 第一毛织株式会社;

    申请/专利号CN201310655610.0

  • 申请日2013-12-06

  • 分类号H01J9/02(20060101);H01J11/22(20120101);

  • 代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人余刚;张英

  • 地址 韩国庆尚北道

  • 入库时间 2023-12-17 00:06:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J9/02 申请日:20131206

    实质审查的生效

  • 2014-06-18

    公开

    公开

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于显示器的电极的制造方法、使用该方法制造的用于显示器的电极、以及包括该电极的显示器。

背景技术

通常,已经将含银电极用于等离子体显示屏(PDP)。这是由于含银电极具有高密度,在PDP的烘烤过程之后不会发生气体泄漏。然而,银非常昂贵,因而在制造电极中不够经济实用,并且银的迁移可能在电极端部引起非均匀电阻和短路。

因此,作为银的替代物,提出了铝粉。然而,在涂覆铝粉的表面形成氧化铝(Al2O3),其阻止充分烧结,并且在烘烤过程中氧化铝层的厚度可能增加。这可能导致铝电极的电阻增加。

此外,由于烘烤中铝粉的低膜密度,致使电极的内部和表面可能呈现多孔。在电介质烘烤中的电介质烘烤膜中,这种多孔性可能引起气泡产生,并且还可能引起由电介质渗入电极导致的电极的提升。此外,由于铝电极对碱性溶液缺乏耐化学性,致使端电极可能损坏。因此,在将前后基板密封和引入Ne或Xe气之后,这些缺点可能导致等离子体显示屏中的气体泄漏。

与此相关,韩国专利公开号2009-0064029A披露了一种等离子体显示屏,其包括基板,形成在基板上并由银颗粒和选自铜、镍和铝颗粒中的金属颗粒的混合物组成的电极,以及用于将电极附着在基板上的玻璃料。

发明内容

根据本发明的一个方面,用于显示器的电极的制造方法可以包括:在基板上印刷并干燥导电浆料,以及在干燥的导电浆料上印刷玻璃浆料,随后图案化。

玻璃浆料可以印刷成干燥的导电浆料厚度的约0.1倍至2倍范围内的厚度。

可以对干燥导电浆料和玻璃浆料同时进行图案化。

玻璃浆料可以包括玻璃料、有机粘结剂、光聚合单体、引发剂、和溶剂。

玻璃料可以具有约350℃至约650℃的熔点。

玻璃料可以包括选自SiO2、B2O3、Bi2O3、Al2O3、ZnO、Na2O、K2O、Li2O、BaO、CaO、MgO、SrO、PbO、和TlO2中的至少一种。

玻璃浆料可以包含按重量计约30%(wt%)至约80wt%的玻璃料、约1wt%至约30wt%的有机粘结剂、约1wt%至约30wt%的光聚合单体、约0.1wt%至约10wt%的引发剂、以及余量的溶剂。

导电浆料可以包含导电金属粉末、有机粘结剂、光聚合单体、引发剂、和溶剂。

导电浆料可以包含约5wt%至约95wt%的导电金属粉末、约1wt%至约40wt%的有机粘结剂、约1wt%至约30wt%的光聚合单体、约0.1wt%至约10wt%的引发剂、以及余量的溶剂。

导电金属粉可以包括选自铝(Al)、银(Ag)、金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)、铜(Cu)、铬(Cr)、钴(Co)、锡(Sn)、铅(Pb)、锌(Zn)、铁(Fe)、铱(Ir)、锇(Os)、铑(Rh)、钨(W)、钼(Mo)、和镍(Ni)中的至少一种。

