一种可提高成像质量的TDI-CCD像元结构

摘要

本发明涉及一种可提高成像质量的TDI-CCD像元结构，属于CCD器件制造及应用技术领域，涉及TDI-CCD像元的几何形状。本发明提供的可提高成像质量的TDI-CCD像元结构是在不改变原像元所占面积的情况下，使TDI-CCD在TDI方向上相邻像元之间的非感光区域占原像元面积的75%以上，即缩小TDI方向上像元的感光区域尺寸，具有这种形状像元的TDI-CCD，可以有效地提高成像质量。