公开/公告号CN103154331A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-12
原文格式PDF
申请/专利权人 二A科技有限公司;
申请/专利号CN201080069657.3
发明设计人 得维·尚卡尔·米斯拉;
申请日2010-10-11
分类号C30B25/00;C01B31/06;C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52;
代理机构北京金思港知识产权代理有限公司;
代理人邵毓琴
地址 新加坡莱佛士坊
入库时间 2024-02-19 19:50:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-20
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/00 申请日:20101011
实质审查的生效
2013-06-12
公开
公开
机译: 微波等离子体化学气相沉积系统中乙硼烷和氮的结合生长白色金刚石的方法
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