提升氧化铝镀膜设备产能的装置

摘要

本发明公开了一种提升氧化铝镀膜设备产能的装置，包括反应腔、多路进气管和一路排气管，所述多路进气管和一路排气管分别与反应腔相连，还包括气体储罐，所述气体储罐连接反应腔。本发明克服现有设备保养方式的不足，在现有设备的基础上增加一路供气装置，通过气体与氧化铝反应（且反应产物为气体）而将氧化铝排出反应腔，从而节约保养时间，达到提高设备利用率、降低生产成本的目的。