提高锗材料N型掺杂载流子浓度的方法与应用

摘要

本发明公开了一种提高锗材料N型掺杂载流子浓度的方法及其应用。该提高锗材料N型掺杂载流子浓度的方法，包括如下步骤：提供锗衬底、采用离子注入法在所述锗衬底中注入N型杂质离子、对锗衬底进行退火处理、重复进行在锗衬底中注入N型杂质离子和退火处理的步骤。该提高锗材料N型掺杂载流子浓度的方法通过对锗衬底进行离子注入/退火处理的循环工艺可以有效控制并降低锗材料的缺陷密度，防止掺杂离子的扩散，使得掺杂离子的激活率高，可以完全被激活，提高掺杂载流子浓度。因此，该提高锗材料N型掺杂载流子浓度的方法可以用于制备含锗材料器件。