公开/公告号CN103620754A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 松下电器产业株式会社;
申请/专利号CN201280031126.4
申请日2012-08-22
分类号H01L21/60;G01R31/02;G01R31/28;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邸万奎
地址 日本大阪府
入库时间 2024-02-19 22:44:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/60 申请公布日:20140305 申请日:20120822
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-04-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20120822
实质审查的生效
2014-03-05
公开
公开
机译: 高频模块及高频模块的检查方法
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