一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法

摘要

本发明涉及一种多线切割晶棒断线后的救棒处理方法，该方法主要是先将超声容器放置于主辊之间以及晶棒的下部，使晶棒置于超声容器内，在超声容器内注入清水清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液；然后在超声容器内倒入无水乙醇清洗晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液残留及其他杂质；之后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中无水乙醇即可；采用本发明，因无需将晶棒从工件夹上取下，切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率；由于通过先清水后无水乙醇的超声清洗，能更有效的除去晶棒表面及线缝中的砂浆悬浮液；同时，不需要把断线的线网剪掉重新铺线，既节约了成本，又缩短了操作时间，提高了生产效率。