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一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法

摘要

本发明公开了一种在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银的方法,包括以下步骤:将醋酸银与草酸溶解,配制成含有醋酸银与草酸的前驱体溶液,其中,所述醋酸银和草酸的质量比为(3.2~13.1):(0.1~0.5);将所述前驱体溶液涂覆在非晶硅薄膜表面;将涂覆处理后的非晶硅薄膜在200~300℃进行热处理,在非晶硅薄膜表面形成织构化微晶银。通过上述方法在非晶硅薄膜表面原位诱导生长微晶银颗粒,且微晶银颗粒之间互相作用,呈不规则排列并形成空隙,因此该微晶银颗粒在微观上形成织构化结构,提高了非晶硅薄膜的光吸收效率。该方法只需将原料混合、涂覆、热处理即可得到产品,工艺简单易控、对设备要求低且节约成本,容易实现大规模生产。

著录项

  • 公开/公告号CN103268901A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-08-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市万业隆太阳能科技有限公司;

    申请/专利号CN201310159378.1

  • 发明设计人 汪远昊;

    申请日2013-05-03

  • 分类号H01L31/18;H01L31/20;

  • 代理机构深圳中一专利商标事务所;

  • 代理人张全文

  • 地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道洲石路南侧浪心社区梨园工业区D4栋2#厂房三层

  • 入库时间 2024-02-19 20:03:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-08-19

    授权

    授权

  • 2013-12-18

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L31/18 变更前: 变更后: 申请日:20130503

    著录事项变更

  • 2013-09-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20130503

    实质审查的生效

  • 2013-08-28

    公开

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