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相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法

摘要

相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法涉及光学测试过程中系统误差的标定领域,该方法包括如下步骤:将光学放大系统和传感器放置在精密调整机构上,旋转精密调整机构360°,进行等间隔旋转测量,获得相应波前的测量结果;将波前测量的结果进行平均运算,该平均结果中不含有被测波前的旋转非对称误差信息;将每次旋转后的波前测量结果分别减去中获得平均结果,以获得该旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息:将获得的每个旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息进行坐标修正,将其统一到同一坐标系下进行平均,获得被测试波前中旋转非对称误差信息,抑制随机误差。本发明通过该方法消除光学放大系统引入的旋转非对称误差。

著录项

  • 公开/公告号CN103207022A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-07-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201310086087.4

  • 发明设计人 马冬梅;邵晶;

    申请日2013-03-18

  • 分类号G01J9/00;

  • 代理机构长春菁华专利商标代理事务所;

  • 代理人张伟

  • 地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

  • 入库时间 2024-02-19 18:57:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-07-13

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01J9/00 申请公布日:20130717 申请日:20130318

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2013-08-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J9/00 申请日:20130318

    实质审查的生效

  • 2013-07-17

    公开

    公开

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