一种自由空间传输的近场光学诱导表面微结构平滑方法

摘要

本发明涉及一种自由空间传输的近场光学诱导表面微结构平滑方法，该方法属于光学器件加工领域，主要针对常规的超精密光学器件制作技术要么是加工效率不高，要么是其表面粗糙度控制的不够低，难以有效地平滑表面微结构。自由空间传输的近场光学诱导表面微结构平滑方法是基于自由空间在激光辅助下发生的选择性化学反应，去除表面的纳米凸起、凹坑和划痕等表面微结构，与此同时在表面微结构消失时光化学反应自动停止，从而获得超光滑表面。此方法不仅大大的降低了光学器件表面的粗糙度，而且具有针对性强、品质高、简单易行的特点。