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具有双层基底元件的机电转换器和这种机电转换器的制造方法

摘要

本发明涉及至少包含具有在其中形成中空空间(5)的聚合物层复合材料的机电转换器,其中所述聚合物层复合材料包含至少一个聚合物层基底元件(1),其包含具有软化温度Tg

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-11-18

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L41/193 申请公布日:20130710 申请日:20111025

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-11-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/193 申请日:20111025

    实质审查的生效

  • 2013-07-10

    公开

    公开

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