导电浆料可以进一步包含约1wt%至约20wt%的玻璃料。

根据本发明的另一个方面,提供了使用所述方法制造的用于显示器的电极。

根据本发明进一步的方面,提供了包括用于显示器的电极的显示器。

附图说明

图1是根据本发明的一个实施方式形成在基板上的用于显示器的电极的截面图。

图2是根据本发明的一个实施方式用于显示器的面板的透视图。

图3和图4分别示出了实施例1中电极的表面和截面的SEM(扫描电子显微镜)图像。

图5和图6分别示出了比较例2中电极的表面和截面的SEM图像。

图7和图8分别示出了比较例3中电极的表面和截面的SEM图像。

具体实施方式

根据本发明的一个方面,用于显示器的电极的制造方法可以包括:在基板上印刷并干燥导电浆料,以及在干燥的导电浆料上印刷玻璃浆料,随后图案化。

在一个实施方式中,导电浆料可以包含导电金属粉末、有机粘结剂、光聚合单体、引发剂、和溶剂。

导电金属粉末可以包括选自铝(Al)、银(Ag)、金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)、铜(Cu)、铬(Cr)、钴(Co)、锡(Sn)、铅(Pb)、锌(Zn)、铁(Fe)、铱(Ir)、锇(Os)、铑(Rh)、钨(W)、钼(Mo)、和镍(Ni)中的至少一种。在一个实施方式中,导电金属粉末可以仅包括铝,或者除铝之外,还包括选自银(Ag)、金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)、铜(Cu)、铬(Cr)、钴(Co)、锡(Sn)、铅(Pb)、锌(Zn)、铁(Fe)、铱(Ir)、锇(Os)、铑(Rh)、钨(W)、钼(Mo)、和镍(Ni)中的至少一种。

导电金属粉末可以为球状、针状、片状或无定形状。例如,导电金属粉末可以是球状粉末。

导电金属粉末可以具有约0.1μm至约20μm的平均粒径(D50)。在此范围内,可以在约600℃以下的温度下进行烘烤,并且通过改善烘烤后的膜密度可以获得良好的电导率。

在本文中,在25℃下在异丙醇(IPA)中通过超声处理3分钟分散导电粉末或玻璃料之后,使用型号1064D(CILAS Co.,Ltd.)测定“平均粒径(D50)”。

导电金属粉末可以以约5wt%至约95wt%的量,优选以约25wt%至约70wt%的量,例如,约25、26、27、28、29、30、31、32、33、34、35、36、37、38、39、40、41、42、43、44、45、46、47、48、49、50、51、52、53、54、55、56、57、58、59、60、61、62、63、64、65、66、67、68、69、或70wt%的量存在于导电浆料中。在此范围内,使用浆料制造的电极可以具有期望的电导率,并且可以显示出对基板优异的粘附性和可印刷性。

将有机粘结剂加入导电浆料以混合包含在浆料中的成分,并制备具有预定粘度的浆料。由此,可以通过烘烤制备电极。

有机粘结剂可以包括选自通过使包含羧基的单体如(甲基)丙烯酸或衣康酸与具有乙烯不饱和双键的单体如(甲基)丙烯酸酯(丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯等)、苯乙烯、(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈等共聚获得的共聚物;纤维素;以及水溶性纤维素衍生物中的至少一种,但不限于此。

有机粘结剂可以以约1wt%至约40wt%的量,优选以约1wt%至约20wt%的量,例如,约1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、145、16、17、18、19、或20wt%的量存在于导电浆料中。在此范围内,在印刷并干燥之后,可以避免制备的浆料的粘度的降低以及粘附性的劣化。此外,有机粘结剂在烘烤之后可以有效分解,从而阻止电阻增加。

光聚合单体是单官能或多官能的(甲基)丙烯酸单体,并且可以包括选自,例如,以下各项中的至少一种:三羟甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸三乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸二乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸丙二醇酯、二(甲基)丙烯酸1,4-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸1,6-己二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、二(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、三(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、以及酚醛环氧树脂(甲基)丙烯酸酯,但不限于此。

光聚合单体可以以约1wt%至约30wt%的量,优选以约1wt%至约20wt%的量,例如,约1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、或20wt%的量存在于导电浆料中。在此范围内,光聚合单体可以确保有效的光固化,从而防止显影中图案分离,并且足量的光聚合单体防止烘烤中有机材料的分解。

在约200nm至400nm的波长范围内引发光反应的引发剂可以选自由苯甲酮、苯乙酮、以及三嗪化合物所组成的组中的至少一种化合物。例如,引发剂可以是2-苄基-2-(二甲基氨基)-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮、α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮、或它们的混合物,但不限于此。

引发剂可以以约0.1wt%至约10wt%、优选以约0.1wt%至约5wt%的量存在于导电浆料中。在此范围内,引发剂不会残留,并且可以实现完全的固化反应,从而避免图案的分离,防止由残留的引发剂引起的电阻增加,并提供优异的可印刷性。

