法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C4/10 申请公布日:20130710 申请日:20111019
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C4/10 申请日:20111019
实质审查的生效
2013-07-10
公开
公开
机译: 液相等离子体产生装置,液相等离子体产生方法和过程液精制装置
机译: 液相等离子体产生装置及液相等离子体产生方法
机译: 液相等离子体产生装置及液相等离子体产生方法