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采用乙硼烷和氮并结合微波等离子化学气相沉积系统生长白色金刚石的方法

摘要

本申请详细公开了微波等离子化学气相沉积工艺,所述工艺使用氮和乙硼烷,同时结合甲烷和氢气,以生长白色金刚石。本发明包括在金刚石生长过程中使用氮以避免在CVD金刚石样品中产生夹杂物和杂质以及使用乙硼烷来提高色度。本申请还发现将这样生长的金刚石加热至2000℃由于样品中氮和硼中心的补偿使得色度显著提高。基于CVD金刚石的谱带图解释金刚石中的各种不同的颜色的产生。

著录项

  • 公开/公告号CN103154331A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-06-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 二A科技有限公司;

    申请/专利号CN201080069657.3

  • 发明设计人 得维·尚卡尔·米斯拉;

    申请日2010-10-11

  • 分类号C30B25/00;C01B31/06;C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52;

  • 代理机构北京金思港知识产权代理有限公司;

  • 代理人邵毓琴

  • 地址 新加坡莱佛士坊

  • 入库时间 2024-02-19 19:50:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-20

    授权

    授权

  • 2013-11-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B25/00 申请日:20101011

    实质审查的生效

  • 2013-06-12

    公开

    公开

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