光学相干断层成像装置和光学相干断层成像方法

摘要

提供可缩短成像时间的光学相干断层(OCT)成像装置和相应的方法。该装置包括用于将入射到光学部分上的测量光束的第一光束直径变为比第一光束直径大的第二光束直径的光束直径改变部分(21)。调整台基于第一光束直径下来自检查对象(12)的位置的返回光束的强度信息来调整会聚光学部分(20)的位置。通过光束直径改变部分(21)，在通过调整台调整的位置处，光束直径从第一光束直径变为第二光束直径，以使具有第二光束直径的测量光束入射到检查对象(12)上。由于使用光束直径小的测量光束，因此可以在相对较短的时间内调整会聚光学部分(20)，并且，由于使用光束直径大的测量光束，因此可以以高横向分辨率获取与参照光束的合成光束。