一种使用激光微熔技术制造应变式传感器的方法

摘要

本发明适用于应变式传感器制造技术领域，提供了一种使用直写-激光微熔技术制造应变式传感器的方法，包括以下步骤：(1)在计算机上用绘图功能绘制应变片形状和在弹性体上的位置图形；(2)把所绘图形用装有浆体焊料(玻璃粉及其他材料)的微笔或微喷装置直写在传感器弹性体上；(3)在线烘干浆体焊料；(4)把半导体应变片放在浆体焊料上；(5)用激光沿微笔运动轨迹对浆体焊料进行加热，冷却后，应变片就固定在弹性体上。与现有技术比较，本发明方法工序少，热影响区小，可以组成自动化生产线，效率大幅度提高，产品性能好，可靠性高，可以节省能源，减少化学物质排放，降低生产成本。