溶剂可以是用于具有约120℃以上沸点的导电浆料的任何常用溶剂。

例如,溶剂可以是通常用于导电浆料中的溶剂,如酯、脂族醇、卡必醇溶剂、或溶纤剂溶剂。在一个实施方式中,溶剂可包括选自2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、丁基溶纤剂、脂族醇、萜品醇、乙二醇单丁基醚、丁基溶纤剂醋酸酯、酯醇(texanol)、以及丁基卡必醇醋酸酯中的至少一种。

溶剂可以构成组合物的余量部分。

在导电浆料中,玻璃料的含量可以是0wt%。这是因为如下所述的玻璃浆料包括玻璃料,并且在根据本发明的方法中,对导电浆料和玻璃浆料同时进行图案化。因此,玻璃浆料中的玻璃料可以充分用于在导电浆料上形成导电图案。

例如,导电浆料可以包含约5wt%至约95wt%的导电金属粉末、约1wt%至约40wt%的有机粘结剂、约1wt%至约30wt%的光聚合单体、约0.1wt%至约10wt%的引发剂、以及余量的溶剂。优选地,导电浆料包含约25wt%至约70wt%的导电金属粉末、约1wt%至约20wt%的有机粘结剂、约1wt%至约20wt%的光聚合单体、约0.1wt%至约5wt%的引发剂、以及余量的溶剂。

在另一个实施方式中,导电浆料可以进一步包括少量的玻璃料。包含在导电浆料中的玻璃料可以改善对基板的粘附性,并在烘烤之后通过填充导电图案中的空隙提高电极的膜密度。

玻璃料可以以约0.1wt%至约30wt%的量,优选以约1wt%至约20wt%的量,例如,约1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、或20wt%的量存在于导电浆料中。在此范围内,玻璃料可以改善导电浆料对基板的粘附性,并在烘烤之后通过填充导电图案中的空隙提高电极的膜密度。

例如,导电浆料可以包括约5wt%至约95wt%的导电金属粉末、约1wt%至约40wt%的有机粘结剂、约1wt%至约30wt%的光聚合单体、约0.1wt%至约30wt%的玻璃料、约0.1wt%至约10wt%的引发剂、以及余量的溶剂。优选地,导电浆料包括约30wt%至约70wt%的导电金属粉末、约1wt%至约30wt%的有机粘结剂、约1wt%至约20wt%的光聚合单体、约1wt%至约20wt%的玻璃料、约0.1wt%至约10wt%的引发剂、以及余量的溶剂。

玻璃料可以包括选自SiO2、B2O3、Bi2O3、Al2O3、ZnO、Na2O、K2O、Li2O、BaO、CaO、MgO、SrO、PbO、和TlO2中的至少一种,但不限于此。优选地,玻璃料包括选自Bi2O3、B2O3、SiO2、和Al2O3中的至少一种。

玻璃料可以具有约350℃至约650℃范围内的熔点。在此范围内,熔融的玻璃料可以填充导电图案中的空隙,从而提高电极的膜密度。

玻璃料可以具有约300℃至约600℃的玻璃化转变温度。在此范围内,玻璃料可以具有防止电极边缘卷曲的适当收缩率,并且导电粉末可以充分烧结以避免电阻增加。

玻璃料可以具有约0.5μm至约3μm的平均粒径(D50)。在此范围内,玻璃料可以通过填充导电图案中的空隙提高电极的膜密度。

玻璃浆料可以包括玻璃料、有机粘结剂、光聚合单体、引发剂、和溶剂。

包含在玻璃浆料中的玻璃料、有机粘结剂、光聚合单体、引发剂、和溶剂可以与上述的那些相同,或者可以与那些不同。

玻璃料可以以约30wt%至约80wt%的量存在于玻璃浆料中。在此范围内,玻璃料可以提供良好的可印刷性,并使得玻璃浆料能够均匀印刷在导电浆料上。优选地,玻璃料以约50wt%至约70wt%的量,例如,约50、51、52、53、54、55、56、57、58、59、60、61、62、63、64、65、66、67、68、69、或70wt%的量存在于玻璃浆料中。

有机粘结剂可以以约1wt%至约30wt%的量存在于玻璃浆料中。在此范围内,有机粘结剂可以改善对电极的粘附性。优选地,有机粘结剂以约1wt%至约20wt%的量,例如,约1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、或20wt%的量存在。

