法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-15
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G06Q30/02 申请公布日:20130918 申请日:20111214
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q30/02 申请日:20111214
实质审查的生效
2013-09-18
公开
公开
机译: 用于极端UV(EUV)应用的光学系统EUV光刻具有微通道系统,该系统包括微通道段,该微通道段具有通过冷却介质的微通道,并与微镜相关联
机译: 一种抛光半导体衬底的方法,该半导体衬底调整用于垫垫的变化(相关应用的交叉参考)要求2018年9月10日提交的美国临时应用62/729134的优先级。美国临时专利申请的公开内容结合于此 这里参考所有相关性和一致性。
机译: 车辆相互参考的远程控制系统及相关应用