法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B5/30 申请公布日:20130911 申请日:20130613
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-10-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/30 申请日:20130613
实质审查的生效
2013-09-11
公开
公开
机译: 制造偏光光束分束器,键合装置,偏光光束分束器和光学拾取单元的方法
机译: 偏光光束分束器和使用偏光光束分束器的投影系统
机译: 偏光光束分束器和使用偏光光束分束器的投影系统