光聚合单体可以以约1wt%至约30wt%的量存在于玻璃浆料中。在此范围内,光聚合单体可以确保有效的光固化,从而防止显影中图案分离,并且足量的光聚合单体可以避免烘烤中有机材料的分解。优选地,光聚合单体以约1wt%至约20wt%的量,例如,约1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、或20wt%的量存在于玻璃浆料中。

引发剂可以以约0.1wt%至约10wt%的量存在于玻璃浆料中。在此范围内,引发剂可以实现完全的固化反应,从而避免图案的分离,防止由残留的有机材料引起的电阻增加,并提供优异的可印刷性。优选地,引发剂以约1wt%至约5wt%的量存在。

溶剂可以构成玻璃浆料的余量部分。

制造方法可以包括在基板上印刷并干燥导电浆料。基板可以是,例如,玻璃基板、金属基板等。

首先,在基板上将导电浆料印刷成约5μm至40μm的厚度,然后干燥,由此制备干燥的导电浆料。在使玻璃浆料能够在后续步骤中印刷的条件下进行干燥,例如,在约80℃至约200℃下干燥约5至30分钟。

制造方法可以包括将玻璃浆料印刷至干燥的导电浆料上,随后图案化。

玻璃浆料可以印刷在图案将形成于其上的干燥导电浆料的整个或部分表面上。

玻璃浆料可以印刷成干燥的导电浆料厚度的约0.1倍至2倍的厚度。在此厚度范围内,通过加入玻璃浆料可以获得预期效果,同时确保电极的导电率。

玻璃浆料可以印刷成约0.1μm至约40μm、例如约5μm至约40μm的厚度,但不限于此。

对玻璃浆料进行印刷,随后图案化。

印刷之后,在图案化之前可以将玻璃浆料进一步干燥。干燥使得能够更有效地使导电浆料和玻璃浆料图案化。干燥在约80℃至200℃下进行约5至30分钟,但不限于此。

图案化包括曝光、显影、以及烘烤。将干燥的导电浆料和玻璃浆料(或干燥的玻璃浆料)同时进行图案化。因此,烘烤的玻璃浆料可以形成在导电图案上,同时填充导电图案中的空隙。

通过将图案掩膜放置在玻璃浆料上进行曝光,然后在5mW至30mW下用100mJ至400mJ的UV光照射掩膜。例如,在20℃至35℃下,通过用Na2CO3的含水溶液处理这些区域,进行显影以除去曝光或未曝光区域。通过处理残留组合物,在450℃至600℃下进行烘烤约20至40分钟。烘烤使得图案化浆料中的有机粘结剂和溶剂能够完全除去,并使玻璃料熔化以粘结导电金属粉末。烘烤不一定只进行一次,而是根据后续电介质形成过程可以反复进行。

根据本发明的另一个方面,可以使用所述方法制造用于显示器的电极。

在一个实施方式中,电极包括导电图案、以及形成在导电图案上的烘烤的玻璃浆料,其中,导电图案和烘烤的玻璃浆料具有相同的图案。因此,导电图案在其表面上没有空隙,从而防止发生在本领域中的用于显示器的典型电极中的气体泄漏。

此外,可以将导电浆料和玻璃浆料同时进行包括曝光、显影、以及烘烤的图案化。结果,玻璃浆料渗入在导电浆料图案化过程中形成于导电图案中的空隙中,并随其一起烘烤。因此,电极包括由烘烤导电浆料组成的第一相以及由经烘烤的玻璃浆料组成的第二相,其中第二相可以包含在形成于第一相中的空隙中。

因此,如在图3和图4中示出的,根据本发明的电极包括在导电图案表面上和导电图案内部的经烘烤的玻璃浆料,从而抑制气体泄漏,改善电阻特性,并且防止导电图案分离以及在层压介电层时对介电层的损坏。

图1是根据本发明的一个实施方式形成在基板上的用于显示器的电极的截面图。参照图1,用于显示器的电极117形成在基板150上且包括导电图案117b和形成在导电图案117b上的经烘烤的玻璃浆料117a,其中经烘烤的玻璃浆料117a可以存在于形成在导电图案内部的空隙中。

