设备加工能力数据的处理系统及其方法

摘要

本发明公开了一种设备加工能力数据的处理系统及其方法，属于半导体技术领域。该方法包括：通过数据采集装置采集设备加功能力数据；数据存储装置存储所述数据采集装置采集的设备加功能力数据；加工能力分析装置从所述数据存储装置读取采集的设备加工能力数据，并据此对设备当前的加工能力进行指标性统计分析获得加工能力指标。通过本发明的技术方案，从而实现了对这些数据的集成统一管理，方便管理人员采集设备加功能力的数据，进一步实现了对设备加工能力计算基础数据的统计分析。