毫米波滤波器及用于形成毫米波滤波器的基底结构

摘要

本发明提供一种毫米波滤波器及用于形成毫米波滤波器的基底结构(substrate structure)，能够应用于CMOS制程技术中，提供谐振组件或滤波器电路间的有效高阻抗隔绝，提升谐振电路品质因子，并且借由CMOS制程技术的低成本优势，扩展毫米波滤波器的应用领域并提升其经济效益。