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基于波长移相法检测平面间平行度的方法

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基于波长移相法检测平面间平行度的方法，涉及光学检测技术领域，解决现有采用移相干涉技术检测平面间平行度时，由于存在机械应力的变化，导致引入误差的问题，本发明采用经平面干涉检测装置发出的光束由移相干涉装置中信息采集处理系统处理，并采用四步平均算法逐点获得半反半透平面和全反射平面之间的倾斜量，并取倾斜量的最大值；将倾斜量的最大值代入相应公式，获得两平面间的平行度，判断平行度的值是否大于10

著录项

公开/公告号CN103727901A

专利类型发明专利
公开/公告日2014-04-16

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
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申请/专利号CN201410016148.4
发明设计人鱼卫星;王二伟;曹水艳;王泰升;卢振武;孙强;
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申请日2014-01-14
分类号G01B11/26;
代理机构长春菁华专利商标代理事务所;
代理人陶尊新
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
入库时间 2024-02-19 23:10:49

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-12-07

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/26 申请公布日:20140416 申请日:20140114

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-05-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/26 申请日:20140114

实质审查的生效
2014-04-16

公开

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