用于降低玻璃前体材料在蒸发过程中胶凝的方法和设备

摘要

揭示了对用于气相沉积过程中的液体前体材料进行蒸发的方法和设备。用于蒸发液体前体材料的方法包括将液体前体材料流引入膨胀室，并将所述液体前体材料流引导向室壁。将室壁加热至这样的温度，该温度足以使得第一部分的液体前体材料流蒸发，而第二部分的液体前体材料流仍保持液体状态，并且第三部分的液体前体材料形成凝胶。当液体前体材料流被引入膨胀室时，对膨胀室进行连续排干。所述室被加热至产生足量的第二部分的液体前体材料的温度，以从室内冲走凝胶。