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一种铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的合成方法

摘要

本发明公开了一种铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的合成方法,包括以下步骤:(1)配制电解液:将铜盐、锌盐、锡盐、硫代硫酸钠、柠檬酸三钠和酒石酸分别溶解到水中,然后再混合,混合均匀后调节pH值;(2)清洗基片:金属Mo片作为基片,用氢氧化钠溶液擦拭表面,除去表面锈迹,然后在乙醇、去离子水中逐次进行超声清洗,除去表面油渍;(3)电化学沉积:将清洗好的基片放入已经配制好的电解液中,设定沉积电压和时间并开始,沉积结束后将基片取出,用大量的去离子水和乙醇冲洗并吹干;(4)将步骤(3)得到的样品在氮气或者氩气中煅烧1小时,得到铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。此方法成本低,过程简单,所制得的样品性能优良。

著录项

  • 公开/公告号CN103915528A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-07-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海交通大学;

    申请/专利号CN201410124033.7

  • 发明设计人 高濂;王静;张鹏;宋雪峰;李泓墨;

    申请日2014-03-28

  • 分类号H01L31/18;

  • 代理机构上海旭诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人郑立

  • 地址 200240 上海市闵行区东川路800号

  • 入库时间 2024-02-20 00:07:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-13

    授权

    授权

  • 2014-08-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20140328

    实质审查的生效

  • 2014-07-09

    公开

    公开

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜的合成方法,尤其涉及一种铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜 的合成方法。

背景技术

近年来能源和环境问题引起了人们关注,对高效、低成本的太阳能吸收材料的 研究也越来越多。铜锌锡硫材料(缩写作CZTS)具有很多优点,比如:光吸收系 数超过104cm-1,带隙大约是1.5eV,铜、锌、锡、硫元素在自然界储量丰富,不污 染环境。目前它应用于太阳能电池的效率已经达到了12%。对于铜锌锡硫薄膜的 制备,通常使用物理方法,包括共蒸发、磁控溅射等等,这些方法成本太高,很不 适合较大规模的生产。所以,近几十年来,用化学方法制备铜锌锡硫薄膜变成了重 中之重。常用的化学方法有电化学法,连续离子层吸收反应,水热法等等。但是, 这些方法制备出的铜锌锡硫薄膜在进一步结晶的时候都要经过硫化(有剧毒)。其 中,电化学方法是相对来讲成本最低的。对于铜锌锡硫这种四元硫化物来说,预制 金属层再硫化方法被广泛使用。然而,这种方法不但需要硫化,还要进行2~3次 电化学沉积。

出于这些考虑,本领域技术人员希望采用成本低、过程简单、安全无毒的 合成方法。同时,积极开拓一步电化学法制备多元硫化物的使用领域。

发明内容

有鉴于现有技术的上述缺陷,本发明所要解决的技术问题是提供一种一步电化 学合成铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜(Cu2ZnSnS4-CuS-Cu3SnS4)的方法。

为实现上述目的,本发明提供了一种铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的一步电化 学合成方法,合成过程中不使用表面活性剂,合成步骤如下:

(1)配制电解液:将铜盐、锌盐、锡盐、硫代硫酸钠、柠檬酸三钠和酒石酸 分别溶解到水中,然后再混合,混合均匀后调节pH值;

(2)清洗基片:金属Mo片作为基片,用氢氧化钠溶液擦拭表面,除去表面 锈迹,然后在乙醇、去离子水中逐次进行超声清洗,除去表面油渍;

(3)电化学沉积:将清洗好的基片放入已经配制好的电解液中,设定沉积电 压和时间并开始,沉积结束后将基片取出,用大量的去离子水和乙醇冲洗并吹干;

(4)将步骤(3)得到的样品在氮气或者氩气中煅烧1小时,得到铜锌锡硫- 硫化铜-铜锡硫薄膜。

优选地,步骤(1)中,以摩尔计,铜盐:锌盐:锡盐:硫代硫酸钠:柠檬酸 三钠:酒石酸=0.5~3:1:0.5~3:1~5:4~10:2~8;其中,当铜盐:锌盐:锡 盐:硫代硫酸钠:柠檬酸三钠:酒石酸=2:3:2:3:20:10时,所合成的薄膜性 能较好。

优选地,步骤(1)中的铜盐为硫酸铜、硝酸铜或氯化铜,锌盐为硫酸锌、 硝酸锌或氯化锌,锡盐为氯化亚锡或硫酸亚锡。

优选地,步骤(1)中调节pH值范围为2~7。

优选地,基片清洗过程中,用来擦拭基片的氢氧化钠浓度为1~15摩尔/ 升,超声时间为5~30分钟。基片的清洁程度,对成膜有很大的影响。

优选地,电化学沉积过程中所用的电压是-0.8V~-1.5V,沉积时间是15~ 60分钟。沉积的电压和时间会显著影响薄膜的厚度和质量。

优选地,煅烧温度范围为200~600℃。

本发明的有益效果是:

(1)该制备方法简单易行,成本很低,安全无毒,适合工业化生产;

(2)使用该方法所制得的铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜性能好;

(3)可广泛用于半导体薄膜的生产以及光催化领域。

以下将结合附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说 明,以充分地了解本发明的目的、特征和效果。

附图说明

图1是实施例1制得的铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的X射线衍射图;

图2是实施例1制得的薄膜的10000倍扫描电子显微镜照片;

