公开/公告号CN103811509A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 上海集成电路研发中心有限公司;
申请/专利号CN201410043665.0
发明设计人 陈嘉胤;
申请日2014-03-26
分类号H01L27/146;G01C1/00;
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴世华
地址 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
入库时间 2024-02-20 00:20:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-28
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L27/146 申请公布日:20140521 申请日:20140326
发明专利申请公布后的撤回
2014-05-21
公开
公开
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