电极可以具有约5μm至约20μm的厚度。

电极可以用于等离子体显示电极,但不限于此。

根据本发明进一步的方面,用于显示器的面板可以包括用于显示器的电极。例如,用于显示器的面板可以是用于等离子体显示器的面板。

更具体地说,用于显示器的面板可以包括彼此相对的前后基板、形成在后基板上的用于显示器的多个电极、形成在后基板上并覆盖用于显示器的电极的第一介电层、毗邻第一介电层并形成放电空间的多个隔板、形成在放电层中的荧光层、以与寻址电极(address electrode)交叉的方向设置在底表面上的多个汇流电极(辅助电极,bus electrode)、以及覆盖汇流电极的第二介电层。

图2是根据本发明的一个实施方式的用于显示器的面板的透视图。参照图2,用于显示器的面板10可以包括后表面150和前基板100。将多个寻址电极117以纵向设置在后基板150上,并且形成第一介电层115以覆盖寻址电极117。在第一介电层115上,多个隔板120形成放电空间,其中形成包含RGB磷的荧光层132以界定像素区域。前基板100设置成朝向后基板150。在前基板100上,多个汇流电极112横向设置以与寻址电极117交叉。透明电极110可以设置在前基板100和汇流电极112之间,并且汇流电极112可以设置在透明电极110上。此外,第二介电层114形成在透明电极110上,并在覆盖汇流电极112的同时储存电荷。此外,MgO层118可以形成在透明电极110上,并起保护第二介电层114同时便于电子发射的作用。寻址电极可以具有如图1所示的形状。将包含Ne、Ar、Xe、Ne+Ar、Ne+Xe等的惰性气体引入后基板和前基板之间的空间,并且当将高于阈电压的电压施加至基板时产生光。

根据本发明的又一个方面,提供了包含用于显示器的电极的显示器。显示器可以是等离子体显示器,但不限于此。

接下来,将参照实施例更详细地描述本发明。然而,应当注意的是提供的这些实施例仅用于说明,而不应以任何方式解释为限制本发明。

用于实施例和比较例中的成分的细节如下。

(A)导电金属粉末:具有7μm的平均粒径(D50)的球形Al粉末;

(B)玻璃料:铋玻璃料(Bi2O3-B2O3-SiO2-Al2O3)(ParticlogyCo.,Ltd.);

(C)有机粘结剂:聚(甲基丙烯酸甲酯-共-甲基丙烯酸)((甲基)丙烯酸聚合物)溶液(CCTech Co.,Ltd.,固体含量:40wt%);

(D)光聚合单体:三羟甲基丙烷乙氧基三丙烯酸酯(Photonics Co.,Ltd);

(E)引发剂:(E1)2-苄基-2-(二甲基氨基)-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮、(E2)α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮(CIBA Co.,Ltd.);

(F)溶剂:2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯。

制备实施例1:导电浆料1

在40℃下,将12.1重量份的溶剂中的16.6重量份的有机粘结剂溶液、10.5重量份的光聚合单体、以及0.8重量份的引发剂搅拌4小时。将60重量份的导电金属粉末加入混合物中,随后磨制并分散以制备导电浆料。

制备实施例2:导电浆料2

在40℃下,将12.1重量份的溶剂中的16.6重量份的有机粘结剂溶液、10.5重量份的光聚合单体、以及0.8重量份的引发剂搅拌4小时。将50重量份的导电金属粉末和10重量份的玻璃料加入混合物中,随后磨制并分散以制备导电浆料。

制备实施例3:导电浆料3

在40℃下,将6.1重量份的溶剂中的12.8重量份的有机粘结剂溶液、8.3重量份的光聚合单体、以及0.8重量份的引发剂搅拌4小时。将27重量份的导电金属粉末和45重量份的玻璃料加入混合物中,随后磨制并分散以制备导电浆料。

制备实施例4:玻璃浆料

在40℃下,将12.1重量份的溶剂中的16.6重量份的有机粘结剂溶液、10.5重量份的光聚合单体、以及0.8重量份的引发剂搅拌4小时。将60重量份的玻璃料加入混合物中,随后磨制并分散以制备导电浆料。

