法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-13
授权
授权
2014-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20130905
实质审查的生效
2013-12-18
公开
公开
机译: 氧化镓单晶复合材料,其制备方法以及利用氧化镓单晶复合物制备氮化物半导体膜的方法
机译: 氧化镓单晶络合物及其制造方式,以及使用该氧化镓的氮化物半导体膜的制造方式为零氧化镓
机译: 氧化镓单晶复合物,其制造方法以及利用氧化镓单晶复合物的氮化物半导体膜的制造方法