一种用激光化学气相沉积法制备石墨烯的方法和装置

摘要

本发明公开了一种用激光化学气相沉积法制备石墨烯的方法，包括如下步骤：（1）将铜箔卡紧在一设有红外激光加热装置的反应腔内，对该反应腔进行抽真空；（2）在该反应腔内通入碳源气体和辅助气体后，用红外激光通过控制激光光斑的移动速度或调节功率密度将所述铜箔加热至900～1000℃，并移动红外激光在铜箔上的光斑以在铜箔表面产生单层石墨烯。本发明的制备方法采用激光作为热源，激光光能密度高，加热速度快，可迅速达到制备石墨烯所需的温度，无需使用的加热炉，能耗大大降低，且设置有可视化窗口，能够研究石墨烯的生长过程及原理。