实施例1

在设置有印网掩模的玻璃基板上,将制备实施例1中的浆料印刷至厚度为13μm,并在110℃下干燥20分钟。将制备实施例4的浆料印刷至在制备实施例1的干燥浆料上的16μm的厚度,并在110℃下干燥20分钟。将制备实施例1和4的干燥浆料在14mW和200mJ下同时进行曝光,随后在30℃下的0.4%的Na2CO3含水溶液中显影,并在580℃下干燥烘烤30分钟,由此制备由导电图案和形成在导电图案上的烘烤玻璃浆料组成的用于显示器的电极。

实施例2

除了使用制备实施例2的浆料代替在制备实施例1中制备的浆料之外,通过与实施例1相同的方法制备用于显示器的电极。

比较例1

在设置有印网掩模的玻璃基板上,将制备实施例1中的浆料印刷至厚度为13μm,并在110℃下干燥20分钟。将干燥的浆料在14mW和200mJ下进行曝光,随后在30℃下的0.4%的Na2CO3含水溶液中显影,并在580℃下干燥烘烤30分钟,由此制备用于显示器的电极。

比较例2

在设置有印网掩模的玻璃基板上,将制备实施例2中的浆料印刷至厚度为13μm,并在110℃下干燥20分钟。将干燥的浆料在14mW和200mJ下进行曝光,随后在30℃下的0.4%的Na2CO3含水溶液中显影,并在580℃下干燥烘烤30分钟,由此制备用于显示器的电极。

比较例3

在设置有印网掩模的玻璃基板上,将制备实施例3中的浆料印刷至厚度为13μm,并在110℃下干燥20分钟。将干燥的浆料在14mW和200mJ下进行曝光,随后在30℃下的0.4%的Na2CO3含水溶液中显影,并在580℃下干燥烘烤30分钟,由此制备用于显示器的电极。

对制备的用于显示器的电极进行如表1中列出的以下性能的评价。此外,通过SEM观察各电极的表面和截面。

1.烘烤后的电极线宽(μm):使用AXIO显微镜(Karl-Zeiss)测定烘烤后的线宽。

2.电极厚度(μm):使用P-10(Tencor)测定电极厚度。

3.线电阻(Ω):使用线电阻测试仪万用表(KEITHLEY)测定线电阻。

4.气体泄漏:通过确定以下特征评价气体泄漏(根据由气体泄漏引起的介电层中出现的泡沫):将包括实施例和比较例中制备的电极的各基板装配至另一基板后是否能够保持开启特性。良好的开启特性由○表示,不良的开启特性由×表示。

5.耐化学性:烘烤之后,将电极浸入2.5%的NaOH含水溶液中,随后使用3M带进行带测试(taping test)。由于对碱性溶液良好的耐性而没有电极的分离由○表示,电极分离由×表示。

6.通过SEM观察电极表面和截面区域:通过SEM观察制备的电极的表面和截面区域,并且显示在图3至图8中。

表1

实施例1实施例2比较例1比较例2比较例3烘烤后的线宽(μm)1051001009799电极厚度(μm)8.37.57.27.48.6线电阻(Ω)286360367421648气体泄漏×××耐化学性×××

如在表1中所示,采用经烘烤的玻璃浆料和导电图案的根据本发明的用于显示器的电极表现出低线电阻、无气体泄漏、以及对碱溶液的良好的耐化学性。此外,如在图3和图4中所示,根据本发明的电极在其表面上没有空隙。详细地,如截面图中所示,相对于中心线的电极上部区域由于其富含玻璃的结构而没有空隙,并且电极下部区域由于其富含导电粉末的结构也没有空隙。

相反地,如在图5和图6中所示,在比较例1和2中制备的用于显示器且其中没有使用玻璃浆料或使用包含少量玻璃料的导电浆料的电极在其表面上具有大量空隙。此外,在比较例3中制备的用于显示器的电极,其中没有使用玻璃浆料,而是使用包含与根据本发明的电极相同量的玻璃浆料的导电浆料,在其表面上也具有大量空隙(如图7和图8所示)。此外,在比较例1至3中制备的所有用于显示器的电极具有诸如线电阻增加、气体泄漏、或对碱溶液具有低耐受性的问题。

尽管本文已经披露了一些实施方式,但本领域技术人员应理解,这些实施方式仅是以示例方式提供,在不背离本发明的精神和范围的前提下,可以做出各种修改、变化、及变型。因此,本发明的范围应仅由所附权利要求及其等价物限定。

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