首页> 中国专利> 具有视需要氧化钇覆盖层的经AlON涂布的基质

具有视需要氧化钇覆盖层的经AlON涂布的基质

摘要

本发明公开一种位于陶瓷基质上的抗氟电浆涂层。在一个具体实例中,该组成物包括覆盖基质的约2微米厚的AlON涂层及视需要具有的覆盖该AlON涂层的约3微米厚的氧化钇涂层。

著录项

  • 公开/公告号CN103918065A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-07-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 恩特格林斯公司;

    申请/专利号CN201280037461.5

  • 发明设计人 尼雷须·困达;

    申请日2012-08-09

  • 分类号H01L21/318(20060101);

  • 代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人许静;黄灿

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2023-12-17 00:06:05

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-09-07

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/318 申请公布日:20140709 申请日:20120809

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-01-11

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/318 变更前: 变更后: 申请日:20120809

    著录事项变更

  • 2014-08-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/318 申请日:20120809

    实质审查的生效

  • 2014-07-09

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号