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光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法

摘要

本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备:相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3);在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A);在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B),并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。

著录项

  • 公开/公告号CN103293658A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-09-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN201310164462.2

  • 发明设计人 广久保望;船坂司;

    申请日2010-05-25

  • 分类号G02B26/00;G01N21/31;

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人张宝荣

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2024-02-19 20:39:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-05-25

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B26/00 申请公布日:20130911 申请日:20100525

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-10-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/00 申请日:20100525

    实质审查的生效

  • 2013-09-11

    公开

    公开

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