图3是实施例1制得的薄膜的50000倍扫描电子显微镜照片;

图4是实施例2制得的薄膜的10000倍扫描电子显微镜照片;

图5是实施例2制得的薄膜的50000倍扫描电子显微镜照片;

图6是实施例1和实施例2制得的薄膜的电流-电压曲线,银/氯化银电极作参 比电极,铂片(2x2cm2)作对电极,0.2摩尔/升的硫酸钠做电解液,测试光强 为15mW cm-2,扫描速率为0.01V/s。

具体实施方式

下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明本 发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解,在阅读了本发明讲授的内容之后, 本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所 附权利要求书所限定的范围。

实施例1

室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.02摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用15摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-1.05V(相对于银/氯化银)条件下沉积45分钟后,将 样品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃ 煅烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。将其命名为薄膜1。

实施例2

室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用15摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-1.05V(相对于银/氯化银)条件下沉积45分钟后,将 样品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃ 煅烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。将其命名为薄膜2。

图1为本实施例合成的铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的X射线衍射图。从图 1中可以看出:该样品中同时存在铜锌锡硫(CZTS)、硫化铜(CuS)、铜锡硫 (Cu3SnS4)。图中基片Mo的峰很强,使硫化物的峰显得很弱。

图2、图3、图4、图5为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜的扫描电子显微镜(SEM) 图片,分别对应10000x(薄膜1)、50000x(薄膜1)、10000x(薄膜2)、50000x (薄膜2)。从图2、图3、图4、图5中可以看出:铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄 膜是由很小的颗粒团聚而成,其中薄膜1表面的颗粒倾向于聚集成更大的球状, 薄膜2表面的颗粒倾向于聚集成短链状。

图6为薄膜1和薄膜2的电流-电压曲线。银/氯化银电极作参比电极,铂 片(2x2cm2)作对电极,0.2摩尔/升的硫酸钠做电解液,测试光强为15mW cm-2, 扫描速率为0.01V/s。从图中可以看出,薄膜2的性能要比薄膜1的好,可能是 因为这种短链结构增加了薄膜的比表面积。

实施例3

室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为7。用15摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗20分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-1.5V(相对于银/氯化银)条件下沉积15分钟后,将样 品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅 烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例4

室温下分别配制0.02摩尔/升硝酸铜、0.03摩尔/升硝酸锌、0.02摩尔/升硫 酸亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用12摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗10分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-1.05V(相对于银/氯化银)条件下沉积25分钟后,将 样品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃ 煅烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例5

室温下分别配制0.02摩尔/升氯化铜、0.03摩尔/升氯化锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用12摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗20分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-1.3V(相对于银/氯化银)条件下沉积45分钟后,将样 品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅 烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例6

室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为2。用15摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗5分钟。将基片放进已经搅拌均 匀的电解液中。在恒定电压-1.3V(相对于银/氯化银)条件下沉积35分钟后,将样品 取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅烧 1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例7

室温下分别配制0.02摩尔/升硝酸铜、0.03摩尔/升硝酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为6。用8摩尔/升的氢氧化钠溶液 擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经搅拌均匀 的电解液中。在恒定电压-1.5V(相对于银/氯化银)条件下沉积25分钟后,将样品取 出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅烧1h, 得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例7

室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用12摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-0.8V(相对于银/氯化银)条件下沉积60分钟后,将样 品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅 烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例8

室温下分别配制0.02摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用15摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-0.8V(相对于银/氯化银)条件下沉积35分钟后,将样 品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅 烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例9

室温下分别配制0.02摩尔/升氯化铜、0.03摩尔/升氯化锌、0.02摩尔/升氯 化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.2摩尔/升柠檬酸三钠以及0.1摩尔/升酒石酸 水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用15摩尔/升的浓氢氧化钠 溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗20分钟。将基片放进已经搅拌 均匀的电解液中。在恒定电压-1.3V(相对于银/氯化银)条件下沉积25分钟后,将样 品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃煅 烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例10

室温下分别配制0.015摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.015摩尔/升 氯化亚锡、0.03摩尔/升硫代硫酸钠、0.12摩尔/升柠檬酸三钠以及0.06摩尔/升酒 石酸水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为5。用15摩尔/升的浓氢氧 化钠溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经 搅拌均匀的电解液中。在恒定电压-1.05V(相对于银/氯化银)条件下沉积45分钟后, 将样品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃ 煅烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

实施例11

室温下分别配制0.09摩尔/升硫酸铜、0.03摩尔/升硫酸锌、0.09摩尔/升氯 化亚锡、0.15摩尔/升硫代硫酸钠、0.3摩尔/升柠檬酸三钠以及0.24摩尔/升酒石 酸水溶液,将这些溶液等体积均匀混合,调节pH为6。用12摩尔/升的浓氢氧化 钠溶液擦拭Mo基片,并在乙醇和水中分别超声清洗30分钟。将基片放进已经搅 拌均匀的电解液中。在恒定电压-1.05V(相对于银/氯化银)条件下沉积45分钟后, 将样品取出,用大量去离子水冲洗后吹干。所得到的薄膜在氩气或者氮气中350℃ 煅烧1h,得到的样品即为铜锌锡硫-硫化铜-铜锡硫薄膜。

以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解,本领域的普通技术人员 无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此,凡本技术领 域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的 实验可以得到的技术方案,皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

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