公开/公告号CN103381575A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 旺宏电子股份有限公司;
申请/专利号CN201210134506.2
申请日2012-05-03
分类号B24B53/017(20120101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
入库时间 2024-02-19 20:08:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-22
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B53/017 申请公布日:20131106 申请日:20120503
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-12-04
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B53/017 申请日:20120503
实质审查的生效
2013-11-06
公开
公开
机译: 调节用于平坦化衬底的平坦化垫的方法和系统
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