用于确定和控制在流化床反应器中的与可热分解的含硅气体一起使用的颗粒的尺寸的系统和方法

摘要

本发明提供了一种用于确定在流化床反应器中的与可热分解的含硅气体一起使用的颗粒的尺寸的系统和方法。通过压力传感器测量邻近反应器的气体入口和邻近反应器的气体出口的气体压力。将算法应用于压力测量值中的至少一个，以确定在反应器中的颗粒的尺寸。所确定的颗粒的尺寸可用于控制反应器的操作。